조리개 변경 장치 document_id 1020067010273

[청구항 2] 제1항에 있어서,조리개 저장기는 조리개 개구(6)가 제공되는 복수의 개별 회전식 디스크 조리개(5)를 갖는회전식디스크조리개스택설계되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,회전식 디스크 조리개 스택(7a, 7b)은 광학 이미지 형성 장치(1)의외부배치되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 4] 제2항 또는 제3항에 있어서,회전식 디스크 조리개(5)는 회전식 디스크 조리개 스택(7a, 7b) 내부에서 별도의 플러그-인유닛공급되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 5] 제2항, 제3항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,회전식 디스크 조리개 스택(7b)은 빔 경로(2)에 도입될 회전식 디스크 조리개(5)가 회전식 디스크 조리개 스택(7b)을 변위시켜 선택될 수 있도록 변위 가능하게설계되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 6] 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,조리개 장치(7)는 빔 경로(2)에 도입될 회전식 디스크 조리개(5)를 회전식 디스크 조리개 스택(7a, 7b)으로부터, 특히 상응하는 별도의 플러그-인 유닛(11)으로부터 제거하여 이를 빔 경로(2) 내에 도입시키고, 회전식 디스크 조리개가 사용된 후 이를 다시 회전식 디스크 조리개 스택(7a, 7b) 내에 위치시키는공급기장치갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,공급기 장치는 움직일 수 있는로봇트그리퍼암설계되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 8] 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,조리개 장치(7)는 회전식 디스크 조리개(5)를 빔 경로(2) 내에 위치시키기 위한리프팅 장치갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 9] 제2항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,조리개 장치(7)는 회전식 디스크 조리개(5)를 빔 경로(2) 내에 고정시키기 위한홀딩장치갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 10] 제2항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,광학 소자들 중의 하나는 회전식 디스크 조리개(5)를 빔 경로(2) 내에 고정시키기 위한홀딩장치갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 11] 제2항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16", 16a, 16b, 16c)는 회전식 디스크 조리개(5)를 빔 경로(2) 내에 고정시키기 위한홀딩장치갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 12] 제9항, 제10항 또는 제11항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16, 16')는 광학 이미지 형성 장치(1)로부터 회전식 디스크 조리개(5)를 동력학적으로 분리시키기 위한 목적으로 스프링 요소(17)에 의해 홀딩 장치(13)에 대해압축되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 13] 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,회전식 디스크 조리개(5)를 투영 대물렌즈(1)로부터 동력학적으로 분리하기 위한 목적으로 회전식 디스크 조리개(5)는 자기력에 의해 홀딩 장치(13a 13b, 13c, 13d)상고정되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 14] 제8항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16')의 동력학적 분리특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 15] 제2항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,회전식 디스크 조리개(5)는 개구(29)를 통해 빔 경로(2)내도입되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 16] 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,조리개 장치(7)의 동력학적 분리특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 17] 제8항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16', 16", 16a, 16b, 16c)는 로봇트 그리퍼 암(28)으로부터회전식디스크조리개올리는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 18] 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16a)는로커설계되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 19] 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16b)는 특히 평행사변형 가이드를 갖는,눈금세트설계되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 20] 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,리프팅 장치(16c)는 팬터그래프의 설계로, 특히 견고한조인트갖는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 21] 제1항에 있어서,개의 롤러(36) 상에 감기고 인장 유지되는 시트형 금속 스트립(7c)은 조리개 저장기로서 제공되며, 시트형 금속 스트립(7c)은 특히 고정된 형태의 복수의 다양한 조리개 개구(35)를 가지며, 롤러(36)의 회전에 의해 조리개 개구(35)를 변화시킴으로써 조리개 셋팅을 조절할 수있는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,시트형 금속 스트립(7c)의 인장 및 조리개 개구(35)의 높이는 적어도 두 개의 추가 가이드 롤러(37)에 의해 일정하게 유지되며, 상기 롤러는 탄성 예비 인장을 발생시키며, 제1 롤러(36)는 고정식으로 배치되며, 제2 롤러(36)는 이격 방향에서가요성지지되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 23] 제21항 또는 제22항에 있어서,조리개 개구(35)의 위치는 표시에 의해, 특히 시트형 금속 스트립(7c)의 모서리에서 절재부(38)에 의해 결정될 수있는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치. [청구항 24] 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,광학 이미지 형성 장치는 투영 대물렌즈(1)로서, 특히 반도체 구성소자를 제조하기 위한 마이크로리토그래피용투영 노출사용되는것을특징으로 하는광학 이미지 형성 장치.