문맥 (context)
[청구항 1]
기판이 안착되는 척
상기 기판에 도포액를 공급하는 도포액공급부
상기 기판과 상기 척을 감싸는 하부컵과 이에 결합하는 상부컵으로 이루어진 내부컵
상기 하부컵의 하부에 구비되며, 척과 상기 하부컵에 회전력을 전달하는 제1회전구동부
상기 상부컵의 상부에 구비되며, 상기 상부컵에 회전력을 전달하는 제2회전구동부; 및
상기 제1회전구동부 및 제2회전구동부를 동기(同期)제어하는 제어부를 포함하는 스핀코터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 도포액공급수단nan은이동장치더포함하는것을특징으로 하는스핀코터.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 상부컵와 상기 하부컵는 서로 대응하여 결합되는결합부포함하는것을특징으로 하는스핀코터.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 내부컵과 이격되어 스핀코터의 외관을 이루는 외부컵더 포함하는스핀코터.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 하부컵은 도포액를 외부로 배출시키는배출구포함하는것을특징으로 하는스핀코터.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 제1회전구동부와 제2회전구동부는에이시서보모터인것을특징으로 하는스핀코터.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 제어부는, 제1, 제2회전구동부에 전류를 공급하기 위한 전원부;제1회전구동부와 제2회전구동부에 설정된 값의 전류를 제공하는 스위칭부;상기 전류에 의해 구동되는 상기 제1, 제2회전구동부의 회전수와 속도를 검출하는 속도검출부; 및 상기 속도검출부에서 검출된 값에 따라 스위칭부를 통에 전류량을 조절하는속도제어부포함하는것을특징으로 하는스핀코터.
지시문 (instruction)
본문에서 필요한 정보를 찾아 질문에 답변하라.
질문 (question)
스핀코터의 제어부는 제1회전구동부와 제2회전구동부의 회전수 및 속도를 검출하여 전류량을 조절하기 위해 어떠한 구성요소들을 포함하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스핀코터의 제어부가 제1회전구동부와 제2회전구동부의 회전수 및 속도를 검출하고 전류량을 조절하기 위해 포함하는 구성요소를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 제어부의 세부 구성요소인 전원부, 스위칭부, 속도검출부, 속도제어부를 추출한다.
- 상기 제어부는, 제1, 제2회전구동부에 전류를 공급하기 위한 전원부;제1회전구동부와 제2회전구동부에 설정된 값의 전류를 제공하는 스위칭부;상기 전류에 의해 구동되는 상기 제1, 제2회전구동부의 회전수와 속도를 검출하는 속도검출부; 및 상기 속도검출부에서 검출된 값에 따라 스위칭부를 통에 전류량을 조절하는속도제어부포함하는것을특징으로 하는스핀코터.
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 기능(회전수/속도 검출 및 전류량 조절)과 직접적으로 연결된 구성요소들을 선별한다.
- 전원부;제1회전구동부와 제2회전구동부에 설정된 값의 전류를 제공하는 스위칭부;상기 전류에 의해 구동되는 상기 제1, 제2회전구동부의 회전수와 속도를 검출하는 속도검출부; 및 상기 속도검출부에서 검출된 값에 따라 스위칭부를 통에 전류량을 조절하는속도제어부
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4논리 통합
logical_integration전원부, 스위칭부, 속도검출부, 속도제어부가 유기적으로 결합되어 회전수/속도 검출 및 전류량 조절 기능을 수행함을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부에 포함된 네 가지 구성요소를 리스트 형태로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성요소들을 나열하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
전원부, 스위칭부, 속도검출부, 속도제어부
핵심 해석 (core_interpretation)
스핀코터의 제어부는 전원부, 스위칭부, 속도검출부 및 속도제어부를 통해 제1, 제2회전구동부의 회전수와 속도를 검출하고 이에 따라 전류량을 조절하여 동기 제어를 수행한다.