마스크 패킹 박스 및 패킹 박스 재료 선별 방법 document_id 1020070032570

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 카세트는 상부가 개방된 구조로 마스크 적재를 위한 적재공간부와 내벽으로 구성되는 본체와, 상기 내벽과 일체로 연장되어 적재되는 마스크를 지지하기 위한 바닥면으로 구성되고,상기 블랭크 마스크를 상기 적재공간부 내부로 위치시켜 적재하기 위하여 일측 내벽과 이에 대향하는 타측 내벽을 따라 블랭크 마스크 슬롯을 구성하며, 상기 카세트 성형시 변형을 최소화하고 상기 카세트와 상기 바디 결합시 결합 및 고정을 용이하게 하기 위하여, 상기 카세트 본체 내벽 외측 상부 측면에서 일정거리 하측 방향으로 뻗는 카세트변형방지바가 형성되어 있으며, 상기 카세트 바닥면 외측에는 상기 카세트와 상기 바디 결합시 상기 카세트의 움직임을 최소화하기 위한카세트 가이드형성되어있는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 3] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 바디는 상부가 개방된 구조로 상기 카세트를 탑재하기 위한 탑재공간부와 내벽으로 구성되는 본체와, 상기 내벽과 일체로 연장되어 탑재되는 카세트를 지지하기 위한 바닥면으로 구성되고,상기 바디의 성형시 변형방지를 위하여 상기 내벽 내측면에는 바디변형방지바가 형성되어 있으며, 상기 바디와 상기 카세트의 결합시 결합을 용이하게 하기 위하여 상기 바닥면 상부로는 바디내측가이드가 형성되어 있으며, 상기 바디의 내벽 외측면에는 상기 패킹박스가 분리되지 않도록 커버의 커버락과 결합을 하는 바디락이 형성되어 있으며, 상기 씰링바는 박스를 결합한 후 실시하는 테이프를 사용한 씰링 작업시 완벽한 씰링이 되도록 하기 위하여 상기 내벽 외측면을 따라 수평 방향으로 형성되어 있으며, 상기 바닥면 외측에는 상기 패킹박스를 수직 방향으로 다수개 적층시 적층을 용이하게 하도록 커버 부분에 형성되어 있는 커버가이드와 결합을 할 수 있는바디외측가이드형성되어있는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 쿠션은, 상기 쿠션을 상기 커버에 형성되어 있는 쿠션고정대와 결합/고정시키기 위한 쿠션고정홈을 양 끝 부분으로 형성하며, 상기 블랭크 마스크 옆면의 지지 및 고정을 위한 마스크옆면지지대와 마스크옆면고정부를 구성하고, 상기 쿠션이 상기 커버에 결합된 상태에서 상기 바디와 결합할 경우 상기 쿠션에 가해지는 힘을 보강하기 위한쿠션지지대형성되어있는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 5] 제 1항 또는 제 4항에 있어서,상기 커버는, 커버 상면 외측에 상기 패킹 박스를 다수 개 적층 하였을때 적층을 쉽게 할 수 있는 커버가이드가 형성되어 있으며,상기 커버의 내부로는 상기 쿠션을 고정할 수 있는 쿠션고정대가 구성되어 있고,상기 커버의 성형시 상기 커버의 변형을 최소화 할 수 있는 커버변형방지바가 형성되어 있으며, 상기 커버의 측면에는 상기 바디와 상기 커버를 결합하기 위하여 상기 바디락과 결합하는커버락형성되어있는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 커버는, 커버를 통과하는 빛의 500 nm 이하의 파장에 있어서 투과율이 10% 이하가 되는색상적용된것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 10] 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 패킹 박스로부터 발생되는 공기이동분자오염의 물질이 산성 분자(molecular acids; mas), 염기성 분자(molecular bases; mbs), 응축된 분자(molecular condensables; mcs),불순물분자포함하는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 11] 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 패킹 박스의 재료는, 폴리스티렌(polystyrene), 아크릴로 니트릴 스티렌(acrylonitrile styrene; as), 아크릴로 니트릴 염소화폴리에틸렌 스티렌(acrylonitrile chlorinated polyethylene styrene; acs), 폴리프로필렌(polypropylene; pp), 올레핀(olefin), 폴리에틸렌(polyethylene; pe), 폴리카보네이트(polycarbonate; pc), 발포 폴리스티렌(expanded polystyrene; eps), 발포폴리프로필렌(expanded polypropylene; epp), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(polybutylene terephthalate; pbt), 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌(acrylonitrile butadiene styrene; abs), 염화비닐(polyvinyl chloride; pvc), 폴리염화비닐리덴(polyvinyldene chloride; pvdc), 아크릴(acrylic), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate; pet), 대전방지 폴리에틸렌 테레프탈레이트(antistatic polyethylene terephthalate; apet), 중에서 선택된 어느 1종 또는 2종 이상을 혼합한고분자합성수지인것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 12] 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 패킹 박스로부터 발생되는 공기이동분자오염 중에서 질소(n)가 포함된 오염물질 또는 방향족 탄화수소 화합물의 총량이단위부피당이하인것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 방향족 탄화수소 화합물은, 벤젠(benzene), 톨루엔(toluene), 스티렌(styrene), 에틸벤젠(ethylbenzene), o-크실렌(o-xylene), m-크실렌(m-xylene), p-크실렌(p-xylene), n-프로필벤젠(n-propylbenzene), 이소프로필벤젠(isopropylbenzene), 1,2,4-트리메틸벤젠(1,2,4-trimethylbenzene), 1,3,5-트리메틸벤젠(1,3,5-trimethylbenzene), o-에틸톨루엔(o-ethyltoluene), m에틸톨루엔(m-ethyltoluene), o-디에틸벤젠(o-diethylbenzene), m-디에틸벤젠(mdiethylbenzene), p-디에틸벤젠(p-diethylbenzene), n-부틸벤젠(n-butylbenzene), 디부틸 하이드록시톨루엔(butylated hydroxy toluene; bht)로 구성되는 군으로부터 선택된 어느1종또는2종이상혼합하는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 14] 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 패킹 박스로부터 발생되는 공기이동분자오염 중에서 유황화합물, 알코올류, 알데히드류, 케톤류, 지방산류, 에스테르류, 아민류, 지방족포화탄화수소류, 지방족불포화탄화수소류, 염소 및 염소화합물, 방향족 탄화수소류 중에서 선택된 어느 1종 또는 2종 이상을 혼합한 농도가단위부피당이하인것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 15] 제 1항 또는 제 9항에 있어서,상기 패킹 박스로부터 발생되는 공기이동분자오염 중 li+, na+, nh4+, k+, mg+, ca+, f-, cl-, no2-, br-, no3-, po42-, so42- 중에서 선택된 어느 1종 또는 2종 이상을 혼합한 물질의 농도가단위부피당이하인것을특징으로 하는마스크 패킹 박스. [청구항 16] 제 1항에 있어서,상기 패킹 박스에 적재되는 마스크가 블랭크 마스크인 경우, 상기 블랭크 마스크를 구성하는 레지스트막은 화학증폭형 레지스트, 포토레지스트,전자빔용레지스트로형성하는것을특징으로 하는마스크 패킹 박스.