나노와이어 자동 전사시스템 및 그의 구동방법 document_id 1020060100246

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 점착제 코팅부, 상기 나노와이어 전사부 및 상기 기판 이송부는 하나의 챔버내존재하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 점착제 코팅부, 상기 나노와이어 전사부 및 상기 기판 이송부는 각각 다른 챔버내존재하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 4] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 점착제 코팅부는,기판을 로딩하기 위한 기판 스테이지;상기 기판을 상하 이동시키기 위한 리프트 핀;상기 기판을 상기 기판 스테이지에 고정하기 위한 공기 흡입 노즐;상기 기판상에 점착제를 도포하기 위한 점착제 도포부; 및상기 기판을 회전시키기 위한 기판 회전부포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 5] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판 이송부는, 이송용암인나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 6] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판 전사부는, 상기 나노와이어가 형성된 기판을 로딩하기 위한 상부 기판 스테이지; 및상기 나노와이어가 전사될 타기판을 로딩하기 위한 하부 기판 스테이지포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 점착제 코팅부는, 측면에 상기 점착제의 튐 방지를 위한 보호부더 포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 8] 제 4 항에 있어서,상기 기판 스테이지는, 기판의 정렬을 위하여 기판이 로딩되는 영역의 외곽에 적어도 하나 이상의 단차포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 9] 제 4 항에 있어서,상기 공기 흡입 노즐은 공기 흡입 펌프연결된나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 10] 제 4 항에 있어서,상기 점착제 도포부는, 분무 노즐, 분무 스프레이 및 로울러 중하나인나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 11] 제 4 항에 있어서,상기 기판 회전부는 스핀모터인나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 12] 제 5 항에 있어서,상기 이송용 암은, 병진 운동, 회전 운동 및 상하 운동 중 어느 하나 이상수행하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 13] 제 6 항에 있어서,상기 하부 기판 스테이지는, 저면에 기판 정렬 수단포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 14] 제 6 항에 있어서,상기 하부 기판 스테이지는, 로드 셀연결된나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 15] 제 6 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지와 상기 하부 기판 스테이지는서로 대향되는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 16] 제 6 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지와 상기 하부 기판 스테이지는 일렬정렬된나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 17] 제 8 항에 있어서,상기 단차의 두께는, 로딩되는 기판의 두께와 동일하고, 상기 단차의 폭은 로딩되는 기판의 폭동일한나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 18] 제 13 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 상기 하부 기판 스테이지는, 나노와이어 전사 압력을 조절하기 위한 압력 조절부포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 19] 제 13 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 상기 하부 기판 스테이지는, 기판에 열을 인가하고 제어하기 위한 온도 제어부포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 20] 제 13 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 상기 하부 기판 스테이지는, 기판 고정을 위한 공기 흡입 노즐포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 21] 제 13 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 상기 하부 기판 스테이지는 회전운동, 병진운동 및 상하운동 중 어느 하나 이상수행하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 22] 제 16 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지는 180°회전하여 상기 하부 기판 스테이지와 대향되게 접촉하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 23] 제 18 항에 있어서,상기 하부 기판 스테이지는 길이가 서로 다른 복수의 리프트 핀포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 24] 제 19 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 하부 기판 스테이지는 길이가 서로 동일한 복수의 리프트 핀포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 25] 제 19 항에 있어서,상기 기판 정렬 수단은, 정렬 마크 확인을 위한 슬릿, 렌즈, ccd 카메라, 적외선 센서 중 적어도 어느 하나 이상포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 26] 제 20 항에 있어서,상기 상부 기판 스테이지 및 상기 하부 기판 스테이지는 회전운동 및 병진운동하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 31] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판 전사부는, 상기 나노와이어가 형성된 기판 및 상기 나노와이어가 전사될 타기판을 로딩하기 위한 하부 기판 스테이지; 상기 나노와이어의 전사시 압력을 가하기 위한 롤러; 및상기 롤러의 이송을 위한 롤러 이송부포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 하부 기판 스테이지는상기 나노와이어가 형성된 기판을 상하 이동시키기 위한 제1리프트 핀; 및상기 나노와이어가 전사될 타기판을 상하 이동시키기 위한 제2리프트 핀포함하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 33] 제 31 항에 있어서,상기 롤러 이송부는 상·하·좌·우이동하는나노와이어 자동 전사시스템. [청구항 34] 제 32 항에 있어서,상기 제2리프트 핀은 상기 나노와이어가 형성된 기판의 로딩 영역 외측위치하는나노와이어 자동 전사시스템.