문맥 (context)
[청구항 1]
적어도 내열성의 기재, 상기 내열성 기재 상에 형성된 히터 패턴을 갖는 도전층, 및 상기 도전층 상에 형성된 절연성의 보호층을 갖는 가열소자로서, 적어도 상기 보호층 상에 산소량이 양론비보다 적은 산화물인 내식층을 갖고,
상기 산화물의 산소의 양론비를 1이라고 했을 경우에, 상기 산소량이 0.6~1미만이며,
상기 내열성 기재는, 적어도, 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부가 형성된 일체물이고, 상기 내열성 기재의 표면에 절연성의 유전체층이 형성되고, 상기 도전층은 상기 유전체층 상에 형성되며, 상기 보호층은 상기 히터 패턴과 상기 도전로의 표면을 덮는 일체적으로 형성되어서 이루어지는 것임을 특징으로 하는 가열소자
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 내열성 기재의 히터 패턴이 형성된 면과 반대측의 면 상에, 피가열물을 유지하는 정전척 패턴이 형성되고, 상기 정전척 패턴 상에상기보호층및상기내식층형성된것특징으로 하는가열소자.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 산화물은 알루미늄의 산화물, 이트륨의 산화물, 실리콘의 산화물 중 어느 하나,또는이들조합시킨것특징으로 하는가열소자.
[청구항 5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내식층은, cvd법, 용사법, 반응성 스퍼터법, 졸겔법 중 어느 하나, 또는 이들을 조합시킨 방법에 의해형성된것특징으로 하는가열소자.
[청구항 6]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내식층은 환원성 가스를 포함한 분위기에 의해처리된것특징으로 하는가열소자.
[청구항 7]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내식층은,최표면의표면이하인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 8]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내식층은, 최표면의 저항율이 108∼1013ω·㎝(실온인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 9]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내식층은, 최표면의 비커스 경도가 1㎬이상이하인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 10]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 보호층의 재질이, 질화붕소, 열분해 질화붕소, 질화규소, cvd 질화규소, 질화알루미늄, cvd 질화알루미늄 중 어느 하나,또는이들조합시킨것특징으로 하는가열소자.
[청구항 11]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 도전층의 재질이,열분해탄소또는유리상탄소인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 내열성 기재의 재질이 그라파트인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 유전체층의 재질이 질화붕소, 열분해 질화붕소, 질화규소, cvd 질화규소, 질화알루미늄, cvd 질화알루미늄 중 어느 하나,또는이들조합시킨것특징으로 하는가열소자.
[청구항 15]
제1항에 있어서,상기 막대 형상부의 길이가 10∼200㎜인것을특징으로 하는가열소자.
[청구항 16]
제1항에 있어서,상기 판형상부의 상기 막대 형상부가 돌출되는 측의 면에 히터 패턴이 형성되고, 상기 판형상부의 반대측의 면에 피가열물을 유지하는정전척패턴형성된것특징으로 하는가열소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가열소자의 내열성 기재는 어떤 구성 요소들로 이루어진 일체물이며, 각 구성 요소의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가열소자의 구성 요소 중 '내열성 기재'가 어떤 부분들로 이루어진 일체물인지와 각 부분의 특징을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 내열성 기재의 구성 요소인 판형상부, 막대 형상부, 선단부에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 내열성 기재는, 적어도, 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부가 형성된 일체물이고
-
3근거 선택
evidence_selection내열성 기재의 세부 구성과 각 구성의 특징(형태 및 기능)이 명시된 구절을 선택한다.
- 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부
-
4논리 통합
logical_integration추출된 세 구성 요소(판형상부, 막대 형상부, 선단부)를 하나의 일체물로 통합하고 각 특징을 연결한다.
- 상기 내열성 기재는, 적어도, 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부가 형성된 일체물
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 내열성 기재의 구성 요소와 각 특징을 구조화된 형태로 정리한다.
- 상기 내열성 기재는, 적어도, 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부가 형성된 일체물
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 구성 요소와 특징이 명확히 드러나도록 작성한다.
- 상기 내열성 기재는, 적어도, 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 상기 판형상부의 한 면으로부터 돌출되는 도전로가 형성되는 막대 형상부, 및 상기 막대 형상부의 상기 판형상부와는 반대단에 위치해 급전단자가 형성되는 선단부가 형성된 일체물
최종 답변 (final_answer)
가열소자의 내열성 기재는 다음의 세 가지 구성 요소로 이루어진 일체물이다.
1. 판형상부: 히터 패턴이 형성되는 부분
2. 막대 형상부: 판형상부의 한 면으로부터 돌출되며, 도전로가 형성되는 부분
3. 선단부: 막대 형상부의 판형상부와 반대단에 위치하며, 급전단자가 형성되는 부분
핵심 해석 (core_interpretation)
가열소자의 내열성 기재는 히터 패턴이 형성되는 판형상부, 도전로가 형성되는 막대 형상부, 그리고 급전단자가 형성되는 선단부가 결합된 일체형 구조를 가진다.