문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 장착하는 스테이지
상기 스테이지를 x축 방향 및 y축 방향으로 이동시키는 스테이지 이동수단
다수개의 레이저 헤드를 가지며, 상기 기판에 레이저를 조사하는 레이저 조사수단
상기 각 레이저 헤드를 z축 방향으로 구동하는 헤드 구동수단
상기 레이저 헤드별로 높이 편차를 측정하는 헤드 높이 편차 측정수단
상기 스테이지의 평탄도에 대한 제1 데이터와 상기 헤드 높이 편차 측정수단에 의하여 측정된 제2 데이터를 저장하는 데이터 저장수단
상기 데이터 저장수단에 저장된 데이터를 이용하여 레이저 헤드와 기판 사이의 간격이 균일하도록 상기 레이저 헤드를 제어하는 제어수단
을 포함하는 레이저 실링 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 스테이지 위치별로 평탄도를 측정하여 상기 제1 데이터를 생성하는 스테이지 평탄도측정수단더구비하는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 스테이지에 장착된 기판 상에 배치되어 레이저가 조사되는 위치를 제한하는마스크더구비되는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 스테이지 이동수단은, 상기 스테이지를 x축 방향으로 이동시키는 x축 이동 겐트리와 y축 방향으로 이동시키는 y축이동겐트리구성되는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 스테이지에 기판을 장착하는로딩부더구비되는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 6]
제2항에 있어서,상기 스테이지에 장착된 기판을 배출하는언로딩부더구비되는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 7]
제2항에 있어서,상기 제어수단은 상기 레이저 헤드에 의하여 기판에 레이저를 조사하면서 레이저 헤드에 의하여 레이저가 조사되는 지점의 높이에 대한 데이타를 고려하여상기레이저헤드의높이를실시간조절하는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 8]
제2항에 있어서,상기 스테이지 평탄도 측정수단은, 상기 스테이지를 일정한 크기의 블럭으로 가상 분할하고, 각블럭별로평탄도측정하는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 제어수단은, 상기 스테이지를 가상 분할한 블럭별로 동일한 평탄도 값을 적용하여상기레이저헤드의높이제어하는것을특징으로 하는레이저 실링 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
레이저 실링 장치에서 레이저 헤드와 기판 사이의 간격을 균일하게 유지하기 위해 제어수단이 활용하는 데이터는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation레이저 실링 장치에서 레이저 헤드와 기판 사이의 간격을 균일하게 유지하기 위해 제어수단이 사용하는 데이터가 무엇인지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제어수단이 사용하는 데이터의 출처와 종류를 확인한다.
- 상기 데이터 저장수단에 저장된 데이터를 이용하여 레이저 헤드와 기판 사이의 간격이 균일하도록 상기 레이저 헤드를 제어하는 제어수단
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3근거 선택
evidence_selection제어수단이 사용하는 데이터가 저장된 '데이터 저장수단'에 저장된 구체적인 데이터 항목을 선택한다.
- 상기 스테이지의 평탄도에 대한 제1 데이터와 상기 헤드 높이 편차 측정수단에 의하여 측정된 제2 데이터를 저장하는 데이터 저장수단
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4논리 통합
logical_integration제어수단은 데이터 저장수단에 저장된 데이터를 이용하므로, 제1 데이터(스테이지 평탄도)와 제2 데이터(헤드 높이 편차 측정값)를 활용함을 알 수 있다.
- 상기 데이터 저장수단에 저장된 데이터를 이용하여 레이저 헤드와 기판 사이의 간격이 균일하도록 상기 레이저 헤드를 제어하는 제어수단
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5결론 도출
conclusion_formulation제어수단이 활용하는 데이터는 스테이지의 평탄도에 대한 제1 데이터와 헤드 높이 편차 측정수단에 의해 측정된 제2 데이터이다.
- 상기 스테이지의 평탄도에 대한 제1 데이터와 상기 헤드 높이 편차 측정수단에 의하여 측정된 제2 데이터를 저장하는 데이터 저장수단
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 두 가지 데이터를 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
스테이지의 평탄도에 대한 제1 데이터, 헤드 높이 편차 측정수단에 의하여 측정된 제2 데이터
핵심 해석 (core_interpretation)
레이저 실링 장치에서 스테이지의 평탄도 정보와 레이저 헤드의 높이 편차 정보를 결합하여 활용함으로써, 레이저 헤드와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하는 기술이다.