플라즈마 생성용 전원회로, 플라즈마 생성장치, 플라즈마처리장치 및 목적물 document_id 1020067019848

[청구항 1] 제1전극과 제2전극으로 이루어지는 방전 발생용 전극에 교번 고전압을 인가함으로써 방전을 상기 전극간에 발생시켜서 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성용 전원회로에 있어서, 2개 이상의 제1전극과 1개 이상의 제2전극으로 이루어지는 방전 발생용 전극과, 상기 방전 발생용 전극의 제1전극과 제2전극간에 인가하는 교번 고전압을 발생시키는 교번 고전압 발생회로와, 이 교번 고전압 발생회로의 한 쪽의 출력과 상기 제1전극의 사이에, 콘덴서(캐패시터)과 코일(인덕터)을 직렬 접속한 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성용 전원회로 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 교번 고전압 발생회로가 고주파 트랜스로 이루어지고, 상기 고주파 트랜스의 2차측 코일의 일단측으로부터 2개 이상의 출력회로를 병렬 분지시켜서 제1전극에 접속하고, 상기 각 출력회로는 상기 콘덴서와 상기 코일을 직렬 접속해서 구성되며 , 또한 상기 2차측 코일의 타단측에 상기 제2전극접속하여 이루어지는플라즈마 생성용 전원회로. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 교번 고전압 발생회로가 고주파 트랜스로 이루어지고, 상기 고주파 트랜스의 2차측에 복수의 2차측 코일을 설치하고, 이 각 2차측 코일의 일단측으로부터 1개 이상의 출력회로를 병렬 분지시켜서 제1전극에 접속하고, 상기 각 출력회로는 상기 콘덴서와 상기 코일을 직렬 접속해서 구성되며, 또한 상기 2차측 코일의 타단측에 상기 제2전극접속하여 이루어지는플라즈마 생성용 전원회로. [청구항 4] 제1전극과 제2전극으로 이루어지는 방전 발생용 전극에 교번 고전압을 인가함으로써 방전을 상기 전극 간에 발생시켜서 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성장치에 있어서, 2개 이상의 제1전극과 1개 이상의 제2전극으로 이루어지는 방전 발생용 전극과, 상기 방전 발생용 전극의 제1전극과 제2전극 간에 인가하는 교번 고전압을 발생시키는 교번 고전압 발생회로와, 이 교번 고전압 발생회로의 한 쪽의 출력과 상기 제1전극의 사이에, 콘덴서(캐패시터)와 코일(인덕터)을 직렬 접속한 것을 특징으로 하는 플라즈마 생성장치 [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 교번 고전압 발생회로가 고주파 트랜스로 이루어지고, 상기 고주파 트랜스의 2차측 코일의 일단측으로부터 2개 이상의 출력회로를 병렬 분지시켜서 제1전극에 접속하고, 상기 각 출력회로는 상기 콘덴서와 상기 코일을 직렬 접속해서 구성되고, 또한 상기 2차측 코일의 타단측에 상기 제2전극접속하여 이루어지는플라즈마 생성장치. [청구항 6] 제 4항에 있어서,상기 교번 고전압 발생회로가 고주파 트랜스로 이루어지고, 상기 고주파 트랜스의 2차측에 복수의 2차측 코일을 설치하고, 이러한 각 2차측 코일의 일단측에서 1개 이상의 출력회로를 병렬 분지시켜서 제1전극에 접속하고, 상기 각 출력회로는 상기 콘덴서와 상기 코일을 직렬 접속해서 구성되며, 또한 상기 2차측 코일의 타단측에 상기 제2전극접속하여 이루어지는플라즈마 생성장치. [청구항 7] 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1전극 또는 제2전극의 한 쪽의 전극이 다른 쪽의 전극주위를 둘러싸는 형상을 구비하고, 또한 그 선단부(先端部)를, 상기 전극간에서 발생한플라즈마출력하는노즐 형상으로 한플라즈마 생성장치. [청구항 8] 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1전극과 제2전극이 대향하고, 상기 전극간에서 발생한 플라즈마를 그 개방단 측출력하도록 한플라즈마 생성장치. [청구항 9] 제 4항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전극간에서 발생한 플라즈마의 생성 영역에 유체를 공급하는 유체공급 수단구비한플라즈마 생성장치. [청구항 10] 제 4항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,전극쌍을 소정방향으로배설한플라즈마 생성장치. [청구항 17] 제 11항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,전극의 근방에 상기 피처리물을 유통시키는 피처리물 유통구비한플라즈마 처리장치. [청구항 18] 제 14항에 있어서,전극의 집합체의 중앙부에 상기 피처리물을 유통시키는 피처리물 유통설치한플라즈마 처리장치.