문맥 (context)
[청구항 12]
청구항 11의 기판 처리 장치에 있어서,상기 가열 수단은 상기 보지수단내장되고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 13]
청구항 11의 기판 처리 장치에 있어서,상기 기판을 냉각하는냉각수단가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 15]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭 유니트는 상기 기판에 대해서 에칭을 억제하는 세정액을 공급하는세정액공급노즐가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 16]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 반송 유니트에 의해 상기 기판의 수수가 가능하여 복수의 상기 기판이수납 가능한버퍼유니트가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 17]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭 유니트는, 상기 기판에 대해서 건조 가스를 공급하는건조가스 공급 노즐가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 18]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고 도포막의 막두께의 조건에 따라 선택된 에칭 유니트가 사용 가능하도록있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 19]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭 유니트는 에칭액 공급원과 에칭액 공급 노즐을 접속하는 공급 관로에 에칭액의 온도를 소정 온도에 조정하는온도조정수단가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 20]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭 유니트는 에칭액의 농도를 소정 농도에 조정하는농도조정수단가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 21]
청구항 11의 기판 처리 장치에 있어서,상기 에칭액은, 도포액의 용제, 불소산액,산액또는알칼리액중하나인것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 22]
청구항 14의 기판 처리 장치에 있어서,상기 도포 유니트는 상기 기판에 형성된 도포막을 에칭하는 에칭액을 공급하는에칭액공급노즐가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
청구항 14를 인용하는 기판 처리 장치에서, 에칭 유니트가 도포막의 막두께 조건에 따라 선택적으로 사용되기 위해 갖추어야 할 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 14를 인용하는 기판 처리 장치에서, 도포막의 막두께 조건에 따라 선택적으로 사용되는 에칭 유니트의 구성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 18에서 에칭 유니트가 막두께 조건에 따라 선택되어 사용될 수 있는 구성에 대한 설명이 있는지 확인한다.
- 도포막의 막두께의 조건에 따라 선택된 에칭 유니트가 사용 가능하도록있는것
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '막두께 조건에 따른 선택적 사용'과 직접적으로 연결되는 청구항 18의 구절을 선택한다.
- 상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고 도포막의 막두께의 조건에 따라 선택된 에칭 유니트가 사용 가능하도록있는것
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4논리 통합
logical_integration에칭 유니트가 막두께 조건에 따라 선택적으로 사용되기 위해서는, 각각 서로 다른 종류의 에칭액을 공급할 수 있는 복수의 유니트로 구성되어야 함을 도출한다.
- 상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고
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5결론 도출
conclusion_formulation에칭 유니트가 갖추어야 할 구성은 '각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지는 것'이다.
- 상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 구절을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고 도포막의 막두께의 조건에 따라 선택된 에칭 유니트가 사용 가능하도록있는것
최종 답변 (final_answer)
상기 에칭 유니트는 각각 서로 다른 종류의 에칭액이 공급 가능한 복수의 유니트로 이루어지고 도포막의 막두께의 조건에 따라 선택된 에칭 유니트가 사용 가능하도록 있는 것
핵심 해석 (core_interpretation)
도포막의 두께 조건에 맞춰 적절한 에칭을 수행할 수 있도록, 서로 다른 에칭액을 공급할 수 있는 복수의 에칭 유니트를 구성하는 기술이다.