문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 가스공급관은 상기 상부인젝터와 사이드인젝터에 각각 연결되는제1공급관과제2공급관구성된것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 3]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 가스공급부는 에칭가스공급부와 보조가스공급부로 구성하되, 상기 보조가스공급부에는 보조가스가 독립적으로 제어될 수 있게유량조절기와개폐밸브구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 상부인젝터는 가스를 전방으로 분사시키는 내측노즐과 가스를 측방으로 분사시키는 외측노즐이 각각 형성되고 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 상기 사이드인젝터에 연결되는제4공급관구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 제1공급관과 제3공급관 및 제4공급관에는 가스의 통로를 개폐시킬 수 있는개폐밸브각각구비된것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 6]
제 4항 또는 제 5항에 있어서,상기 제1공급관에는 상기 개폐밸브와 유량분배기 사이에 분기점'b'를 설치하되, 상기 제3공급관에는 상기 개폐밸브와 상부인젝터 사이에 분기점'c'를 설치하여 상기 분기점'b'와 분기점'c'를 연결하는연결관구비된것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 연결관에는 가스의 통로를 개폐시키는개폐밸브구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 제1공급관에는 상기 개폐밸브와 상부인젝터 사이에 분기점'e'를 설치하고 상기 유량조절기와 분기점'e'를 연결하는 제5공급관을 구비하되, 상기 제5공급관에는 분기점'd'를 설치하고 상기 제3공급관의 분기점'c'와 상부인젝터 사이에 분기점'f'를 설치하여 상기 분기점'd'와 분기점'f'를 연결하는제6공급관구비된것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 제4공급관에는 개폐밸브와 사이드인젝터 사이에 분기점'g'를 설치하고, 상기 제5공급관에는 상기 분기점'd'와 상기 분기점'g'를 연결하는제7공급관더구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 제6공급관 및 상기 제5공급관의 분기점'd'와 분기점'e' 사이에는개폐밸브각각구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 제7공급관에는 가스의 통로를 개폐시킬 수 있는개폐밸브설치되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
[청구항 12]
제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제5공급관에는 상기 보조가스공급부의 유량조절기와 분기점'd'의 사이에 가스의 통로를 개폐시킬 수 있는개폐밸브더구비되는것을특징으로 하는에칭가스 제어시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
에칭가스 제어시스템에서 상부인젝터의 내측노즐과 외측노즐에 연결되는 공급관의 구성 및 각 공급관의 연결 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation에칭가스 제어시스템 내 상부인젝터의 내측노즐 및 외측노즐에 연결되는 공급관의 구성과 그 연결 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4를 통해 제1공급관은 내측노즐에 연결되고, 제2공급관은 분기점 'a'를 통해 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 사이드인젝터에 연결되는 제4공급관으로 구성됨을 추출한다.
- 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 상기 사이드인젝터에 연결되는제4공급관구비되는
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3근거 선택
evidence_selection상부인젝터의 노즐과 연결된 공급관의 명칭과 분기 구조가 명시된 청구항 4의 구절을 선택한다.
- 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 상기 사이드인젝터에 연결되는제4공급관구비되는
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4논리 통합
logical_integration제1공급관은 내측노즐에 직접 연결되고, 제2공급관은 분기점 'a'를 거쳐 제3공급관(외측노즐 연결)과 제4공급관(사이드인젝터 연결)으로 나뉘는 계층적 구조를 통합한다.
- 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 상기 사이드인젝터에 연결되는제4공급관구비되는
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5결론 도출
conclusion_formulation내측노즐은 제1공급관에, 외측노즐은 제2공급관에서 분기된 제3공급관에 연결된다는 결론을 도출한다.
- 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 구조화된 답변을 작성한다.
- 상기 제1공급관은 상기 내측노즐에 연결되며, 상기 제2공급관은 분기관이 설치된 분기점'a'를 설치하여 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관과 상기 사이드인젝터에 연결되는제4공급관구비되는
최종 답변 (final_answer)
상부인젝터의 내측노즐과 외측노즐에 연결되는 공급관의 구성 및 연결 관계는 다음과 같다.
1. 내측노즐 연결: 제1공급관이 상기 내측노즐에 직접 연결된다.
2. 외측노즐 연결: 제2공급관이 분기관이 설치된 분기점 'a'를 통해 상기 외측노즐에 연결되는 제3공급관으로 연결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부인젝터의 내측노즐과 외측노즐에 각각 제1공급관과 제3공급관을 통해 가스를 공급하며, 제2공급관이 분기점 'a'를 통해 외측노즐용 제3공급관과 사이드인젝터용 제4공급관으로 분기되는 구조를 가진다.