인코히런트 방사선을 생성하는 반사 루프 시스템 document_id 1020070055158

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템nan은제2반사디바이스포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 3] 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 2 항에 있어서,상기 제2 반사 디바이스는만곡되어있는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 4] 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 반사 디바이스들 중 1 이상은 제 1 및 제 2 부분을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 부분들 중 1 이상은 상기 제 1 및 제 2 반사 디바이스들의 각각의 반사면들에 대해 오정렬되는(misaligned) 것특징으로 하는시스템 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템nan은제2내지제4반사디바이스들더포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 6] 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 5 항에 있어서,상기 제2 내지 제4 반사 디바이스들각각은평면형반사디바이스인것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은 비-오버래핑 루프들이 형성되도록 서로에 대해 경사지는 각각의 반사면들을 갖는반사디바이스들포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 8] 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔은 제 1 광학 디바이스를 사용하여 상기 반사 루프 시스템 내로 인-커플링되고(in-coupled), 상기 인코히런트 빔은 제 2 광학 디바이스를 사용하여 상기 반사 루프 시스템으로부터 아웃-커플링되는(out-coupled) 것특징으로 하는시스템 장치. [청구항 9] 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템nan은필드 평면및퓨필평면포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 10] 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템nan은2개의필드 평면및2개의퓨필평면포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔, 또는 상기 인코히런트 빔은상기반사루프 시스템의핀홀통과하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은:상기 반사 루프 시스템의 필드와 연관된 제 2 반사 디바이스; 및상기 반사 루프 시스템의 퓨필과 연관된 제 3 반사 디바이스를 더 포함하고,상기 필드 또는 상기 퓨필의 위치는 상기 제 2 및 제 3 반사 디바이스들 각각의 반사면들 간의 오정렬에 기초하여변화되는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 13] 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은, 각각의 루프 후에 상기 인코히런트 빔의 제 1 부분은 상기 반사 루프 시스템으로부터 전달되고, 상기 인코히런트 빔의 나머지 부분은 상기 루프들 중 다른 하나의 루프를 따라지향되는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 14] 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기인코히런트 빔은 상기 반사 루프 시스템의 퓨필 또는 필드 중 하나를 통해 전달되고;상기 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔은 상기 반사 루프 시스템의 퓨필 또는 필드 중 다른하나수용되는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기인코히런트 빔을 패터닝하는 패터닝 디바이스; 및상기 인코히런트 빔을 기판의 타겟부 상으로 투영하는투영시스템더포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 16] 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 15 항에 있어서,상기인코히런트 빔을 처리하고 상기 인코히런트 빔을 상기 패터닝 디바이스 상으로 지향시키는조명시스템더포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 17] 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 16 항에 있어서,상기 조명시스템nan은상기방사선 소스및상기반사루프시스템포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 루프의 경로 길이는 상기 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔의 임시 코히런스 길이보다 긴 것특징으로 하는시스템 장치. [청구항 19] 제 1 항에 있어서,상류 반사 루프 시스템으로부터 각각의 인코히런트 빔을 수용하고 상기 인코히런트 빔을 루프를 통해 반사하여 또 다른 인코히런트 빔을 형성하도록 구성되는 1 이상의 추가적인반사루프시스템더포함하는것을특징으로 하는시스템 장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔을 수용하고, 루프 내의 상기 코히런트 또는 부분적으로 코히런트한 빔을 반사하여 인코히런트 빔을 형성하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 시스템. [청구항 22] 청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 21 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은, 각각의 루프 후에 상기 인코히런트 빔의 제 1 부분이 상기 반사 루프 시스템으로부터 전달되고 상기 인코히런트 빔의 나머지 부분은 상기 루프들 중 또 다른 하나의 루프를 따라 지향되도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 시스템. [청구항 23] 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 21 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은, 비-오버래핑 루프들의 경로들(non-overlapping loops paths)이 형성되도록 상기 반사 디바이스 및 서로에 대해 경사지는 각각의 반사면들을 갖는 1 이상의 추가적인반사디바이스포함하는것을특징으로 하는리소그래피 시스템. [청구항 28] 청구항 28은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 27 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은, 각각의 루프 후에 상기 인코히런트 빔의 제 1 부분은 상기 반사 루프 시스템으로부터 전달되고 상기 인코히런트 빔의 나머지 부분은 상기 루프들 중 또 다른 하나의 루프를 따라 지향되도록구성되는것을특징으로 하는레이저 장치. [청구항 29] 청구항 29은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 27 항에 있어서,비-오버래핑 루프들의 경로들이 형성되도록, 상기 반사 루프 시스템은 상기 반사 디바이스 및 서로에 대해 경사지는 각각의 반사면들을 갖는 1 이상의 추가적인반사디바이스들포함하는것을특징으로 하는레이저 장치. [청구항 31] 청구항 31은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 30 항에 있어서,상기 반사 루프 시스템은, 각각의 루프 후에 상기 인코히런트 빔의 제 1 부분은 상기 반사 루프 시스템으로부터 전달되고 상기 인코히런트 빔의 나머지 부분은 상기 루프들 중 또 다른 하나의 루프를 따라 지향되도록구성되는것을특징으로 하는일루미네이터. [청구항 32] 청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 30 항에 있어서,비-오버래핑 루프들의 경로들이 형성되도록, 상기 반사 루프 시스템은 상기 반사 디바이스 및 서로에 대해 경사지는 각각의 반사면들을 갖는 1 이상의 추가적인반사디바이스들포함하는것을특징으로 하는일루미네이터.