문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제2 도펀트 도핑 영역의 상기 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면 상에 배치된 실리사이드 방지 패턴을 더 포함하되,상기 실리사이드 방지 패턴의 폭은 상기 제2 콘택 플러그의 폭에 비하여 크고, 상기 제2 콘택 플러그는 상기 단일층 또는 다층의 절연막, 상기 실리사이드 방지 패턴 및 상기 제2 도펀트 도핑 영역을 연속적관통하는반도체 소자.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 제2 콘택 플러그는 상기 단일층 또는 다층의 절연막을 관통하는 제1 부분 및 상기 제2 도펀트 도핑 영역을 관통하는 제2 부분을 갖되,상기 제2 콘택 플러그의 제1 부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면의 폭 보다 크고,상기 제2 콘택 플러그의 제2 부분의 윗부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된상부면의 폭과 같은 반도체 소자.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기제1 및 제2 도펀트 도핑 영역들 아래의 웰에 형성된 포켓 도펀트 도핑 영역을 더 포함하되, 상기 포켓 도펀트 도핑 영역은 상기 웰과 동일한 타입의 도펀트로 도핑되고, 상기 포켓 도펀트 도핑 영역의 도펀트 농도는 상기 웰의 도펀트 농도에 비하여 높고, 상기 제2 콘택 플러그는 상기 제2 도펀트 도핑 영역 아래의 포켓 도펀트 도핑 영역접속하는반도체 소자.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 웰은 p형 도펀트로 도핑되고, 상기 제1 및 제2 도펀트 도핑 영역들은 n형 도펀트로 도핑되되, 상기 제2 콘택 플러그를 통하여 상기 웰 및 제2 도펀트 도핑 영역에는 접지 전압인가되는반도체 소자.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 웰은 n형 도펀트로 도핑되고, 상기 제1 및 제2 도펀트 도핑 영역들은 p형 도펀트로 도핑되되, 상기 제2 콘택 플러그를 통하여 상기 웰 및 제2 도펀트 도핑 영역에는 전원 전압인가되는반도체 소자.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 금속실리사이드를 더 포함하되, 상기 게이트 금속실리사이드 및 상기 제1 및 제2 표면 금속실리사이드들은 서로 동일한 금속포함하는반도체 소자.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 반도체 기판은 트랜지스터 영역 및 저항 영역을 포함하고, 상기 웰, 상기 제1 및 제2 도펀트 영역들, 게이트 전극은 상기 트랜지스터 영역내에 배치되되,상기 저항 영역의 반도체 기판 상에 형성된 저항 패턴;상기 저항 패턴을 덮는 저항 실리사이드 방지 패턴;상기 저항 실리사이드 방지 패턴이 미형성된 상기 저항 패턴의 일단의 상부면 상에 형성된 저항 금속실리사이드; 및상기 단일층 또는 다층의 절연막을 관통하여 상기 저항 금속실리사이드에 접속된 저항 플러그더 포함하는반도체 소자.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 저항 금속실리사이드과 상기제1 및 제2 표면 금속실리사이드들은 서로 동일한 금속포함하는반도체 소자.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 저항 플러그와 상기제1 및 제2 콘택 플러그들은 서로 동일한 물질형성된반도체 소자.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 단일층 또는 다층의 절연막 상에 배치되어 상기 제1 콘택 플러그와 접속된 제1 배선;상기 단일층 또는 다층의 절연막 상에 배치되어 상기 제2 콘택 플러그와 접속된 제2 배선; 및상기 단일층 또는 다층의 절연막 상에 배치되어 상기 저항 플러그와 접속된 저항 배선더 포함하는반도체 소자.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기제1 및 제2 표면 금속실리사이드들코발트 실리사이드인반도체 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제2 콘택 플러그의 제1 부분과 제2 부분의 폭은 각각 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면의 폭과 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2 콘택 플러그의 제1 부분 및 제2 부분의 폭과 제2 도펀트 도핑 영역의 상부면 폭 사이의 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제2 콘택 플러그의 제1 부분 폭과 제2 부분 윗부분의 폭에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제2 콘택 플러그의 제1 부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면의 폭 보다 크고,상기 제2 콘택 플러그의 제2 부분의 윗부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된상부면의 폭과 같은
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3근거 선택
evidence_selection제1 부분의 폭은 상부면 폭보다 크고, 제2 부분의 윗부분 폭은 상부면 폭과 같다는 구절을 선택한다.
- 상기 제2 콘택 플러그의 제1 부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면의 폭 보다 크고,상기 제2 콘택 플러그의 제2 부분의 윗부분의 폭은 상기 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된상부면의 폭과 같은
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 제1 부분은 상부면보다 넓고, 제2 부분의 윗부분은 상부면과 동일한 폭을 가짐을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 부분의 폭은 상부면의 폭보다 크며, 제2 부분의 윗부분의 폭은 상부면의 폭과 동일하다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 명확한 비교 관계를 기술하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제2 콘택 플러그의 제1 부분의 폭은 제2 도펀트 도핑 영역의 제2 표면 금속실리사이드가 미형성된 상부면의 폭보다 크고, 제2 콘택 플러그의 제2 부분의 윗부분의 폭은 해당 상부면의 폭과 같다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제2 콘택 플러그의 구조적 폭을 제2 도펀트 도핑 영역의 상부면 폭과 비교하여, 제1 부분은 더 넓고 제2 부분의 상단은 동일한 폭을 갖도록 설계되어 있다.