비접촉 및 확산 경화 노출을 이용하여 포토폴리머나노임프리팅 스탬퍼를 제조하는 시스템, 방법 및 장치 document_id 1020070014726

[청구항 1] 개구부가 있는 막 지지부와 상기 막 지지부에 탑재되어 상기 막 지지부에 있는 상기 개구부 전역에 걸쳐서 확장되고 밀봉되게 하는 막(membrane)과 상기 막을 통해 적어도 일부분의 자외선 광이 통과할 것을 허락하는 막에 인접하여 위치되고, 축을 가지며 방사 방향으로 확장되는 플레이트와 상기 플레이트에 탑재되는 젤패드(gel pad)와 상기 젤패드에 탑재되는 스탬퍼와 상기 젤패드 맞은편의 스탬퍼에 인접하여 위치되고 임프린트 피쳐(imprint features)를 갖는 접촉면을 가지는 마스터와 평행 자외선 입사 빔을 랜덤화된 자외선 입사 빔으로 확산시키도록 상기 막에 인접하여 상기 플레이트 맞은편에 위치되는 자외선 빔 확산기 를 포함하는 임프린팅 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,젤패드는 상기 플레이트 및 스탬퍼와 축방향으로 정렬되는 내측부와 상기 내측부와 일정한 간격을 두고 방사상으로 떨어져 있는 외측부를 포함하는 2개의 부분포함하는 것인임프린팅 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,젤패드의 내측부는 원통형이고, 상기 젤패드의 외측부는 고리 형태를 갖고 내측부와 축방향정렬되는 것인임프린팅 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,젤패드의 내측부와 외측부 사이에 정의된 방사 공간은 상기 마스터의 접촉면상의 임프린트 피쳐의 방사 위치일치하는 것인임프린팅 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,젤패드의 내측부의 외부 직경은 상기 임프린트 피쳐의 내부 직경보다 작거나 같고, 상기 젤패드의 외측부의 내부 직경은 상기 임프린트 피쳐의 외부 직경것인임프린트 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,젤패드의 최대 직경은 상기 스탬퍼의 최대 직경초과하는 것인임프린트 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 스탬퍼는 사다리꼴(frustoconical) 형태이며 하부면의 직경을 초과하는 상부면의 직경갖는 것인임프린트 장치. [청구항 8] 포토폴리머(photopolymer) 스탬퍼 제조용 임프린팅 시스템으로서, 개구부가 있는 막 지지부와 상기 막 지지부에 탑재되어 상기 막 지지부에 있는 상기 개구부 전역에 걸쳐서 확장되고 밀봉되게 하는 막과 상기 막을 통해 적어도 일부분의 자외선 광이 통과할 것을 허락하는 막에 인접하여 위치되고, 축을 가지며 방사 방향으로 확장되는 플레이트와 상기 플레이트에 탑재되고 상기 플레이트와 축방향으로 정렬되는 내측부와 상기 내측부와 일정한 간격을 두고 방사상으로 떨어져 있는 외측부를 포함하는 젤패드와 상기 젤패드에 탑재되는 도터 스탬퍼(daughter stamper)와 상기 젤패드 맞은편의 상기 도터 스탬퍼에 인접하여 위치되고 임프린트 피쳐를 갖는 접촉면을 가지는 마스터와 상기 도터 스탬퍼상에 패턴을 형성하도록 상기 마스터와 상기 도터 스탬퍼 사이에 위치하는 포토폴리머 저항 층 을 포함하는 임프린팅 시스템 [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 포토폴리머 저항 층에서 평행 자외선 입사 빔을 랜덤화된 자외선 입사 빔으로 확산시키도록 상기 막에 인접하여 상기 플레이트 맞은편에 위치되는 것인 자외선 빔 확산기더 포함하는임프린팅 시스템. [청구항 10] 제8항에 있어서,젤패드의 내측부는 원통형이고, 상기 젤패드의 외측부는 고리 형태를 갖고 상기 내측부와 축방향정렬되는 것인임프린팅 시스템. [청구항 11] 제8항에 있어서,젤패드의 내측부와 외측부 사이에 정의된 방사 공간은 상기 마스터의 접촉면상의 임프린트 피쳐의 방사 위치일치하는 것인임프린팅 시스템. [청구항 12] 제8항에 있어서,젤패드의 내측부의 외부 직경은 상기 임프린트 피쳐의 내부 직경보다 작거나 같고, 상기 젤패드의 외측부의 내부 직경은 상기 임프린트 피쳐의 외부 직경것인임프린트 시스템. [청구항 13] 제8항에 있어서,젤패드의 최대 직경은 상기 스탬퍼의 최대 직경초과하는 것인임프린트 시스템. [청구항 14] 제8항에 있어서,상기 스탬퍼는 사다리꼴(frustoconical) 형태이며 하부면의 직경을 초과하는 상부면의 직경갖는 것인임프린트 시스템.