문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,제 1 가스 분사 부재는 상기 빔의 외부에 장착되거나, 또는 상기 빔의 내부마련되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는금속에의해형성되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는 막대 형상 또는 판 형상형성되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는 서로 평행하게 상기 빔으로부터 빙주 형상으로 매달리도록 상기 빔고정되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는 비 처리체상으로 플라즈마가 확산될 때의 장벽이 되지 않는 위치마련되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는 상기 빔으로부터 돌출한 길이 방향의 길이이하인플라즈마 처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,제 2 분사 구멍은 제 2 처리 가스가 과잉으로 해리되지 않는 위치에 분사되도록 위치결정되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,제 1 분사 구멍은 상기 유전체 근방에서 피처리체에 수평한 방향개구하고 있는플라즈마 처리 장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,제 1 분사 구멍은 상기 유전체 근방에서 피처리체에 수직인 방향개구하고 있는플라즈마 처리 장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,제 2 분사 구멍은 피처리체에 수직인 방향개구하고 있는플라즈마 처리 장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재의 일부는 다공질체에 의해 형성되고, 상기 가스 공급부는, 상기 처리 가스를 상기 각 제 2 가스 분사 부재에 형성된 다공질체에 통과시킴으로써, 그 다공질체에 마련된 복수의 개구를 상기 제 2 분사 구멍으로 하여, 상기 복수의 개구로부터 상기 처리 가스를 상기 처리실내에 내뿜는플라즈마 처리 장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 다공질체는 상기 각 제 2 가스 분사 부재의 선단부에서 구형형성되는플라즈마 처리 장치.
[청구항 14]
제 1 항에 있어서,제 2 가스 분사 부재는 그 선단부가 구형으로 형성되고, 상기 각 제 2 분사 구멍은 상기 선단부의 구형 부분에 방사형으로 마련되고, 상기 가스 공급부는, 상기 처리 가스를 상기 각 제 2 분사 구멍으로부터 상기 처리실내방사형으로 내뿜는플라즈마 처리 장치.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 처리 가스 또는 상기 제 2 처리 가스중적어도 어느 한쪽은, 복수의 처리 가스를 혼합한 혼합 가스이며, 상기 혼합 가스가 과잉 반응하는 경우를 제외하고,상기 제 1 처리 가스는 상기 제 2 처리 가스보다도 결합 에너지가스인플라즈마 처리 장치.
[청구항 16]
제 1 항에 있어서,상기 유전체는 복수의 유전체 부품으로 구성되고, 상기 각 유전체 부품에는 피처리체와 대향하는 면에서 오목부 또는 볼록부중 적어도 하나형성되는플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제 2 가스 분사 부재의 일부가 다공질체로 형성된 경우, 가스 공급부가 처리 가스를 공급하여 처리실 내로 가스를 방출하는 구체적인 메커니즘은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 2 가스 분사 부재가 다공질체일 때, 가스 공급부가 처리 가스를 처리실 내로 방출하는 구체적인 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 제 2 가스 분사 부재의 일부가 다공질체로 형성된 경우의 동작 과정을 추출한다.
- 제 2 가스 분사 부재의 일부는 다공질체에 의해 형성되고, 상기 가스 공급부는, 상기 처리 가스를 상기 각 제 2 가스 분사 부재에 형성된 다공질체에 통과시킴으로써, 그 다공질체에 마련된 복수의 개구를 상기 제 2 분사 구멍으로 하여, 상기 복수의 개구로부터 상기 처리 가스를 상기 처리실내에 내뿜는
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3근거 선택
evidence_selection가스 공급부가 가스를 다공질체에 통과시키고, 다공질체의 개구를 통해 가스를 방출한다는 핵심 구절을 선택한다.
- 상기 가스 공급부는, 상기 처리 가스를 상기 각 제 2 가스 분사 부재에 형성된 다공질체에 통과시킴으로써, 그 다공질체에 마련된 복수의 개구를 상기 제 2 분사 구멍으로 하여, 상기 복수의 개구로부터 상기 처리 가스를 상기 처리실내에 내뿜는
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4논리 통합
logical_integration가스 공급부가 처리 가스를 다공질체로 통과시키면, 다공질체 내의 복수 개구가 제 2 분사 구멍 역할을 수행하여 가스가 처리실로 방출되는 순차적 메커니즘을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 공급부가 처리 가스를 다공질체에 통과시켜 다공질체의 복수 개구를 제 2 분사 구멍으로 활용함으로써 가스를 처리실 내로 내뿜는다는 결론을 내린다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 메커니즘을 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스 공급부가 처리 가스를 제 2 가스 분사 부재에 형성된 다공질체에 통과시키면, 다공질체에 마련된 복수의 개구가 제 2 분사 구멍 역할을 하게 되어, 해당 복수의 개구로부터 처리 가스를 처리실 내로 내뿜는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 2 가스 분사 부재의 다공질 구조를 활용하여, 다공질체의 미세 개구들을 분사 구멍으로 이용함으로써 처리 가스를 처리실 내로 균일하게 방출하는 메커니즘을 기술하고 있다.