문맥 (context)
[청구항 1]
다수의 기판을 안치할 수 있는 기판안치수단을 구비하는 하나 이상의 공정챔버
상기 공정챔버에 안치될 수 있는 기판의 배수에 해당하는 기판을 수용할 수 있는 로드락챔버
상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
를 포함하는 기판처리장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 공정챔버의 상기 기판안치수단은 다수의 기판을 동일 평면상에 위치시키는 기판안치대인 것특징으로 하는기판처리장치
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 상기 로드락챔버의 내부에는 기판을 안치할 수 있는 다수의 슬롯이 서로 상하로 이격되어 설치되며, 상기 다수의 슬롯마다하나의기판안치되는것을특징으로 하는기판처리장치
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 로드락챔버는,제1 서브챔버;상기 제1 서브챔버의 상부에 위치하는 제2 서브챔버;를 포함하며, 상기 제1 서브챔버와 상기 제2 서브챔버에 대해서는 각각 독립적으로진공펌핑과벤이루어지는것을특징으로 하는기판처리장치
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 제1 서브챔버 및 상기 제2 서브챔버의 각각에는 기판을 안치할 수 있는슬롯설치되는것을특징으로 하는기판처리장치
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 제1 서브챔버 및 상기 제2 서브챔버의 각각에는 처리된 기판을 냉각하기 위한냉각수단설치되는것을특징으로 하는기판처리장치
[청구항 7]
n(n은 3이상의 정수)개의 기판을 안치할 수 있는 기판안치수단을 구비하는 하나 이상의 공정챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 2n개인 제1로드락챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 n개인 하나 이상의 제2로드락챔버
상기 공정챔버, 상기 제1로드락챔버 및 상기 제2로드락챔버와 각각 연결되며, 내부에 기판이송을 위한 기판이송수단을 구비하는 이송챔버
를 포함하는 기판처리장치
[청구항 8]
n(n은 3이상의 정수)개의 기판을 안치할 수 있는 기판안치수단을 구비하는 m(m은 1이상의정수)개의 공정챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 n*m 개인 하나 이상의 제1로드락챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 n개인 m개의 제2로드락챔버
상기 공정챔버, 상기 제1로드락챔버 및 상기 제2로드락챔버와 각각 연결되며, 내부에 기판이송을 위한 기판이송수단을 구비하는 이송챔버
를 포함하는 기판처리장치
[청구항 9]
n(n은 3이상의 정수)개의 기판을 안치할 수 있는 기판안치수단을 구비하는 하나 이상의 공정챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 n개인 하나 이상의 제1로드락챔버
내부에 안치할 수 있는 기판의 수가 n개인 하나 이상의 제2로드락챔버
상기 공정챔버, 상기 제1로드락챔버 및 상기 제2로드락챔버와 각각 연결되며, 내부에 기판이송을 위한 기판이송수단을 구비하는 이송챔버
를 포함하는 기판처리장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1을 기준으로 할 때, 기판처리장치를 구성하는 각 챔버와 이송로봇 간의 연결 관계 및 이송로봇의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1을 바탕으로 각 챔버(공정챔버, 로드락챔버)와 이송로봇이 포함된 이송챔버 간의 연결 관계 및 이송로봇의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 이송챔버가 공정챔버 및 로드락챔버의 각각과 연결된다는 점과 이송로봇이 내부에 구비되어 기판을 이송한다는 점을 추출한다.
- 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
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3근거 선택
evidence_selection연결 관계를 나타내는 '각각과 연결되며'와 역할을 나타내는 '내부에 기판을 이송하는 이송로봇' 구절을 선택한다.
- 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
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4논리 통합
logical_integration이송챔버가 공정챔버와 로드락챔버 모두에 연결되어 있으며, 그 내부의 이송로봇이 기판을 이송하는 역할을 수행함을 통합한다.
- 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
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5결론 도출
conclusion_formulation이송챔버는 공정챔버 및 로드락챔버 각각과 연결되어 있으며, 이송로봇은 이송챔버 내부에서 기판을 이송하는 역할을 한다.
- 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버의 각각과 연결되며, 내부에 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송챔버
최종 답변 (final_answer)
이송챔버가 공정챔버 및 로드락챔버의 각각과 연결되어 있으며, 이송로봇은 이송챔버 내부에 구비되어 기판을 이송하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판처리장치에서 이송챔버는 공정챔버와 로드락챔버 사이를 연결하는 매개체 역할을 하며, 내부의 이송로봇을 통해 기판의 이동을 수행한다.