문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 기판지지수단nan은리프트 핀컨베이어 롤러인것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 리프트 핀은 상기 석정반에 형성된 석정반홀을 관통하고 상기 업다운수단에 의하여 업다운되어 상기 기판을 상기 글라스 스테이지 상에 안착하거나상승시키는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 업다운수단은, 상기 리프트 핀을 고정 지지하는 리프트 핀 고정지지대와, 상기 리프트 핀 고정지지대를 업다운시키는 구동수단과, 상기 구동수단에 의하여 업다운되는 상기 리프트 핀 고정지지대를 가이딩하는가이딩샤프트포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 구동수단은 상기 석정반 하부에 고정설치되는 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되고, 타단은 상기 리프트 핀 고정지지대에 형성된 너트에 결합되는볼스크류포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 6]
청구항 4에 있어서,상기 가이딩 샤프트는 일단이 상기 석정반 하부에 고정되고, 타단에는 상기 리프트 핀 고정지지대의 하강을 막는스토퍼구비되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 7]
청구항 3에 있어서,상기 리프트 핀은 몸체를 이루는 샤프트와, 상기 기판과 접촉되되, 탄성재질로 형성되는 피크와, 상기 피크를 상기 샤프트에 연결하되, 상기 피크의 높이를 조절할 수 있는 셋 스크류포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 8]
청구항 3에 있어서,상기 석정반 상부 및 하부에는 상기 리프트 핀을 가이딩하기 위한리프트 핀가이딩판구비되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 9]
청구항 2에 있어서,상기 컨베이어 롤러는 롤러 지지프레임에 의하여 지지되고, 상기 컨베이어 롤러는 마크네틱 기어 방식에 의하여 회전되며, 상기 롤러 지지프레임은 상기 석정반에 형성된 석정반홀을 관통하고 업다운수단에 의하여 업다운되는지지샤프트지지되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 업다운수단은,상기 지지샤프트를 고정 지지하는 지지샤프트 고정지지대와, 상기 지지샤프트 고정지지대를 업다운시키는 구동수단과, 상기 구동수단에 의하여 업다운되는 상기 지지샤프트 고정지지대를 가이딩하는가이딩샤프트포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 11]
청구항 10에 있어서,상기 구동수단은 상기 석정반 하부에 고정설치되는 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되고, 타단은 상기 지지샤프트 고정지지대에 형성된 너트에 결합되는볼스크류포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 12]
청구항 10에 있어서,상기 가이딩 샤프트는 일단이 상기 석정반 하부에 고정되고, 타단에는 상기 지지샤프트 고정지지대의 하강을 막는스토퍼구비되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 13]
청구항 1에 있어서,상기 글라스 스테이지는,상기 지지프레임 상에서 스테이지 고정수단에 의하여 고정 설치되되, 높이가 조정될 수설치되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 14]
청구항 13에 있어서,상기 스테이지 고정수단은,상기 지지프레임에 고정되되, 높이 조정용 스크류에 의하여 높이 조절되는 고정블록과, 상기 고정블록에 삽입되어 고정 장착되되, 상기 바 타입의 글라스 스테이지의 끝단을 지지하는 지지블록과, 상기 스테이지 끝단을 덮는덮개블록포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 바 타입의 글라스 스테이지는 위쪽으로 볼록한형상인것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 16]
청구항 1에 있어서,상기 클램프 중, 하나의 장변 측부에 구비되는 클램프는 고정되고, 나머지 세 변 측부에 구비되는 클램프는이동가능한것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 17]
청구항 16에 있어서,상기 클램프의 전면에는 상기 기판의 거리를 감지할 수 있는센서구비되는것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 18]
청구항 1에 있어서,상기 글라스 스테이지는 표면 평탄도가 높고 광투과율이 높은바타입글라스인것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 19]
청구항 16에 있어서,상기 클램프는,로드를 전후 이동시키는 실린더와, 상기 로드에 연결되는 이동블록과, 상기 이동블록의 양 측면에 일단이 연결되는 두쌍의 링크와, 상기 링크의 타단에 연결되어 전후 이동되는 피크블록과, 상기 각 쌍의 링크에 대각선 방향으로 연결되는 인장스프링과, 상기 피크블록이 후진함에 따라, 상기 피크블록을 하강시키는롤러블록포함하여이루어진것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
[청구항 20]
청구항 1에 있어서,상기 글라스 스테이지를 구성하는 바(bar)사이의간격인것을특징으로 하는기판의 검사 및 수리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판의 검사 및 수리 장치에서 리프트 핀을 업다운시키는 구동수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리프트 핀을 업다운시키는 구동수단의 구성요소를 찾는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 업다운수단의 구성을 확인하고, 청구항 5에서 구동수단의 구체적인 구성요소를 추출한다.
- 상기 구동수단은 상기 석정반 하부에 고정설치되는 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되고, 타단은 상기 리프트 핀 고정지지대에 형성된 너트에 결합되는볼스크류포함하여이루어진것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection구동수단을 구성하는 '모터'와 '볼스크류'에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 구동수단은 상기 석정반 하부에 고정설치되는 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되고, 타단은 상기 리프트 핀 고정지지대에 형성된 너트에 결합되는볼스크류포함하여이루어진것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration청구항 5의 내용을 바탕으로 구동수단은 모터와 볼스크류로 이루어져 있음을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation구동수단의 구성요소는 모터와 볼스크류이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 리스트 형식으로 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
모터, 볼스크류
핵심 해석 (core_interpretation)
리프트 핀의 상하 이동을 제어하기 위해 석정반 하부에 설치된 모터와 리프트 핀 고정지지대의 너트에 결합되는 볼스크류를 이용한 구동 메커니즘을 제공한다.