문맥 (context)
[청구항 1]
실런트를 매개로 상부기판과 하부기판을 합착하기 위한 합착장치에 있어서,
챔버;
상기 챔버 내의 상측에 위치하며 상기 상부기판을 고정하는 하나 또는 다수개의 제1흡입부와 가압수단을 구비하는 배기부를 포함하는 상부척; 및
상기 챔버 내의 하측에 위치하며 상기 하부기판을 고정하는 하나 또는 다수개의 제2흡입부를 포함하는 하부척을 포함하고,
상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 합착장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1흡입부는 상기 상부기판을 진공 흡착하고, 상기 제2흡입부는상기하부기판을진공흡착하는것을특징으로 하는합착장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기제1 및 제2흡입부는홀또는슬릿형태인것을특징으로 하는합착장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 가압수단은원형인것을특징으로 하는합착장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 가압수단은 탄성재인것을특징으로 하는합착장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 상부척은 상기 상부기판을 흡착과 동시에상기가압수단가압하는것을특징으로 하는합착장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 상부척은 가압수단을 구비하는 배기부가하나다수개인것을특징으로 하는합착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
합착장치의 상부척에 포함된 배기부와 가압수단은 상부기판과 어떠한 위치 관계 및 동작 방식으로 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상부척의 배기부와 가압수단이 상부기판과 맺는 위치 관계 및 동작 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction배기부는 제1흡입부 바깥쪽에서 상부기판 가장자리 안쪽을 따라 형성되며, 가압수단은 배기부 내에 삽입되어 상부기판에 접촉한다.
- 상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것
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3근거 선택
evidence_selection배기부의 위치(제1흡입부 바깥쪽, 상부기판 가장자리 안쪽 대응)와 가압수단의 동작(배기부 내 삽입 및 상부기판 접촉)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것
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4논리 통합
logical_integration배기부는 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 배치되어 위치를 잡고, 가압수단은 배기부 내부에서 상부기판에 직접 접촉하여 압력을 가하는 구조임을 통합한다.
- 상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것
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5결론 도출
conclusion_formulation배기부는 상부기판 가장자리 안쪽을 따라 대응하는 위치에 있고, 가압수단은 배기부 내에 삽입되어 상부기판에 접촉하는 방식으로 결합된다.
- 상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 위치 관계와 동작 방식을 포함하여 최종 답변을 작성한다.
- 상기 배기부는 상기 제1 흡입부의 바깥쪽에서 상기 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 형성되고, 상기 가압수단은 상기 배기부 내에 삽입되어 상기 상부기판에 접촉하도록 형성되는 것
최종 답변 (final_answer)
배기부는 제1흡입부의 바깥쪽에서 상부기판의 가장자리 안쪽을 따라 대응하도록 위치하며, 가압수단은 배기부 내에 삽입되어 상부기판에 접촉하는 방식으로 결합된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부척의 배기부를 상부기판의 가장자리 안쪽에 배치하고, 그 내부의 가압수단이 기판에 직접 접촉하게 함으로써 기판의 고정 및 가압을 수행하는 구조를 나타낸다.