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테스트 핸들러, 그를 이용한 반도체 소자 제조방법, 및테스트트레이 이송방법 document_id 1020070053548

출원번호
1020070053548
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 테스트 핸들러는 상기 로딩위치 및 상기 언로딩위치 사이에 이동 가능하게 설치되고, 테스트 완료된 반도체 소자가 장착되는 적어도 하나의 언로딩버퍼를 더 포함하며;상기 언로딩버퍼는 테스트트레이의 이동시 그이동경로의외측이동하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 테스트 핸들러는 상기 로딩위치 및 상기 언로딩위치 사이에서 테스트트레이의 이동경로를 안내하는 가이드부를 더 포함하고;상기 가이드부는 고정가이드 및 이동가이드를 포함하여서, 테스트트레이의 이동시 상기 이동가이드가 이동하여테스트트레이의이동경로형성하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 픽커부는로딩스택커 및 상기 로딩위치 사이에서 이동하면서 로딩공정을 수행하는 적어도 하나의 로딩픽커; 및언로딩스택커 및 상기 언로딩위치 사이에서 이동하면서 언로딩공정을 수행하는적어도하나의언로딩픽커포함하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 테스트 핸들러는 상기 로딩위치 및 상기 언로딩위치 사이에 이동 가능하게 설치되고, 테스트 완료된 반도체 소자가 장착되는 적어도 하나의 언로딩버퍼를 더 포함하며;상기 언로딩픽커는 상기 언로딩위치 및 상기 언로딩버퍼 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는 적어도 하나의 제1언로딩픽커, 및 상기 언로딩버퍼 및 상기 언로딩스택커 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는적어도하나의제2언로딩픽커포함하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 테스트 핸들러는 상기 언로딩스택커가 비어있는 고객트레이를 로딩하는 동안 테스트 완료된 반도체 소자가 장착되는 대기버퍼를 더 포함하고;상기 제2언로딩픽커는 상기 대기버퍼를 경유하여반도체 소자이송하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 테스트 핸들러는 상기 로딩스택커 및 상기 로딩위치 사이에 설치되고, 테스트할 반도체 소자가 장착되는 로딩버퍼를 포함하며;상기 로딩픽커는 상기 로딩버퍼를 경유하여로딩공정수행하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 로딩부는 테스트트레이를 승하강시키고 로딩위치의 테스트트레이가 안착되는 로딩승강부, 및 상기 로딩승강부에 승하강 가능하게 결합되고 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 로딩개방유닛을 포함하며;상기 언로딩부는 테스트트레이를 승하강시키고 언로딩위치의 테스트트레이가 안착되는 언로딩승강부, 및 상기 언로딩승강부에 승하강 가능하게 결합되고 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는언로딩개방유닛포함하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 챔버부는상기 교환부로부터 테스트트레이를 공급받고, 테스트트레이를 이송하면서 테스트할 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 제1챔버;테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시켜 테스트하는 테스트챔버; 및테스트트레이를 이송하면서 테스트 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키고, 상기 교환부로 테스트트레이를 공급하는제2챔버포함하는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제1챔버, 상기 테스트챔버, 및 상기 제2챔버는 상하로 적층 배열되면서설치되는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 로딩위치및 상기 언로딩위치는 동일 수평선상에 배치되고;상기 반출위치, 상기 교환부, 및 상기 반입위치는동일수평선상배치되는것을특징으로 하는테스트 핸들러. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 로딩위치는 상기 반출위치의 상측에 배치되고;상기 언로딩위치는상기반입위치의상측배치되는것을특징으로 하는테스트 핸들러.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
테스트 핸들러의 픽커부 구성 중, 언로딩픽커가 반도체 소자를 이송하는 구체적인 경로와 각 제1언로딩픽커 및 제2언로딩픽커의 이동 구간은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    언로딩픽커의 구성 요소인 제1언로딩픽커와 제2언로딩픽커의 구체적인 이동 구간 및 반도체 소자의 이송 경로를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5를 통해 제1언로딩픽커와 제2언로딩픽커의 이동 구간 정보를 추출한다.

    • 상기 언로딩픽커는 상기 언로딩위치 및 상기 언로딩버퍼 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는 적어도 하나의 제1언로딩픽커, 및 상기 언로딩버퍼 및 상기 언로딩스택커 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는적어도하나의제2언로딩픽커포함
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제1언로딩픽커의 구간(언로딩위치-언로딩버퍼)과 제2언로딩픽커의 구간(언로딩버퍼-언로딩스택커)에 관한 구절을 선택한다.

    • 상기 언로딩위치 및 상기 언로딩버퍼 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는 적어도 하나의 제1언로딩픽커, 및 상기 언로딩버퍼 및 상기 언로딩스택커 사이에서 이동하면서 반도체 소자를 이송하는적어도하나의제2언로딩픽커
  4. 4논리 통합logical_integration

    제1언로딩픽커가 언로딩위치에서 언로딩버퍼로 소자를 옮기면, 제2언로딩픽커가 언로딩버퍼에서 언로딩스택커로 소자를 옮기는 연속적인 경로를 구성한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    언로딩픽커는 제1언로딩픽커와 제2언로딩픽커로 구성되며, 소자는 언로딩위치 -> 언로딩버퍼 -> 언로딩스택커 순으로 이송된다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 명시된 이동 구간을 구조화된 형식으로 정리하여 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
- 언로딩픽커의 이송 경로: 언로딩위치 → 언로딩버퍼 → 언로딩스택커 - 제1언로딩픽커의 이동 구간: 언로딩위치 및 언로딩버퍼 사이 - 제2언로딩픽커의 이동 구간: 언로딩버퍼 및 언로딩스택커 사이
핵심 해석 (core_interpretation)
테스트 완료된 반도체 소자를 언로딩위치에서 언로딩스택커까지 효율적으로 이송하기 위해, 언로딩버퍼를 매개로 제1언로딩픽커와 제2언로딩픽커가 역할을 분담하여 이동 구간을 구성하는 기술이다.