문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 트렌치의 측벽을 덮는 질화막을 더 구비하고, 상기 간극이상기질화막과상기도광부재사이형성되어있는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 도광부재의 굴절율이 1.4내지인것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 수광부가매트릭스형상배열되어있는것을특징으로 하는고체 촬상장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 배선이다층배선으로이루어진것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 배선 사이가층간 절연막절연되어있는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 7]
제2항에 있어서,상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 간극이,공기또는질소중것으로채워지는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 기판의 상기 수광부 근방에전송회로설치되는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 수광부와 상기 전송 회로 사이의 영역의 바로 위쪽 영역에게이트 전극설치되는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 11]
제2항에 있어서,상기 질화막 및 상기 도광부재 상에평탄화막설치되는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 평탄화 막 상에서의 상기 트렌치의 바로 위쪽 영역을 포함한 영역에,컬러필터설치되는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 컬러 필터 상에마이크로 렌즈설치되는것을특징으로 하는고체촬상장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 트렌치, 상기 도광부재, 상기 컬러 필터 및 상기 마이크로 렌즈가, 상방에서 봐서 중심축이 일치하도록있는것을특징으로 하는고체촬상장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
고체촬상장치에서 질화막의 선팽창계수와 탄성율은 유기재료와 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation고체촬상장치 내 질화막의 선팽창계수와 탄성율을 유기재료와 비교하여 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 유기재료의 선팽창계수와 탄성율에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질화막과 유기재료의 물리적 특성 비교가 명시된 청구항 7의 구절을 선택한다.
- 상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration유기재료가 질화막보다 선팽창계수는 크고 탄성율은 낮으므로, 역으로 질화막은 유기재료보다 선팽창계수가 작고 탄성율은 높다.
- 상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질화막은 유기재료에 비해 선팽창계수는 작고 탄성율은 높다는 결론을 도출한다.
- 상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는
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6답변 생성
answer_generation질문에서 요구하는 질화막 기준의 비교 관계를 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
- 상기 유기재료가, 상기 질화막보다 큰 선팽창계수를 갖고, 상기 질화막 보다도 낮은탄성율가지는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
질화막은 유기재료보다 선팽창계수가 작고, 탄성율은 높다.
핵심 해석 (core_interpretation)
고체촬상장치에서 질화막과 유기재료 간의 물리적 특성(선팽창계수 및 탄성율) 차이를 정의하여 재료 간의 관계를 규정하고 있다.