소프트 또는 임프린트 리소그래피를 이용하여 분리된마이크로- 및 나노- 구조를 제작하는 방법 document_id 1020067012179

[청구항 5] 제4항에 있어서,상기 퍼플루오로폴리에테르 물질은, 로 구성되는 군으로부터 선택되는 백본(backbone) 구조를 포함하는 것인 방법:여기있을경우에는 말단 캡핑 그룹을 포함한다. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 플루오로올레핀 물질은,로 구성되는 군선택되는 것인방법:여기서, csm은 경화 부위(cure site) 모노머이다. [청구항 8] 제4항에 있어서,상기 실리콘 물질은 하기 구조를 가지는 플루오로알킬 기능화된 폴리디메틸실옥산(fluoroalkyl functionalized polydimethylsiloxane, pdms)을 포함하는 것인 방법:여기서 r은 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 비닐 그룹으로 구성되는 군선택되고; rf는 플루오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 9] 제4항에 있어서,상기 스티렌 물질은 로 구성되는 군으로부터 선택되는 플루오로화된 스티렌 모노머포함하는 것인방법여기서, rf는 플로오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 10] 제4항에 있어서,상기 아크릴레이트 물질은 하기 구조를 가지는 플루오로화된 아크릴레이트 또는 플루오로화된 메타크릴레이트를 포함하는 것인 방법:여기서, r은 h, 알킬, 치환된 알킬, 아릴 및 치환된 아릴로 구성되는 군선택되고;rf는 플루오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 50] 제49항에 있어서,상기 복수의 입자들은 복수의 단분산(monodisperse) 입자들포함하는 것인복수의 입자들. [청구항 51] 제49항에 있어서,상기 입자 또는 복수의 입자들은 반도체 장치, 크리스탈, 의약 전달벡터, 유전자 전달벡터, 질병탐지 장치, 질병 위치장치(disease locating device), 광전지 장치, 태양 전지 장치, 포로젠, 화장품, 일렉트렛(electret), 첨가제, 촉매, 센서, 해독제, 연마제, 미세전자기계 시스템(micro-electro-mechanical system (mems), 세포 스캐폴드, 타갓트(taggart), 의약, 바이오마커로 구성되는 군선택되는 것인입자 또는 복수의 입자들. [청구항 52] 제49항에 있어서,상기 입자 혹은 복수의 입자들은 프리스탠딩 구조포함하는 것인입자 또는 복수의 입자들. [청구항 79] 제78항에 있어서,상기 퍼플루오로폴리에테르 물질은, 로 구성되는 군으로부터 선택되는 백본(backbone) 구조를 포함하는 것인 방법:여기있을경우에는 말단 캡핑 그룹을 포함한다. [청구항 80] 제78항에 있어서,상기 플루오로올레핀 물질은, 로 구성되는 군선택되는 것인방법.여기서, csm은 경화 부위(cure site) 모노머이다. [청구항 82] 제78항에 있어서,상기 실리콘 물질은 하기 구조를 가지는 플루오로알킬 기능화된 폴리디메틸실옥산(fluoroalkyl functionalized polydimethylsiloxane, pdms)을 포함하는 것인 방법: 여기서 r은 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 비닐 그룹으로 구성되는 군선택되고; rf는 플루오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 83] 제78항에 있어서,상기 스티렌 물질은 로 구성되는 군으로부터 선택되는 플루오로화된 스티렌 모노머포함하는 것인방법:여기서, rf는 플로오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 84] 제78항에 있어서,상기 아크릴레이트 물질은 하기 구조를 가지는 플루오로화된 아크릴레이트 또는 플루오로화된 메타크릴레이트를 포함하는 것인 방법:여기서, r은 h, 알킬, 치환된 알킬, 아릴 및 치환된 아릴로 구성되는 군선택되고;rf는 플루오로알킬 사슬을 포함한다. [청구항 113] 제112항에 있어서,하나 이상의 특징 또는 상기 하나 이상의 입자들을 조사, 측정 및 조사와 측정 양자 모두 중 하나를 위한 조사 장치를 추가포함하는장치. [청구항 115] 제114항에 있어서,상기 기판 위의 패턴의 하나 이상의 특징을 조사, 측정 및 조사와 측정 양자 모두 중 하나를 위한 조사 장치를 추가포함하는장치.