문맥 (context)
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역의 표면의 레벨은,상기에피택셜층형성되어않은소자 활성 영역의 표면의 레벨보다 낮은 반도체 장치.
[청구항 18]
제 17 항에 있어서,상기 에피택셜층 표면의 레벨은, 상기 에피택셜층이 성장하지 않은 소자 활성 영역의 표면의 레벨일치하고 있는반도체 장치.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성된 소자 활성 영역의 주위에 위치하는 복수의 더미 영역에는, 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 20]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성된 소자 활성 영역에 인접하는 복수의 더미 영역의 각각에는, 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 21]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성되어 있지 않은 소자 활성 영역과 상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역이 인접하고, 상기 2개의 소자 활성 영역의 사이에 적어도 하나의 더미 영역이 배치되어 있고, 상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 22]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역 중, 차동쌍 트랜지스터 회로를 구성하는 전계 효과형 트랜지스터가 형성되는 짝수개의 소자 활성 영역이 존재하고, 상기 짝수개의 소자 활성 영역의 대칭축에 대하여 대칭의 관계를 갖는 위치에 있는 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 23]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역의 모서리부의 근방에 l자형의 더미 영역이 배치되어 있고, 상기 l자형 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 24]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역의 주위에 적어도 하나의 c자형 더미 영역이 배치되어 있고, 상기 c자형 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 25]
제 16 항에 있어서,상기 에피택셜층이 형성된 복수의 소자 활성 영역 사이에 유지된 위치에 h자형 더미 영역이 배치되어 있고, 상기 h자형 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
에피택셜층이 형성된 소자 활성 영역과 형성되지 않은 소자 활성 영역이 인접할 때, 두 영역 사이에 배치된 더미 영역의 구성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation에피택셜층이 형성된 영역과 형성되지 않은 영역이 인접할 때, 그 사이에 위치한 더미 영역의 구성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 21에서 에피택셜층이 형성되지 않은 영역과 형성된 영역이 인접하고 그 사이에 더미 영역이 배치된 상황을 확인한다.
- 상기 에피택셜층이 형성되어 있지 않은 소자 활성 영역과 상기 에피택셜층이 형성되어 있는 소자 활성 영역이 인접하고, 상기 2개의 소자 활성 영역의 사이에 적어도 하나의 더미 영역이 배치되어 있고
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3근거 선택
evidence_selection해당 더미 영역의 구성에 대해 설명하는 구절을 선택한다.
- 상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는
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4논리 통합
logical_integration두 영역 사이에 배치된 더미 영역 상에는 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층이 형성되어 있음을 알 수 있다.
- 상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는
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5결론 도출
conclusion_formulation더미 영역 상에는 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층이 형성되어 있다.
- 상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변을 추출하여 작성한다.
- 상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층형성되어 있는
최종 답변 (final_answer)
상기 더미 영역 상에는 상기 에피택셜층과 동일한 재료로 이루어지는 층이 형성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
에피택셜층 형성 여부가 다른 인접한 소자 활성 영역 사이의 불균형을 해소하기 위해, 그 사이에 배치된 더미 영역에 에피택셜층과 동일한 재료의 층을 형성하는 기술이다.