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유지 장치 및 그것을 이용한 노광 장치 document_id 1020070007277

출원번호
1020070007277
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 유지 장치에 의해 유지되고 6개의 제 1 평면을 지닌 대상물 각각 상기 제 1 평면의 대응하는 면에 대해서 대향하는 동시에 평행한 6개의 제 2 평면을 지닌 유지 부재; 및 상기 제 1 평면 및 상기 제 2 평면의 관련된 평면들 사이에 각각 설치된 전동체(rolling element) 를 포함하고 상기 대상물은 상기 전동체를 개입시켜 상기 유지 부재에 지지되는 것을 특징으로 하는 유지 장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 6개의 제 2 평면은서로평행하지않은것을특징으로 하는유지 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 유지 부재는 3개의 볼록형상 또는 오목형상 유지부를 갖추어, 상기 제 2 평면중 2개는 각유지부의볼록형상또는오목형상의적어도일부형성하는것을특징으로 하는유지 장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 2개의 제 2 평면이 상호 이루는 각도는실질적인것을특징으로 하는유지 장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,상기 유지부에 있어서의 상기 2개의 제 2 평면의 교선은 서로 실질적으로 120°의각도이루는것을특징으로 하는유지 장치. [청구항 6] 제 3항에 있어서,상기 유지부에서의 상기 2개의 제 2 평면의 교선 중의 1개의 교선에 관해서, 나머지의 2개의 교선이 동일한각도이루는것을특징으로 하는유지 장치. [청구항 7] 제 3항에 있어서,상기 유지부에서의 상기 2개의 제 2 평면의 교선의 연장선이대략1점서로교차하는것을특징으로 하는유지 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 유지 장치에서 대상물이 유지 부재에 지지되기 위해 개입되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 1에서 대상물이 유지 부재에 지지되기 위해 개입되는 구성 요소를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1의 내용을 분석하여 대상물, 유지 부재, 그리고 지지 방식에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 대상물은 상기 전동체를 개입시켜 상기 유지 부재에 지지되는 것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    대상물의 지지를 위해 개입되는 구성 요소로 명시된 '전동체(rolling element)'를 선택한다.

    • 상기 대상물은 상기 전동체를 개입시켜 상기 유지 부재에 지지되는 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    대상물이 유지 부재에 지지되는 메커니즘에서 전동체가 개입된다는 문맥적 인과관계를 확인한다.

    • 상기 대상물은 상기 전동체를 개입시켜 상기 유지 부재에 지지되는 것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 직접적인 답변으로 '전동체(rolling element)'를 도출한다.

    • 상기 전동체를 개입시켜
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 구성 요소를 최종 답변으로 작성한다.

    • 전동체(rolling element)
최종 답변 (final_answer)
전동체(rolling element)
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 대상물과 유지 부재 사이에 전동체를 개입시켜 대상물을 안정적으로 지지하는 유지 장치에 관한 기술이다.