문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 고정하며 접지(ground)된 서셉터와
상기 기판에 증착되는 박막물질인 타겟을 고정하는 백킹플레이트와
상기 타겟과 서셉터의 일부를 가려주며, 상기 서셉터와 함께 접지되어 양극(anode)성질을 갖는 실드와
상기 실드와 일정간격을 두고 연결되며, 기판의 가장자리를 가려주는 플로팅실드
를 포함하며, 상기 플로팅실드의 일면에는 엠보싱패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 실드는 사각프레임 형상이며, 상기 실드의 일면에는엠보싱패턴형성되는것을특징으로 하는스퍼터장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 플로팅실드는 상기 실드 내부를 테두리하는사각프레임형상인것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 엠보싱패턴은 상기 타겟을 마주보는일면형성되는것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 엠보싱패턴은 측면이 일정기울기를 갖는사다리꼴형태인것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 엠보싱패턴nan은상기플로팅실드제작과정함께형성하는것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 엠보싱패턴은 상기 플로팅실드 상에 단조(鍛造)를 통해형성하는것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,진공환경이 조성될 수 있고, 상기 서셉터와, 백킹플레이트 그리고 기판과, 실드, 플로팅실드를 내부에 구비하는챔버더욱포함하는것을특징으로 하는스퍼터 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,셉터의 회전을 위해샤프트와구동핀더욱포함하는것을특징으로 하는스퍼터 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터 장치에서 양극(anode) 성질을 가지며 타겟과 서셉터의 일부를 가려주는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스퍼터 장치 내에서 양극(anode) 성질을 가지며 타겟과 서셉터의 일부를 가려주는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 각 구성요소의 기능과 성질을 추출한다.
- 상기 타겟과 서셉터의 일부를 가려주며, 상기 서셉터와 함께 접지되어 양극(anode)성질을 갖는 실드
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '양극 성질'과 '타겟 및 서셉터 일부를 가려주는 기능'을 모두 만족하는 '실드'를 근거로 선택한다.
- 상기 타겟과 서셉터의 일부를 가려주며, 상기 서셉터와 함께 접지되어 양극(anode)성질을 갖는 실드
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4논리 통합
logical_integration추출된 근거 구절의 '실드'가 질문의 조건(양극 성질, 타겟/서셉터 일부 차폐)과 완벽히 일치함을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation해당 구성요소의 명칭은 '실드'임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '실드'를 제시한다.
최종 답변 (final_answer)
실드
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 스퍼터 장치에서 타겟과 서셉터의 일부를 차폐하고 양극 성질을 갖는 실드 및 기판 가장자리를 가려주는 플로팅실드를 포함하는 구조에 관한 것이다.