문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 백업공급부는,상기 전환 밸브부로부터 분기되어,상기공정챔버와상기메인공급부사이연결되는것을특징으로 하는가스분배 공급장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,공급부는,상기 전환밸브부와 연결되어 있는 메인공급라인과;상기 메인공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 메인분산공급라인들을 포함하며,상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함하는가스분배 공급장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 백업공급부는,상기 전환 밸브부로부터 분기되어, 상기 메인공정밸브와 레귤레이터 사이의 상기 메인분산공급라인연결되는것을특징으로 하는가스분배 공급장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 전환밸브부는,상기 메인공급부로의 공정가스 유입을 단속하는 제1 전환밸브; 및상기 백업공급부로의 공정가스 유입을 단속하는 제2 전환밸브포함하는가스분배 공급장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,백업공급부는,상기 전환밸브부와 연결되어 있는 백업공급라인과;상기 백업공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 백업분산공급라인; 및상기 백업분산공급라인에 형성되어 공급가스의 유입을 선택적으로 단속하기 위한 백업공정밸브포함하는가스분배 공급장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,공급부는, 상기 전환밸브부와 연결되어 있는 메인공급라인과 상기 메인공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 메인분산공급라인들을 포함하고,상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와; 상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg)와 상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함하는가스분배 공급장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 백업분산공급라인은,상기 백업공급라인으로부터 분기되어, 상기 공정챔버와 상기 메인공급부 사이의 상기 메인분산공급라인연결되는것을특징으로 하는가스분배 공급장치.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 백업분산공급라인은,상기 백업공급라인으로부터 분기되어, 상기 메인공정밸브와 레귤레이터 사이의 상기 메인분산공급라인연결되는것을특징으로 하는가스분배 공급장치.
[청구항 10]
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전환 밸브부, 메인공급부, 백업공급부에 포함된 밸브들 중 적어도 어느 하나의 개폐 동작을 제어하기 위한 모니터링 장치더 포함하는가스분배 공급장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 전환 밸브부, 메인공급부, 백업공급부 중 적어도 어느 하나에는 가스 누출을 감지하기 위한 가스누출 감지센서가 부착되어 있으며, 상기 가스누출 감지센서에 의해 감지된 정보는 상기 모니터링 장치에 의해모니터링되는것을특징으로 하는가스분배 공급장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
가스분배 공급장치의 메인분산공급라인을 구성하는 요소들과 각 요소의 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스분배 공급장치의 메인분산공급라인을 구성하는 요소와 각 요소의 기능을 추출하는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3 및 7에서 메인분산공급라인의 구성 요소와 기능을 기술한 문구를 추출한다.
- 상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함
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3근거 선택
evidence_selection메인분산공급라인의 구성 요소인 메인공정밸브, 레귤레이터, 제2 압력계와 그 기능이 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함
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4논리 통합
logical_integration추출된 각 구성 요소와 그에 대응하는 기능을 매칭하여 정리한다.
- 상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 구성 요소와 기능을 리스트 형식으로 정리한다.
- 상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형태로 작성한다.
- 상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(mv2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(reg); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계포함
최종 답변 (final_answer)
- 메인공정밸브(mv2): 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속함
- 레귤레이터(reg): 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절함
- 제2 압력계: 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정함
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분배 공급장치의 메인분산공급라인은 공정가스의 유입 단속, 압력 조절 및 압력 측정을 수행하는 밸브, 레귤레이터, 압력계로 구성된다.