문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 정상 패턴(110)은평행하게 배열되어 상기 도전성 라인(130)에 전기적으로 연결된 제 1 패턴(112)들; 및상기 제 1 패턴(112)들 사이에 배열된제2패턴포함하는것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 제 2 패턴(114)들에 연결된접지더포함하는것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 패턴(112)들과 상기 제 2 패턴(114)들에 독립적으로 연결된복수개의접지더포함하는것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 결함은 상기 이웃하는 제 1 패턴(112)과 제 2 패턴(114)을 전기적으로 연결하는 브릿지이고, 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴인것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 결함은 상기 제 2 패턴(114)들 중 하나에 형성된 절단부이고, 상기 비정상 패턴(120)은 상기 절단부를 갖는상기제2패턴인것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 비정상 패턴(120)은 상기 도전성 라인(130)과 상기 비정상 패턴(120) 사이에 형성된 콘택홀에 의해 상기 도전성 라인(130)으로부터전기적분리된것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 도전성 라인(130)에 연결되어 상기 정상 패턴(110)으로 전압을 인가하기 위한패드더포함하는것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,상기 제 1 패턴(310)들은 상기 제 2 패턴(320)들사이배열된것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 20]
제 18 항에 있어서,상기 테스트 라인(330)은 상기 제 1 패턴(310)들의 폭보다2배이상의폭갖는것을특징으로 하는테스트 패턴.
[청구항 21]
제 18 항에 있어서,상기 제 1 패턴(310)은 nmos 콘택을 포함하고, 상기 제 2 패턴(320)은 pmos콘택포함하는것을특징으로 하는테스트 패턴.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
테스트 패턴에서 결함이 브릿지(bridge)인 경우, 비정상 패턴(120)은 어떤 구성 요소로 이루어지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation결함이 브릿지인 경우, 비정상 패턴(120)이 어떤 구성 요소로 이루어지는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 결함이 브릿지인 상황과 비정상 패턴(120)의 정의를 추출한다.
- 상기 결함은 상기 이웃하는 제 1 패턴(112)과 제 2 패턴(114)을 전기적으로 연결하는 브릿지이고, 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴인것을특징으로 하는테스트 패턴.
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3근거 선택
evidence_selection비정상 패턴(120)의 구성 요소를 명시한 청구항 5의 구절을 선택한다.
- 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴
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4논리 통합
logical_integration결함이 브릿지일 때, 비정상 패턴(120)은 해당 브릿지를 포함하는 제 1 패턴(112)임을 논리적으로 연결한다.
- 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴
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5결론 도출
conclusion_formulation비정상 패턴(120)은 브릿지를 갖는 제 1 패턴(112)으로 구성됨을 결론짓는다.
- 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변을 생성한다.
- 상기 비정상 패턴(120)은 상기 브릿지를 갖는상기제1패턴
최종 답변 (final_answer)
상기 브릿지를 갖는 상기 제1패턴(112)
핵심 해석 (core_interpretation)
테스트 패턴에서 결함의 종류(브릿지 또는 절단부)에 따라 비정상 패턴(120)이 제 1 패턴 또는 제 2 패턴 중 무엇이 되는지를 정의한다.