도포 장치 document_id 1020060083469

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 도포 유닛이, 상기 도포 금지 영역에 마스킹 테이프가 접착된 상기 기판을 향하여 상기 유동성 재료를 토출하여, 상기 마스킹 테이프를 포함하는 영역에 상기 유동성 재료를 도포하고,상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 유동성 재료가 도포된 상기 기판으로부터 상기 마스킹 테이프를 박리함으로써, 상기 도포 금지 영역상으로부터 상기 마스킹 테이프에 도포된 유동성 재료를 제거하는 테이프 박리유닛인,도포 시스템. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 마스킹 테이프가 박리된 상기 기판을 가열하여 상기 유동성 재료를 상기 기판상에 정착시키는 베이크 유닛더 포함하는,도포 시스템. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 기판 반송 기구가,상기 기판을 상기 도포 유닛으로부터 상기 테이프 박리 유닛으로 반송할 때에 유지하는 유지부와,상기 기판을 상기 테이프 박리 유닛으로부터 상기 베이크 유닛으로 반송할 때에 유지하는 또 하나의 유지부구비하는,도포 시스템. [청구항 5] 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 유동성 재료가 도포되기 전의 상기 기판상의 상기 도포 금지 영역에 상기 마스킹 테이프를 접착하는 테이프 접착 유닛더 포함하는 ,도포 시스템. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 처리 유닛군 중, 상기 테이프 접착 유닛 및/또는 상기 테이프 박리 유닛이, 다른 어느 처리 유닛보다도 상기 인덱서에 가까운 위치배치되는,도포 시스템. [청구항 7] 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 테이프 박리 유닛이, 상기 유동성 재료가 도포되기 전의 상기 기판상의 상기 도포 금지 영역으로의 상기 마스킹 테이프의 접착도 행하는 테이프 접착·박리유닛인,도포 시스템. [청구항 8] 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 기판을 일시적으로 유지하는 버퍼 유닛더 포함하는,도포 시스템. [청구항 9] 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이, 유기 el 표시 장치용 유리기판인,도포 시스템. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 유동성 재료가 정공 수송 재료포함하는,도포 시스템. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,상기 유동성 재료가 유기 el 재료포함하는,도포 시스템. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 도포 유닛이, 복수의 유동성 재료를 각각 토출하는 복수의 노즐을 구비하고,상기 복수의 유동성 재료가, 서로 색이 다른 복수의 유기 el 재료각각 포함하는,도포 시스템. [청구항 13] 청구항 11에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛이, 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 상기 하나의 색과는 다른 또 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판도포하는,도포 시스템. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,또 하나의 도포 유닛이, 상기 도포 유닛에서 상기 제1 유동성 재료의 도포가 행해진 마스킹 테이프를 포함하는 상기 영역에 상기 제2 유동성 재료의 도포행하는,도포 시스템. [청구항 15] 청구항 3에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 유동성 재료가 도포되기 전의 상기 기판상의 상기 도포 금지 영역에 상기 마스킹 테이프를 접착하는 테이프 접착 유닛, 또 하나의 도포 유닛 및 또 하나의 베이크 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛이, 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 상기 하나의 색과는 다른 또 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 기판 반송 기구가, 상기 테이프 접착 유닛, 상기 도포 유닛, 상기 테이프 박리 유닛, 상기 베이크 유닛, 상기 테이프 접착 유닛, 상기 또 하나의 도포 유닛, 상기 테이프 박리 유닛 및 상기 또 하나의 베이크 유닛의 순으로 상기 기판반송하는,도포 시스템. [청구항 16] 청구항 9에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛이, 정공 수송 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판도포하는,도포 시스템. [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 테이프 박리 유닛을 더 포함하고,상기 테이프 박리 유닛이, 상기 제1 유동성 재료가 도포된 제1 마스킹 테이프를 상기 기판으로부터 박리하고, 상기 또 하나의 테이프 박리 유닛이, 상기 제2 유동성 재료가 도포된 제2 마스킹 테이프를 상기 기판박리하는,도포 시스템. [청구항 18] 청구항 8에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛 및 또 하나의 테이프 박리 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛 및 상기 테이프 박리 유닛이 상기 버퍼 유닛의 일방측에 배열됨과 동시에 상기 또 하나의 도포 유닛 및 상기 또 하나의 테이프 박리 유닛이 상기 버퍼 유닛의 타방측에 배열되고,상기 도포 유닛이, 정공 수송 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 테이프 박리 유닛이, 상기 제1 유동성 재료가 도포된 제1 