불활성 가스 분위기 형성장치 및 이를 이용한 레이저어닐링 장치 document_id 1020060129249

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가이드부재는각각상기본체의하면과상기기판의상면사이배치되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 가이드부재는 각각 상기 기판에 대하여 수직한 방향으로 배치되어 상기 본체에 고정되는 수직부와, 상기 수직부로부터 절곡되어 상기 기판의 평면방향과 동일한 방향으로 배치되는 수평부를 포함하여 이루어져, 상기 불활성 가스는 상기 기판의 상면과 상기 수평부의 하면 사이를 통해배출되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 가이드부재는 각각 상기 기판에 대하여 경사진 방향으로 배치되어 상기 본체에 고정되는 경사부와, 상기 경사부로부터 일정 각도 꺽어져 상기 기판의 평면방향과 동일한 방향으로 배치되는 수평부를 포함하여 이루어져, 상기 불활성 가스는 상기 기판의 상면과 상기 수평부의 하면 사이를 통해배출되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 5] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 가이드부재의 수평부의 폭방향 길이는 10mm ~ 150mm인것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 유로부에는, 상기 본체의 길이방향을 따라 상호 이격되어 배치되며 상기 본체의 외부와 연통되는 복수의 유입구와, 상기 본체의 길이방향을 따라 길게 배치되며 상기 슬릿의 내측과 연통되는 유출구와, 상기 유출구와 복수의 유입구를 연통시키는 연결부가 형성되어 있으며,상기 유로부는상기본체의양측각각배치되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 7] 제1항 또는 제6항에 있어서,상기 유로부를 통과하는 불활성 가스는,상기 본체의 폭방향을 따라 본체의 외측으로부터 내측으로 형성되는 제1수평방향과, 상기 본체의 높이방향을 따라 본체의 하측으로부터 상측으로 형성되는 수직방향과, 상기 본체의 폭방향을 따라 본체의 외측으로부터 내측으로 형성되는 제2수평방향과, 상기 본체의 폭방향에 대하여 경사지게 배치되며 상기 본체의 상측으로부터 하측으로 형성되는 경사방향을 따라 순차적으로 진행하여슬릿의내측유입되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 본체는,레이저광이 통과하도록 길이방향을 따라 길게 배치되는 제1슬릿과 그 하면의 양측에 길이방향을 따라 길게 배치되는 한 쌍의 제1홈부가 형성되어 있는 상부 플레이트와, 상기 복수의 유입구가 양측면에 각각 배치되며, 레이저광(r)이 통과하도록 상기 제1슬릿에 대응되게 배치되는 제2슬릿과 상기 복수의 유입구와 연통되어 있으며 상기 상부 플레이트의 한 쌍의 제1홈부와 대응되도록 그 상면의 양측에 길게 배치되는 한 쌍의 제2홈부가 형성되어 있는 하부 플레이트를 구비하여,상기 복수의 유입구로 유입된 상기 불활성 가스는 상기 제1홈부와 제2홈부에 의하여 형성된 상기 연결부를 따라 가이드되며 상기 제1홈부의 끝단과 하부 플레이트의 상면 끝단 사이에 형성된 상기 유출구를 통해상기제2슬릿쪽배출되는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 본체의 하면과 상기 기판의 상면 사이의 산소농도를 측정할 수 있도록 상기 가이드부재에 결합되는산소센서더구비하는것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 불활성 가스는질소인것을특징으로 하는불활성 가스 분위기 형성장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 챔버의 내부의 압력은 대기압이상인것을특징으로 하는레이저 어닐링 처리장치.