기판처리장치 document_id 1020070005756

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 열처리유닛은, 반입된 기판 또는 반출되는 기판을 지지하는 지지부와, 기판에 가열처리를 행하는 가열부와, 상기 지지부와 상기 가열부와의 사이에서 기판을 반송하는반송장치갖는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 노광장치에 의한 노광처리 후의 기판을 소정의 타이밍으로 가열하도록 상기 가열부를 제어하는제어부더구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,기판을 일시적으로 재치하는 재치부(載置部)를 더 포함하고, 상기 제1 반송유닛은 상기 처리부에 의한 소정의 처리 후의 기판을 상기 재치부로 반송하고, 상기 제2 반송유닛은 상기 재치부로부터 노광장치로기판반송하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 재치부는 상기 노광장치에 의한 노광처리 전의 기판을 소정온도로 유지하면서 상기 노광장치에의 반입이 가능하게 될 때까지 기판을 대기시키는온도관리대기유닛인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 처리부및 상기 주고받기부 중 적어도 한 쪽은 상기 노광장치에 의한 노광처리 후로서 상기 열처리유닛에 의한 열처리 전에 기판의 건조처리를 행하는건조처리유닛포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 건조처리유닛은 기판의 건조처리 전에기판의세정처리행하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 처리부및 상기 주고받기부 중 적어도 한 쪽은 상기 노광장치에 의한 노광처리 전에 기판의 세정처리를 행하는세정처리유닛더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 세정처리유닛은 기판의 세정처리 후에기판의건조처리행하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 처리부, 상기 주고받기부 및 상기 노광장치는 제1 방향으로 병설되고, 상기 주고받기부는 상기 제1 방향과 수평면내에서 직교하는 제2 방향으로 적어도 1개의 측면을 갖고, 상기 건조처리유닛은 상기 주고받기부내에 있어서상기1개의측면측배치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제2 방향에 있어서 상기 1개의 측면에 대향하는 다른 측면을 갖고, 상기 세정처리유닛은 상기 주고받기부내에 있어서 상기 다른측면측배치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 열처리유닛 및 상기 재치부는 상기 주고받기부내의 상기 제2 방향에서의 대략 중앙부에 적층 배치되고, 상기 제1 반송유닛은 상기 세정처리유닛과 상기 열처리유닛과의 사이에 배치되며, 상기 제2 반송유닛은 상기 열처리유닛과 상기 건조처리유닛과의사이배치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 제6항에 있어서,상기 제2 반송유닛은 기판을 지지하는 제1 및 제2 지지부를 포함하고, 상기 노광장치에 의한 노광처리 전 및 상기 건조처리유닛에 의한 건조처리 후의 기판을 반송할 때는 상기 제1 지지부에 의해 기판을 지지하고, 상기 노광처리 후의 기판을 상기 노광장치로부터 상기 건조처리유닛으로 반송할 때는 상기 제2 지지부에 의해기판지지하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제2 지지부는 상기 제1 지지부보다아래쪽설치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,기판의 주연부(周緣部)를 노광하는 에지노광부를 더 포함하고, 상기 제1 반송유닛은 상기 처리부, 상기 에지노광부, 상기 세정처리유닛 및 상기 재치부의 사이에서기판반송하는것을특징으로 하는기판처리장치.