스퍼터링 챔버용 타겟 및 프로세스 키트 부품들 document_id 1020060117898

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(ⅰ)약 220 내지 약 400 w/mk 의 열 전도도; 및(ⅱ)약 2.2 내지 약 4.1 μω cm의 전기 저항의 특성 중 하나 이상포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(ⅰ)구리-크롬 합금; 및(ⅱ)c18000 또는 c18200을 포함하는 구리-크롬 합금의 특성 중 하나 이상포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(ⅰ)환형 홈을 갖는 배면;(ⅱ)반경 방향 홈을 갖는 배면; 및(ⅲ)복수의 홈을 갖는 배면의 특성 중 하나 이상포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 환형 림은 적어도 약 8˚의 각도 만큼 상기 원통형 메사의 평면에 대해경사져있는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,열 전달 유체를 유지할 수 있는 하우징, 및 상기 하우징 내의 복수의 회전 자석을 포함하는 열 교환기더 포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 스퍼터링 플레이트는 티타늄포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(ⅰ)복수의 홈;(ⅱ)적어도 약 4개의 홈;(ⅲ)환형 홈과 동심인 홈; 및(ⅳ)반경 방향 홈인 홈의 특성 중 하나 이상포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는 적어도 약 200w/mk 의 열 전도도와 약 2 내지 약 5 μω cm의 전기 저항포함하는스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타깃. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 자기장 발생기는,(ⅰ)상이한 자기 플럭스를 갖는 자석;(ⅱ)상이한 자기장 배향을 갖는 자석; 및(ⅲ)상기 열 교환기의 하우징 내에 있는 자석의 특징 중 하나 이상을 갖는 복수의 회전 자석포함하는스퍼터링 챔버. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(ⅰ)복수의 홈;(ⅱ)복수의 동심의 환형 홈; 및(ⅲ)복수의 반경 방향 홈의 특성 중 하나 이상포함하는스퍼터링 챔버. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는 적어도 약 200w/mk 의 열 전도도와 약 2 내지 약 5 μω cm의 전기 저항포함하는스퍼터링 챔버. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 자기장 발생기는,(a)상이한 자기 플럭스를 갖는 자석;(b)상이한 자기장 배향을 갖는 자석; 및(c)상기 열 교환기의 하우징 내에 있는 자석의 특징 중 하나 이상을 갖는 복수의 회전 자석포함하는스퍼터링 챔버. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,(a)동심의 환형 홈, 및(b)반경방향 홈의 특성 중 하나 이상을 갖는 복수의 홈을 포함하며,상기 배킹 플레이트는 적어도 약 200w/mk 의 열 전도도와 약 2 내지 약 5 μω cm의 전기 저항포함하는스퍼터링 챔버. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 환형 밴드는알루미늄 산화물로 이루어지는증착 링. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 알루미늄 산화물은 적어도 약 99.5%의 순도갖는증착 링. [청구항 23] 제 20 항에 있어서,상기 환형 밴드의 상기 노출면은 비드 블라스팅된표면인증착 링. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 환형 플레이트는 스테인리스강으로 이루어지는커버 링. [청구항 27] 제 25 항에 있어서,상기 환형 플레이트의 상기 노출면은 비드 블라스팅된표면인커버 링. [청구항 29] 제 25 항에 있어서,상기 커버 링의 환형 플레이트와 상기 증착 링의 상승 릿지는 협소한 갭을 형성하며, 상기 갭은 상기 갭을 통과하는 플라즈마 종의 이동방해하는링 조립체. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 상부 및 하부 차폐물의 노출면은 평균 175±75 마이크로인치의 표면포함하는차폐물 조립체. [청구항 33] 제 31 항에 있어서,상기 환형 밴드의 노출면은 비드 블라스트표면인차폐물 조립체. [청구항 34] 제 31 항에 있어서,상기 상부 및 하부 차폐물은알루미늄으로 이루어지는차폐물 조립체.