다층막 반사경, 다층막 반사경의 제조방법, 및 노광장치 document_id 1020067007278

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 표층막군에 있어서의 고굴절률막과 저굴절률막의적층쌍의수인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 표층막군의 단위 주기 구조(페어)의 수가, 10∼30이고,상기 심층막군의 페어의 수가,상기표층막군의페어의수의인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 8] 제 4 항에 있어서,상기 부가층이, 실리콘(si), 붕소(b) 혹은 이들을 함유한물질로이루어지는것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,고굴절률막과 저굴절률막과의 쌍(층쌍)의 일부는, 2종류의 물질로 이루어지고 있고, 다른 일부는3종류이상물질로이루어지는것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 반사 다층막은, 다른 구조의 고굴절률막(h)과 저굴절률막(l1 및 l2)(l1와 l2는 막구성물질이 다르다)와의 쌍(층쌍)이 반복하여 적층된 복수의 블록을 포함하고,상기 복수의 블록은, l1/l2/l1/h의 층쌍의 반복으로 이루어지는 블록과 l1/h의 층쌍의 반복으로 이루어지는 블록을 포함하며,각 블록에 있어서의층쌍의반복적층횟수50회인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 층쌍에 포함되는 층의 막두께가, 각 층쌍마다 다른 것특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 14] 제 10 항에 있어서,막의 막두께를 임의로 변화시키면서 적층하여, 파장 13.1nm∼13.9nm의 빛에 대한반사율이상으로한것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,적어도 18도에서 25도의 범위의 입사각으로 입사하는 경사 입사광에 대한반사율이상인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 반사 다층막의 합계 막두께를, 반사면내의 각 위치에 있어서의 빛의 입사각에 따라 임의로 변화시켜, 반사면 전체면에서,반사율을균일화한것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 반사 다층막의 합계 막두께를, 상기 반사 다층막 중의 각층의 막두께의 비율을 유지한 채로 변화시켜, 적어도 0도에서 20도의 범위의 입사각으로 입사하는 경사 입사광에 대한반사율이상으로한것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,적어도 0도에서 20도의 범위의 입사각으로 입사하는 경사 입사광에 대한반사율이상인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,파장13.1nm∼13.9nm의 빛에 대한반사율이상인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 27] 제 5 항에 있어서,상기 표층막군의 단위 주기 구조(페어)의 수가, 10∼30이고, 상기 심층막군의 페어의 수가,상기표층막군의페어의수의인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 28] 제 6 항에 있어서,상기 표층막군의 단위 주기 구조(페어)의 수가, 10∼30이고,상기 심층막군의 페어의 수가,상기표층막군의페어의수의인것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 29] 제 5 항에 있어서,상기 부가층이, 실리콘(si), 붕소(b) 혹은 이들을 함유한물질로이루어지는것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 30] 제 6 항에 있어서,상기 부가층이, 실리콘(si), 붕소(b) 혹은 이들을 함유한물질로이루어지는것을특징으로 하는,다층막 반사경. [청구항 31] 제 7 항에 있어서,상기 부가층이, 실리콘(si), 붕소(b) 혹은 이들을 함유한물질로이루어지는것을특징으로 하는,다층막 반사경.