웨이퍼 가공기 얼라인 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 가공기장착 시스템 document_id 1020060137413

[청구항 1] 웨이퍼 가공기의 설치 위치를 얼라인하기 위한 것으로서, 상면에 상기 웨이퍼 가공기가 진입할 수 있도록 진입로가 형성되어 있는 베이스부 상기 베이스부에 대하여 수직한 방향을 따라 승강가능하도록 이 베이스부에 설치되는 복수의 레벨조정부재 상기 레벨조정부재를 승강시키기 위한 승강수단; 및 웨이퍼 가공기의 하면에 부착된 지지블럭이 안착될 수 있도록 상기 레벨조정부재의 상면에 각각 설치되는 안착부재 를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공기 얼라인 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 베이스부에 대하여 수직한 방향으로 배치되는 수직프레임과, 상기 수직프레임에 결합되어 상기 베이스부에 놓여진 웨이퍼 가공기의 높이를 측정할 수 있는높이측정기더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 높이측정기는 3개 이상 배치되어 상기 웨이퍼 가공기의 기울어짐 여부를 측정할 수있는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 높이측정기는 상기 수직프레임에 대하여승강가능한것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 높이측정기는, 상기 수직프레임에 결합되는 본체와, 상기 베이스부에 대하여 수직한 방향을 따라 상기 본체에 대하여 왕복이동 가능하게 설치되는 측정자를 포함하여 이루어지며,상기 본체가 하강될 때 상기 측정자와 웨이퍼 가공기에 의하여 눌리는변위측정하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 수직프레임에 승강가능하게 설치되는 승강부재와, 상기 베이스부의 상면과 평행한 평면상에서 힌지가능하게 상기 승강부재에 결합되는 링크부와, 상기 링크부재의 선단에 결합되며 상기 높이 측정기가 고정되는지지부재더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 링크부는 상기 승강부재에 결합되는 제1링크부재와, 일단은 상기 제1링크부재에 힌지가능하게 결합되며 타단은 지지부재에 결합되는제2링크부재더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,상기 높이측정기는 상기 웨이퍼 가공기를 향해 광을 발사하는 발광소자와, 상기 발광소자로부터 반사된 광을 수광하는 수광소자를 구비하여,발광시점과 수광시점의 시간차를 이용하여높이측정하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼 가공기의 지지블럭에는 오목하게 수용부가 형성되어 있으며,상기 안착부재는, 상기 레벨조정부재에 결합되는 하우징과, 상기 웨이퍼 가공기 지지블럭의 수용부에 안착되는 것으로서 상기 하우징에 회전가능하게 설치되는 회전접촉볼과, 상기 회전접촉볼과 하우징 사이에 개재되어 이 회전접촉볼과 구름접촉되는 다수의 볼베어링포함하여이루어진것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼 가공기가 상기 베이스부의 길이방향을 따라 양쪽에서 진입할 수 있도록, 상기 진입로는베이스부의양측각각형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 11] 제1항 또는 제10항에 있어서,상기 진입로는 상기 웨이퍼 가공기의 진입방향을 따라 하측에서상측배치되는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼 가공기의 진입방향을 따라 상기 베이스부의 양측에 복수 개 배치되며, 상기 베이스부에 회전가능하게 설치되는가이드롤러더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,가이드롤러는 상기 웨이퍼 가공기의 진입방향을 따라 상기 베이스부의 양측에 배치되는 복수의 롤러지지체와, 상기 롤러지지체에 회전가능하게 끼워져 결합되는 롤러와, 상기 롤러와 롤러지지체 사이에 개재되는압축스프링구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 승강수단은 정역회전 가능한 모터와, 상기 모터의 회전축에 결합되는 볼스크류를 포함하여 이루어지며,상기 레벨조정부재는 상기 볼스크류에 결합되어, 상기 볼스크류가 승강될때함께승강되는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 베이스부는, 제1베이스부재와, 상기 제1베이스부재의 폭방향을 따라 상대 이동가능하게 상기 제1베이스부재에 결합되는제2베이스부재구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공기 얼라인 장치. [청구항 16] 일방향으로 길게 설치된 가이드레일; 및 웨이퍼를 가공하기 위한 웨이퍼 가공기가 장착되는 장치로서, 상기 가이드레일 상에서 이동가능하게 설치되는 복수의 웨이퍼 가공기 얼라인 장치 를 구비하며, 상기 가공기 얼라인 장치는 상기 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼 가공기 얼라인 장치인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공기 장착 시스템