세라믹스 히터, 히터 급전 부품 및 세라믹스 히터의제조방법 document_id 1020060088215

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 접속부재는상기판형상부재의관통구멍압입된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 히터 패턴은, 상기 접속부재의 상기 판형상 부재의 관통구멍에 삽입된 측의 끝면과 동일 평면을 이루는 상기 판형상 부재의 주면 상, 및/또는, 그 주면과 반대측의 주면 상에 형성되고, 상기 히터 패턴이 형성되지 않은 주면에 있어서는 상기 접속부재끼리가 단락되지 않도록전기적절연된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 판형상 부재는, 열분해 질화붕소, 탄소를 함유하는 열분해 질화붕소, 규소를 함유하는 열분해 질화붕소, 알루미늄을 함유하는열분해 질화붕소중하나로이루어지는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접속부재는, 그래파이트, 탄화규소 소결체,탄화붕소소결체중하나로이루어지는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 6] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도전층은, 열분해 그래파이트, 붕소 및/또는 탄화붕소를 함유하는열분해그래파이트중하나로이루어지는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 7] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접속부재의 돌출부에, 그 접속부재와는 별체이며 도전성 세라믹스 또는 금속으로 이루어지는 봉형상의 급전부재의 일단에 형성된 오목부가 삽입되고, 그급전부재접속된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 접속부재의 돌출부는, 상기 돌출부에 수나사가 형성되고, 상기 급전부재의 오목부에 암나사가 형성되고, 상기 수나사가 상기 암나사에 나사결합됨으로써상기급전부재접속된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 9] 제7항 또는 제8항에 있어서,상기 급전부재는, 그래파이트, 외표면이 붕소 및/또는 탄화붕소를 함유하는 열분해 그래파이트로 피복된 그래파이트, 탄화규소 소결체, 탄화붕소 소결체, 탄탈, 텅스텐, 몰리브덴, 인코넬, 니켈,스테인레스중하나로이루어지는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 10] 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 급전부재는, 절연성 세라믹스로 이루어지는 관형상 부재에 의해 둘러싸여진 것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 관형상 부재는, 일단에 저부를 갖고 그 저부의 중심부에 관통구멍이 형성된 것이며, 상기 저부의 저면이 히터 본체에 접하고, 상기 관통구멍에 상기 접속부재의 돌출부가 삽입되고, 또한 상기 급전부재가 삽입됨으로써,급전부재둘러싸는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 12] 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 급전부재 상에, 절연성 세라믹스로 이루어지는피막형성된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 13] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 피복층, 상기 관형상 부재, 상기 급전부재 상의 피막은, 열분해 질화붕소, 탄소를 함유하는 열분해 질화붕소, 규소를 함유하는 열분해 질화붕소, 알루미늄을 함유하는열분해 질화붕소중하나로이루어지는것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 히터 급전 부품은, 상기 접속부재가 접속되는 일단에플랜지부갖는것을특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 29] 제27항 또는 제28항에 있어서,상기 히터 급전 부품의 도전 부재는, 그래파이트, 탄화규소 소결체,탄화붕소소결체중하나로이루어지는것을특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 30] 제27항 내지 제29항 중 어느 한 항에 있어서,상기 히터 급전 부품의 보호층은, 열분해 질화붕소, 탄소를 함유하는 열분해 질화붕소, 규소를 함유하는 열분해 질화붕소, 알루미늄을 함유하는열분해 질화붕소중하나로이루어지는것을특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 31] 제27항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서,상기 히터 급전 부품의 오목부는, 그 오목부에 암나사가 형성되고, 상기 접속부재의 돌출부에 수나사가 형성되며, 그 수나사가 상기 암나사에 나사결합됨으로써상기접속부재접속된것특징으로 하는세라믹스 히터. [청구항 33] 제32항에 있어서,상기 히터 급전 부품은, 상기 접속단자가 접속되는 일단에플랜지부갖는것을특징으로 하는히터 급전 부품. [청구항 34] 제32항 또는 제33항에 있어서,상기 도전 부재는, 그래파이트, 탄화규소 소결체,탄화붕소소결체중하나로이루어지는것을특징으로 하는히터 급전 부품. [청구항 35] 제32항 내지 제34항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보호층은, 열분해 질화붕소, 탄소를 함유하는 열분해 질화붕소, 규소를 함유하는 열분해 질화붕소, 알루미늄을 함유하는열분해 질화붕소중하나로이루어지는것을특징으로 하는히터 급전 부품. [청구항 36] 제32항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서,상기 오목부는암나사형성된것특징으로 하는히터 급전 부품.