마스킹 테이프를 상기 기판으로부터 박리하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 테이프 박리 유닛이, 상기 제2 유동성 재료가 도포된 제2 마스킹 테이프를 상기 기판박리하는,도포 시스템. [청구항 19] 청구항 1에 있어서,상기 도포 유닛이, 상기 기판상의 상기 도포 금지 영역을 포함하는 영역에 상기 유동성 재료를 도포하고, 상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역에 도포된 상기 유동성재료를 향하여 에너지파 또는 미립자를 조사하여 상기 도포 금지 영역상으로부터 상기 유동성 재료제거하는,도포 시스템. [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 유동성 재료가 도포된 상기 기판을 가열하여 상기 유동성 재료를 상기 기판상에 정착시키는 베이크 유닛더 포함하는,도포 시스템. [청구항 21] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 기판을 일시적으로 유지하는 버퍼 유닛더 포함하는,도포 시스템. [청구항 22] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 처리 유닛군 중, 상기 유동성 재료 제거 유닛이, 다른 어느 처리 유닛보다도 상기 인덱서에 가까운 위치배치되는,도포 시스템. [청구항 23] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 유동성 재료 제거 유닛에 의해 상기 기판상의 상기 도포 금지 영역을 향하여 행해지는 상기 에너지파의 조사가, 레이저광의조사인,도포 시스템. [청구항 24] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 기판이, 유기 el 표시 장치용 유리기판인,도포 시스템. [청구항 25] 청구항 24에 있어서,상기 유동성 재료가 정공 수송 재료포함하는,도포 시스템. [청구항 26] 청구항 24에 있어서,상기 유동성 재료가 유기 el 재료포함하는,도포 시스템. [청구항 27] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 베이크 유닛에 의해 가열되기 전의 상기 기판으로부터 상기 유동성 재료제거하는,도포 시스템. [청구항 28] 청구항 27에 있어서,상기 기판 반송 기구가,상기 기판을 상기 도포 유닛으로부터 상기 유동성 재료 제거 유닛으로 반송할 때에 유지하는 유지부와, 상기 기판을 상기 유동성 재료 제거 유닛으로부터 상기 베이크 유닛으로 반송할 때에 유지하는 또 하나의 유지부구비하는,도포 시스템. [청구항 29] 청구항 26에 있어서,상기 도포 유닛이, 복수의 유동성 재료를 각각 토출하는 복수의 노즐을 구비하고,상기 복수의 유동성 재료가, 서로 색이 다른 복수의 유기 el 재료각각 포함하는,도포 시스템. [청구항 30] 청구항 26에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛이, 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 상기 하나의 색과는 다른 또 하나의 색의 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판도포하는,도포 시스템. [청구항 31] 청구항 30에 있어서,상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역으로부터의 상기 제1 유동성 재료의 제거 및 상기 제2 유동성 재료의 제거병행하여 행하는,도포 시스템. [청구항 32] 청구항 31에 있어서,상기 처리 유닛군이 또 하나의 베이크 유닛을 더 포함하고, 상기 기판 반송 기구가, 상기 도포 유닛, 상기 베이크 유닛, 상기 또 하나의 도포 유닛, 상기 또 하나의 베이크 유닛 및 상기 유동성 재료 제거 유닛의 순으로 상기 기판반송하는,도포 시스템. [청구항 33] 청구항 24에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛이, 정공 수송 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판도포하는,도포 시스템. [청구항 34] 청구항 33에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 유동성 재료 제거 유닛을 더 포함하고, 상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역으로부터 상기 제1 유동성 재료를 제거하고, 상기 또 하나의 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역으로부터 상기 제2 유동성 재료제거하는,도포 시스템. [청구항 35] 청구항 21에 있어서,상기 처리 유닛군이, 또 하나의 도포 유닛 및 또 하나의 유동성 재료 제거 유닛을 더 포함하고,상기 도포 유닛 및 상기 유동성 재료 제거 유닛이 상기 버퍼 유닛의 일방측에 배열됨과 동시에 상기 또 하나의 도포 유닛 및 상기 또 하나의 유동성 재료 제거 유닛이 상기 버퍼 유닛의 타방측에 배열되고,상기 도포 유닛이, 정공 수송 재료를 포함하는 제1 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역으로부터 상기 제1 유동성 재료를 제거하고, 상기 또 하나의 도포 유닛이, 유기 el 재료를 포함하는 제2 유동성 재료를 상기 기판에 도포하고, 상기 또 하나의 유동성 재료 제거 유닛이, 상기 도포 금지 영역으로부터 상기 제2 유동성 재료제거하는,도포 시스템. [청구항 36] 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,상기 처리 유닛군에 의한 상기 기판의 처리가 상압(常壓하에서행해지는,도포 시스템. [청구항 38] 청구항 37에 있어서,상기 처리 유닛군이, 상기 기판을 일시적으로 유지하는 버퍼 유닛더 포함하는,도포 시스템. [청구항 39] 청구항 37 또는 청구항 38에 있어서,상기 기판이, 유기 el 표시 장치용 유리기판인,도포 시스템. [청구항 40] 청구항 39에 있어서,상기 유동성 재료가 정공 수송 재료포함하는,도포 시스템. [청구항 41] 청구항 39에 있어서,상기 유동성 재료가 유기 el 재료포함하는,도포 시스템.