가열 장치, 가열 방법, 도포 장치 및 기억 매체 document_id 1020070016412

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 간극 형성 부재는 기판을 열판으로부터 0.5 ㎜ 이내의 간극을 사이에 두고 부유한 상태로 보유 지지하기 위한 것인 것특징으로 하는가열 장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 간극 형성 부재는 상기 와이어가 중심부를 관통한구형상형성되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 와이어에는 기판의 외연을 규제하여 기판의 위치 어긋남을 방지하기 위해 기판의 윤곽을 따라복수의규제 부재설치되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 와이어는 기판의 반송로의 하방측 부위에서 분단되고, 분단 부위 사이에 상시 축퇴하는 방향으로 복원력이 작용하는탄성부재설치되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 6] 제1항 또는 제2항에 있어서,가열실은 열판에 대향하여 천장판이 고정되어 설치되어구성되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,열판과 천장판nan과의거리이하인것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 8] 제1항 또는 제2항에 있어서,열실의 반입 반출구측에는 가스를 토출하는 가스 토출구가 마련되는 동시에 가열실의 반입 반출구와 반대측에는 가스를 배기하는 배기구가 마련되고, 기판을 가열 처리할 때에 가스 토출구로부터 배기구를 향하는기류형성되는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 가스는 기판의 표면을 소수화 처리하기 위한가스인것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,열실의 반입 반출구에는 가열실 내부와 외부의 분위기를 구획하기 위해 기체에 의한커튼형성되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,열실의 반입 반출구에는 가열실 내부와 외부의 분위기를 구획하기 위해셔터형성되어있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 12] 제1항 또는 제2항에 있어서,기판의 주연을 보유 지지한 외부의 기판 반송 기구로부터 냉각 위치에서 대기하고 있는 간극 형성 부재로 기판을 전달할 때에는, 상기 기판을 적재한 외부의 기판 반송 기구가 상기 냉각 위치의 상방측으로 진입하고, 상기 기판 반송 기구와 상기 냉각 위치와의 사이에 기판 반송로의 일단부에 설치된 풀리가 빠져나가는 공간을 형성하면서 냉각 위치의 상방측으로부터 하방측으로 빠져나가 기판을 간극 형성 부재에 전달하고,냉각 위치의하방측퇴각하는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 13] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 냉각 위치에는 냉각 플레이트가 설치되고,이 냉각 플레이트에는 상기 와이어가 통과하도록 표면부에 홈부가 마련되고, 기판이 냉각 플레이트 상에 위치하였을 때에 냉각 플레이트의 표면으로부터 간극을 사이에 두고 부유한상태있는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 냉각 플레이트의 주연에는 외부의 기판 반송 기구의 형상에 대응하는 절결부가 형성되고, 기판의 주연부를 보유 지지한 외부의 기판 반송 기구로부터 냉각 플레이트 상에서 대기하고 있는 간극 형성 부재로 기판을 전달할 때에는, 상기 기판을 적재한 외부의 기판 반송 기구가 상기 냉각 플레이트의 상방측으로 진입하고, 상기 기판 반송 기구와 상기 냉각 플레이트와의 사이에 기판 반송로의 일단부에 설치된 풀리가 빠져나가는 공간을 형성하면서 냉각 플레이트의 상방측으로부터 하방측으로 빠져나가 기판을 간극 형성 부재에 전달하고,냉각 플레이트의하방측퇴각하는것을특징으로 하는가열 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 냉각 위치에는 냉각 플레이트가 설치되고, 이 냉각 플레이트에는 상기 와이어가 통과하도록 표면부에 홈부가 마련되고, 기판이 냉각 플레이트 상에 위치하였을 때에 냉각 플레이트의 표면으로부터 간극을 사이에 두고 부유한 상태로 되어 있는 동시에, 상기 냉각 플레이트의 주연에는 상기 기판 반송 기구의 형상에 대응하는 절결부가 형성되고, 상기 기판 반송 기구는 기판의 주연을 보유 지지하도록 구성되고, 냉각 플레이트 상에서 대기하고 있는 간극 형성 부재에 기판을 전달할 때에는, 냉각 플레이트의 상방측으로 진입하고, 상기 냉각 플레이트와의 사이에 기판 반송로의 일단부에 설치된 풀리가 빠져나가는 공간을 형성하면서 냉각 플레이트의 상방측으로부터 하방측으로 빠져나가 기판을 간극 형성 부재에 전달하고, 냉각 플레이트의 하방측으로부터 퇴각하도록구성되어있는것을특징으로 하는도포 장치.