문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 안티-하이드레이션 모듈은 건조한 기체 분위기인 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 기판 투입구와, 안티-하이드레이션 모듈 사이에는 도어에 의하여 선택적으로 개폐되며, 상기 기판이 장입되는 통로를 제공하는 슬릿이 형성된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 진공 챔버는 다단으로 진공을 유지하기 위하여 복수의 챔버로 분리된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 챔버중 일부와 증착실은 상하 분리판에 의하여 상하 공간으로 분리된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 챔버중 일부와 증착실에는 상기 기판을 가열하는 히이터가 설치된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,플라즈마 또는 전자빔 소스와, 보호막층의 원소재가 장착된 로를 포함하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 이송부는 상기 캐리어를 이송시키는 캐리어 롤러, 상기 기판을 이송시키는 기판 롤러를 포함하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 캐리어 롤러는 상기 안티-하이드레이션 모듈과, 로드 록 챔버와, 진공 챔버와, 증착실을 통하여 연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 10]
제 8항에 있어서,상기 기판 롤러는 상기 안티-하이드레이션 모듈내에 설치된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 안티-하이드레이션 모듈내에는 상기 캐리어 롤러와, 기판 롤러를 승강 운동시키는 상하 이송부가 더 설치된 것을 특징으로 하는 보호막층증착시키는장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
보호막층증착시키는장치에서 안티-하이드레이션 모듈 내에 설치된 기판 롤러와, 해당 모듈 내에 추가로 설치되어 캐리어 롤러 및 기판 롤러를 승강 운동시키는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation안티-하이드레이션 모듈 내에서 기판 롤러와 함께 설치되어 캐리어 롤러 및 기판 롤러를 승강 운동시키는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 기판 롤러가 안티-하이드레이션 모듈 내에 설치됨을 확인하고, 청구항 11에서 해당 모듈 내의 추가 구성요소를 추출한다.
- 상기 기판 롤러는 상기 안티-하이드레이션 모듈내에 설치된 것, 상기 안티-하이드레이션 모듈내에는 상기 캐리어 롤러와, 기판 롤러를 승강 운동시키는 상하 이송부가 더 설치된 것
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '승강 운동시키는 구성요소'에 직접적으로 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 캐리어 롤러와, 기판 롤러를 승강 운동시키는 상하 이송부
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4논리 통합
logical_integration청구항 11에 따르면 안티-하이드레이션 모듈 내에는 기판 롤러 외에 캐리어 롤러와 기판 롤러를 승강 운동시키는 '상하 이송부'가 설치되어 있음을 알 수 있다.
- 상기 안티-하이드레이션 모듈내에는 상기 캐리어 롤러와, 기판 롤러를 승강 운동시키는 상하 이송부가 더 설치된 것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '상하 이송부'를 도출한다.
- 상하 이송부
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 작성한다.
- 상하 이송부
최종 답변 (final_answer)
상하 이송부
핵심 해석 (core_interpretation)
안티-하이드레이션 모듈 내에서 캐리어 롤러와 기판 롤러의 위치를 조절하기 위해 승강 운동을 수행하는 상하 이송부의 구성을 정의하고 있다.