문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1시트형상물은, 그이면평탄한것을특징으로 하는기판지지구조.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제1시트형상물은, 기판의 주연부와 접촉하는 링 형상의 립부를 구비하고, 상기 립부는 에칭처리에 의해형성된것을특징으로 하는기판지지구조.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 제1시트형상물은, 기판과 상기 제1시트형상물과의 사이에 형성되는 공간의 기체를 흡인하기 위한제1개구부구비한것을특징으로 하는기판지지구조.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 제2시트형상물에는, 상기 씰부보다 바깥쪽에 제3개구부가 형성되고, 상기 열처리장치는, 상기 제3개구부 내에 배치된 삽입부재를 구비하며,상기 제3개구부와 상기 삽입부재와의 사이에 상기 제2시트형상물의 신축(伸縮)을 허용하는간극구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 씰부보다 바깥쪽의 상방에 상기 제2시트형상물로부터 떨어져서 구비되어, 상기 제2시트형상물이 상기 열처리플레이트로부터 부상하는 것을 규제하는부상규제부재더구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,기판의 수평방향의 위치결정을 행하는 가이드부재와,상기 가이드부재에 접촉하여 상기 가이드부재의 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부재를 더 구비하고,상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 12]
제9항에 있어서,기판의 수평방향의 위치결정을 행하는 가이드부재를 더 구비하고,상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서상기삽입부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 13]
제8항에 있어서,상기 제2시트형상물 위에서 상기 씰부보다 바깥쪽에 놓이며, 상기 제2시트형상물의 신축을 허용하는누름부재구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 씰부보다 바깥쪽의 상방에 상기 제2시트형상물로부터 떨어져서 구비되어, 상기 제2시트형상물이 상기 열처리플레이트로부터 부상하는 것을 규제하는부상규제부재구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,기판의 수평방향의 위치결정을 행하는 가이드부재와,상기 가이드부재에 접촉하여 상기 가이드부재의 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부재를 더 구비하고,상기 가이드부재는 상기 제2시트형상물 위에서 상기 씰부보다 바깥쪽에 놓여서, 상기 누름부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 16]
제13항에 있어서,기판의 수평방향의 위치결정을 행하는 가이드부재를 더 구비하고,상기 가이드부재는 상기 제2시트형상물 위에서 상기 씰부보다 바깥쪽에 놓여서,상기누름부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 17]
제8항에 있어서,상기 씰부보다 바깥쪽의 상방에 상기 제2시트형상물로부터 떨어져서 구비되어, 상기 제2시트형상물이 상기 열처리플레이트로부터 부상하는 것을 규제하는부상규제부재구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 열처리플레이트의 상면에 형성되어, 상기 흡인구멍에 연통하는홈부더구비하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 홈부의 저부로부터 상기 열처리플레이트의 상면까지의 높이는, 상기 돌기부의 높이보다 높은 것특징으로 하는열처리장치.
[청구항 21]
제19항에 있어서,상기 홈부는, 상기 열처리플레이트의 주연측과 중앙에 걸쳐형성되어있는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 22]
제18항에 있어서,상기 열처리플레이트의 상면에 형성되어, 상기 제2배출구멍에 연통하는 홈부를 더 구비하고,상기 제2배출구멍은상기흡인구멍겸하는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 23]
제22항에 있어서,상기 홈부의 저부로부터 상기 열처리플레이트의 상면까지의 높이는, 상기 돌기부의 높이보다 높은 것특징으로 하는열처리장치.
[청구항 24]
제22항에 있어서,상기 홈부는, 상기 열처리플레이트의 주연측과 중앙에 걸쳐형성되는것을특징으로 하는열처리장치.
[청구항 25]
제18항에 있어서,상기 제2배출구멍은, 상기 열처리플레이트에 형성되는 플레이트구멍과, 상기 제2시트형상물에 형성되며, 상기 플레이트구멍에 연통하는 시트구멍과를 가지고, 상기 시트구멍은상기열처리플레이트의주연측구비되는것을특징으로 하는열처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리장치에서 제3개구부 내에 배치되어 삽입부재의 역할을 수행하면서 동시에 기판의 수평방향 위치결정을 행하는 가이드부재와, 상기 가이드부재에 접촉하여 위치맞춤을 수행하며 부상규제부재의 역할을 겸하는 위치맞춤부재를 모두 포함하는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문에서 요구하는 가이드부재(삽입부재 겸함, 수평방향 위치결정)와 위치맞춤부재(부상규제부재 겸함)를 모두 포함하는 구성을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 가이드부재가 제3개구부 내에 배치되어 삽입부재를 겸하며 기판의 수평방향 위치결정을 수행한다는 점과, 위치맞춤부재가 부상규제부재를 겸한다는 점을 추출한다.
- 상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치
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3근거 선택
evidence_selection질문의 조건인 '제3개구부 내 배치', '삽입부재 역할', '수평방향 위치결정', '위치맞춤부재의 부상규제부재 겸함'이 모두 명시된 청구항 11을 근거로 선택한다.
- 상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치
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4논리 통합
logical_integration가이드부재는 제3개구부 내에서 삽입부재 및 수평 위치결정 기능을 수행하고, 위치맞춤부재는 부상규제부재의 역할을 수행하므로 두 구성이 결합된 형태를 확인한다.
- 기판의 수평방향의 위치결정을 행하는 가이드부재와,상기 가이드부재에 접촉하여 상기 가이드부재의 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부재를 더 구비하고,상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 모든 조건을 충족하는 구성은 청구항 11에 기재된 열처리장치이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는상기부상규제부재겸하는것을특징으로 하는열처리장치
최종 답변 (final_answer)
상기 가이드부재는 상기 제3개구부 내에 배치되어서 상기 삽입부재를 겸하는 동시에, 상기 위치맞춤부재는 상기 부상규제부재 겸하는 것을 특징으로 하는 열처리장치
핵심 해석 (core_interpretation)
열처리장치 내에서 제3개구부를 활용하여 삽입부재와 기판의 수평 위치결정 기능을 수행하는 가이드부재, 그리고 부상규제 기능을 겸하는 위치맞춤부재를 통해 기판의 위치를 정밀하게 제어하는 구성에 관한 것이다.