성막 장치 document_id 1020067003016

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 가열 수단은 상기 기화실의 타단부를 형성하는 주변 벽에 마련되고, 상기 기화실의 일단부측의 온도보다도 상기 타단부측의 온도 쪽이 높아지도록상기기화실타단부를가열하는성막 장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기화실의 일단부와 타단부 사이에 있어서 열전도를 제한하는 전열 제한 구조체더 갖는성막 장치. [청구항 4] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 도출구는 상기 기화실의 일단부로부터 타단부까지의 중간 위치보다도 상기 분무 노즐쪽에 가까운 곳에 위치하고, 상기 기화실의 측면 주변 벽개구하고 있는성막 장치. [청구항 5] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 분무 노즐은 상기 액상 원료를 분출하는 원료 분출구와, 상기 원료 분출구의 주위에 인접하여 마련되고, 캐리어 가스를 분출하는 환상의 가스 분출구를 갖고,상기 원료 분출구로부터의 액상 원료의 분출방향과, 상기 가스 분출구로부터의 캐리어 가스 분출방향이 실질적동일한성막 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 원료 분출구로부터는 액상 원료분출되는성막 장치. [청구항 7] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기화실의 폐쇄된 타단부는 요곡면 형상만곡되어 있는성막 장치. [청구항 8] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기화기로부터 상기 성막실까지의 유로에 캐리어 가스를 추가하여 공급하는 추가 캐리어 가스 도입부갖는성막 장치. [청구항 9] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기화실의 길이방향의 길이(h1)와 기화실의 직경(d1)의 비(h1/d1)를 2.5 이상0 이하로 한성막 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 비(h1/d1)를 3.5 이상0 이하로 한성막 장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 길이(h1)는 상기 분무 노즐의 분사구로부터 상기 폐쇄된 타단부의 주변 벽까지의길이인성막 장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 직경(d1)은 상기 기화실의 최대내경인성막 장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 직경(d1)은 상기 기화실의 중간 위치로부터 상기 타단부까지의 평균내경인성막 장치. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 기화실의 일단부측에 있어서 상기 분무 노즐로부터 멀어질수록 상기 기화실의 내경이 점차 커지고, 상기 도출구를 지난 지점부터 상기 타단부까지의 내경이 실질적으로 동일하고, 상기 실질적 동일 내경이 상기 내경해당하는성막 장치. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 기화실의 일단부측에 있어서 상기 분무 노즐로부터 멀어질수록 상기 기화실의 내경이 점차 커지고, 상기 기화실의 중간 위치에 있어서 내경이 최대가 되고, 상기 중간 위치로부터 상기 타단부까지의 내경이 점차 작아지고, 상기 중간 위치의 최대 내경이 상기 내경해당하는성막 장치. [청구항 16] 제 9 항에 있어서,상기 기화실의 일단부로부터 타단부까지의 내경이 실질적으로 동일하고, 상기 실질적 동일 내경이 상기 내경해당하는성막 장치. [청구항 17] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 분무 노즐은 상기 기화실의 일단부측의 주변 벽내에 매설되며, 상기 주변 벽으로부터 상기 분무 노즐을 단열하는 단열 부재더 갖는성막 장치.