기판처리장치 및 기판처리방법 document_id 1020070008226

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 액체공급수단은 상기 근접부재에 대하여 상기 이동방향의 하류측에서 상기 기판 표면을 향하여 상기 액체를 토출하는제1노즐갖는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 액체공급수단은 상기 근접부재의 대향면을 제외하는 비(非)대향면을 향하여 상기 액체를 토출하는 제2노즐을 갖고,상기 근접부재는 상기 제2노즐로부터 상기 비대향면으로 토출된 상기 액체를 상기 비대향면을 따라, 상기 대향면을 규정하는 변부(邊部) 중 상기 이동방향의 상류측에 위치하는상류변부안내하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 근접부재는 상기 제2노즐로부터 상기 비대향면으로 토출된 상기 액체를 상기 비대향면을 따라, 상기 대향면을 규정하는 변부 중 상기 상류변부와 함께 상기 이동방향의 하류측에 위치하는하류변부안내하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 근접부재는 상기 비대향면으로서 상기 상류변부와 접속됨과 아울러 그 접속위치부터 상기 이동방향의 상류측을 임하면서 상기 기판 표면으로부터 멀어지는 방향에 연장설치된 연설면(延設面)을 더 갖고, 상기 제2노즐로부터 토출된 상기 액체를 상기 연설면을 통하여상기상류변부안내하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 근접부재의 상류측 단부에서는 상기 대향면과 상기 연설면이예각있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 근접부재는 상기 연설면과 대향하여 상기 액체를 상기 상류변부를 향하여 안내하는 안내면을 더 갖고, 상기 제2노즐로부터 토출된 상기 액체로 상기 연설면과 상기 안내면과의 사이를 액밀상태로 채우면서 상기 상류변부를 향하여상기액체안내하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 용제가스공급수단은 상기 이동방향에 있어서 상기 액밀층의 상류측에 위치하는 상류측 분위기를 둘러싸는 커버부재를 갖고, 상기 상류측 분위기에상기용제가스공급하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 근접부재는 상기 대향면의 상기 이동방향의 상류측에 상기 기판 표면에 대향하면서 이격 배치됨과 아울러, 가스토출구가 개구된 상류측 대향부위를 더 갖고,상기 용제가스공급수단은 상기 가스토출구로부터상기용제가스를상기액밀층의상기이동방향의상류측토출하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 근접부재가석영형성되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.