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저항체를 이용한 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 document_id 1020070010703

출원번호
1020070010703
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 접지 전압 라인nan은상기제1방향연장되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에상기제1방향연장되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에 상기 제1 방향을 따라 서로 분리되어 이격된 다수의 서브 히트 싱크 패턴포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 6] 제 2항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴의 폭을 정의하는 스페이서더 포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 다수의 가변 저항 패턴nan은메모리셀분리되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 가변 저항 패턴과 동일 레벨형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 10] 제 8항에 있어서,상기 접지 전압 라인nan은상기제1방향연장되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에상기제1방향연장되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 13] 제 10항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 접지 전압 라인 상에 상기 제1 방향을 따라 서로 분리되어 이격된 다수의 서브 히트 싱크 패턴포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 14] 제 10항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴의 폭을 정의하는 스페이서더 포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 15] 제 8항에 있어서,상기 제2 정션 영역과 상기 가변 저항 패턴 사이에 상기 접지 전압 라인과 동일한 레벨에 형성된 랜딩 패드더 포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 랜딩 패드와 상기 가변 저항 패턴 사이에 형성된 하부 전극 컨택포함하는비휘발성 메모리 장치. [청구항 17] 제 8항에 있어서,상기 다수의 가변 저항 패턴nan은메모리셀분리되어형성된비휘발성 메모리 장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 히트 싱크 패턴은 상기 제1 가변 저항 패턴 및/또는 제2 가변 저항 패턴과 동일 레벨형성된비휘발성 메모리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
비휘발성 메모리 장치에서 히트 싱크 패턴이 제1 방향과 교차되도록 형성되는 경우, 해당 히트 싱크 패턴을 구성하는 서브 히트 싱크 패턴들의 형성 방향은 각각 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    히트 싱크 패턴이 제1 방향과 교차되도록 형성될 때, 이를 구성하는 서브 히트 싱크 패턴들의 각각의 형성 방향을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4 및 청구항 12에서 히트 싱크 패턴의 구성 요소인 제1 서브 히트 싱크 패턴과 제2 서브 히트 싱크 패턴의 방향 정보를 추출한다.

    • 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴
  3. 3근거 선택evidence_selection

    서브 히트 싱크 패턴들의 구체적인 방향이 명시된 청구항 구절을 선택한다.

    • 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴
  4. 4논리 통합logical_integration

    제1 서브 히트 싱크 패턴은 제1 방향으로 연장되고, 제2 서브 히트 싱크 패턴은 제1 방향과 교차되는 제2 방향으로 연장됨을 결합한다.

    • 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제1 서브 히트 싱크 패턴은 제1 방향, 제2 서브 히트 싱크 패턴은 제2 방향으로 형성된다는 결론을 도출한다.

    • 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 서브 히트 싱크 패턴들의 형성 방향을 명확히 기술하여 답변을 생성한다.

    • 상기 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 서브 히트 싱크 패턴과, 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 서브 히트 싱크 패턴
최종 답변 (final_answer)
제1 서브 히트 싱크 패턴은 상기 제1 방향으로 연장되어 형성되고, 제2 서브 히트 싱크 패턴은 상기 제1 방향과 교차되도록 제2 방향으로 연장되어 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
히트 싱크 패턴이 서로 다른 방향(제1 방향 및 제2 방향)으로 연장되는 서브 히트 싱크 패턴들의 조합으로 구성되어 제1 방향과 교차되는 구조를 가짐을 나타낸다.