반도체 제조 공정용 스트립 언로딩장치 document_id 1020070013804

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제 1그립퍼는 하강시 일단부가 상기 제 2그립퍼의 일단부와 소정의 간격을 이루면서 제 2그립퍼에 대해 스트립의 양단부를 이동가능한 상태로 가압하여 워페이지를 보정함과 동시에 가이드레일의 기능을 하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 스트립 픽커의 고정/안내부재는, 상기 가동블록에 대해 상기 제 1그립퍼의 상하 이동을 안내하는 그립퍼가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 제 2그립퍼는 적어도 1개 이상의 연결핀과 탄성부재에 의해 제 1그립퍼에 탄성적으로 이동 가능하게 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 스트립 픽커의 고정/안내부재는, 상기 가동블록의 하단부에 설치되어 상기 제 1그립퍼가 상측으로 복귀할 때 제 1그립퍼와 접촉하면서 충격을 완화시키는 완충부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,스트립 푸싱유닛은, 상기 스트립 픽커의 제 2그립퍼들이 안착되면서 지지되고 서로 일정 거리 이격되게 형성되는 한 쌍의 스톱퍼블록과, 상기 스톱퍼블록 사이를 따라 수평 이동하도록 설치되어 스트립 픽커에 지지된 스트립을 매거진 쪽으로 밀어내는 푸셔와, 상기 푸셔를 수평하게 왕복 이동시키기 위한 푸셔 구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 매거진 대기부의 매거진의 바로 전방에 상하로 이동가능하게 설치되어, 상기 스트립 픽커로부터 매거진으로 이동하는 스트립을 안내하는 가이드유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 가이드유닛은 매거진의 전방에서 상하로 이동 가능하게 설치되는 승강블록과, 상기 승강블록의 상측에 폭방향으로 이동하면서 상호 간격 조절이 가능하도록 된 한 쌍의 가이드블록과, 상기 각 가이드블록의 내측에 형성되어 상기 스트립 픽커로부터 반송되는 스트립의 양단부가 삽입되면서 안내되는 가이드홈과, 상기 승강블록을 상하로 이동시키기 위한 승강수단과, 상기 가이드블록들을 폭방향으로 이동시키기 위한 가이드블록 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 가이드유닛은, 스트립 픽커의 각 가동블록의 후방부 양측면에 돌출되게 형성되어, 상기 가이드블록이 접촉하여 지지되면서 스트립 픽커에 대한 가이드블록의 정렬 위치를 결정하여 주는 위치결정용 스톱퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 10] 제 8항에 있어서,상기 가이드블록 구동수단은 각 가이드블록에 개별적으로 결합된 한 쌍의 공압실린더와, 상기 각 가이드블록이 위치결정용 스톱퍼와 접촉했을 때 이를 감지하여 상기 각 공압실린더로의 공압 공급을 중지시키는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 11] 제 8항에 있어서,상기 가이드홈의 상하 폭은 매거진의 슬롯의 상하 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치. [청구항 12] 제 8항에 있어서,상기 스트립 픽커의 고정/안내부재의 스트립 고정 부분의 상하 폭은 상기 가이드홈의 상하 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용스트립 언로딩장치.