기판 지지 부재, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치 document_id 1020070032962

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 유전체는,원호 형상의 원형유전체; 및상기 원형유전체의 원주로부터 상기 원형유전체의 내측을 향하여 연장되는복수의막대유전체들포함하는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 원형유전체의 일단에 제공된 제1 전극에는 상기 제1 전원이 인가되며, 상기 원형유전체의 타단에 제공된제2전극접지되는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 4] 제3항에 있어서,전체의 일단은 상기 원형유전체에 연결되며, 상기 막대유전체의 타단에는상기제1전원인가되는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 척킹전극은,원호 형상의 원형전극; 및상기 원형전극의 원주로부터 상기 원형전극의 내측을 향하여 연장되는복수의막대전극들포함하는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 원형전극은 상기 지지플레이트의 중심을 기준으로 상기 원형유전체와 대칭을 이루며,상기 막대전극들은 상기 막대유전체와교대배치되는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 제1 전원nan은상기원형전극의일단인가되는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 척킹전극은,원호 형상의 원형전극; 및상기 원형전극의 원주로부터 상기 원형전극의 내측을 향하여 연장되는복수의막대전극들포함하는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제1 전원nan은상기원형전극의일단인가되는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 제1 전원nan은고주파 전원인것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 제2 전원nan은직류전원인것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 지지부재는 상기 제1 전원 및 상기 제2 전원을 동시에 또는 선택적으로 공급하는제어기더포함하는것을특징으로 하는기판 지지부재. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 유전체는,원호 형상의 원형유전체; 및상기 원형유전체의 원주로부터 상기 원형유전체의 내측을 향하여 연장되는복수의막대유전체들포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 척킹전극은,원호 형상의 원형전극; 및상기 원형전극의 원주로부터 상기 원형전극의 내측을 향하여 연장되는복수의막대전극들포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 원형전극은 상기 지지플레이트의 중심을 기준으로 상기 원형유전체와 대칭을 이루며,상기 막대전극들은 상기 막대유전체와교대배치되는것을특징으로 하는기판처리장치.