기판 처리 장치 document_id 1020070059216

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 보조 이송 블록 내에는 수직 방향으로 연장하는 수직 가이드 레일과, 상기 수직 가이드 레일에 수직 방향으로 이동 가능하도록 결합되며 상기 기판들을 이송하기 위하여 회전 가능하도록 그리고 신장 및 신축 가능하도록 구성된로봇암배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 제2 처리 블록은 상기 제1 처리 블록과 마주하도록 수평 방향으로 배치된 제1, 제2 및 제3 단위 블록들을 포함하고,상기 제1 및 제3 단위 블록들 각각은 복층으로 적층되며 기판들을 가열하기 위한 다수의 가열 유닛들을 포함하며, 상기 제2 단위 블록은 상기 제1 및 제3 단위 블록들 사이에서 복층으로 적층되며 기판들을 열처리하기 위한다수의열처리유닛들포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 보조 이송 블록은 상기 제1 단위 블록과 상기 제3 처리 블록 사이에서기판들이송하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,각각의 열처리 유닛들은,기판을 가열하기 위한 가열 플레이트;상기 제1, 제2 및 제3 단위 블록들의 배치 방향과 동일한 방향으로 상기 가열 플레이트의 일측에 배치되며 기판을 냉각시키기 위한 냉각 플레이트; 및상기 가열 플레이트와 상기 냉각 플레이트를 수용하며, 상기 기판들을 반입 및 반출하기 위한 한 쌍의 출입구들을 갖는열처리챔버포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 각각의 열처리 유닛들은,상기 열처리 챔버 내에 배치되어 상기 가열 플레이트와 상기 냉각 플레이트 사이에서 상기 기판들을 이송하기 위한 챔버 내측 로봇; 및상기 가열 플레이트 및 냉각 플레이트를 통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 배치되며 상기 기판들을 상기 가열 플레이트 및 냉각 플레이트 상으로 로딩하고 상기 가열 플레이트 및 냉각 플레이트로부터 언로딩하기 위한다수의리프트 핀들더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 챔버 내측 로봇은,상기 가열 플레이트와 냉각 플레이트가 배열된 방향과 평행하게 연장하는 가이드 레일; 및상기 가이드 레일에 대하여 수직 방향으로 연장하며 상기 가이드 레일에 이동 가능하도록 결합된로봇암포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 제1 처리 블록은,수직 방향으로 적층되며, 기판 상에 막을 형성하기 위한 적어도 하나의 코팅 유닛과 기판 상의 포토레지스트막을 현상하기 위한 적어도 하나의 현상 유닛을 각각 포함하는 상부 단위 블록 및 하부 단위 블록; 및상기 상부 및 하부 단위 블록들 사이에 분리 가능하도록 배치되며, 코팅 유닛과 현상 유닛 중 적어도 하나를 포함하는중앙단위블록포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 상부 단위 블록은 기판 상에 바텀 반사 방지막을 형성하기 위한 제1 코팅 유닛과 기판 상에 포토레지스트막을 형성하기 위한제2코팅유닛포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 상부 단위 블록은 기판 상에 포토레지스트막을 형성하기 위한다수의코팅유닛들포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,이송 블록 내에는 상기 상부 단위 블록, 상기 중앙 단위 블록, 상기 제2 처리 블록 및 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한 상부 메인 로봇과, 상기 하부 단위 블록, 상기 중앙 단위 블록, 상기 제2 처리 블록 및 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한 하부 메인로봇배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,각각의 상부 및 하부메인 로봇들은,수직 방향으로 연장하는 한 쌍의 수직 가이드 레일들;상기 수직 가이드 레일들에 수직 방향으로 이동 가능하도록 결합된 수평 가이드 레일; 및상기 수평 가이들 레일에 수평 방향으로 이동 가능하도록 결합되며, 상기 기판들을 이송하기 위하여 회전 가능하도록 그리고 신장 및 신축 가능하도록 구성된로봇암포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 상부메인 로봇의 수직 가이드 레일들 및 상기 하부 메인 로봇의 수직 가이드 레일들은 상기 제1 처리 블록 및 제2 처리 블록에 각각 인접하도록배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 상부메인 로봇의 로봇 암은 아래를 향하여 배치되며, 상기 하부 메인 로봇의 로봇 암은위배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 상부 및 하부메인 로봇들의 수직 가이드 레일들은 상기 제1 또는 제2 처리 블록에 인접하여배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 중앙 단위 블록과 인접한 상기 메인 이송 블록의 중앙 공간 내에서 상기 상부 및 하부 메인 로봇들이 서로 간섭되지 않도록 상기 상부 및 하부 메인 로봇들의 동작들을 제어하는로봇 제어부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 17] 제8항에 있어서,이송 블록 내에는 상기 상부 단위 블록, 상기 중앙 단위 블록, 상기 제2 처리 블록 및 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한 상부 메인 로봇과, 상기 하부 단위 블록, 상기 중앙 단위 블록, 상기 제2 처리 블록 및 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한 하부 메인 로봇이 배치되며,상기 보조 이송 블록 내에는 상기 제2 처리 블록과 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한보조이송로봇배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 상부 및 하부메인 로봇들과 상기 보조 이송 로봇이 상호 보완적으로 동작하도록 상기 상부 및 하부 메인 로봇들과 상기 보조 이송 로봇의 동작들을 제어하는로봇 제어부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 19] 제8항에 있어서,상기 제3 처리 블록은 수직 방향으로 적층되며 기판들을 냉각시키기 위한다수의냉각유닛들포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 제3 처리 블록은 상기 중앙 단위 블록과 수평 방향으로 인접하도록 상기 냉각 유닛들 사이에 배치되며 기판들을 수납하기 위한이송스테이지더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 21] 제1항에 있어서,이송 블록을 중심으로 상기 제3 처리 블록과 마주하여 배치되며 기판들의 온도를 조절하기 위한 제4 처리 블록; 및상기 제2 처리 블록과 상기 제4 처리 블록에 인접하도록 배치되어 상기 제2 처리 블록과 상기 제4 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한제2보조이송블록더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,제3 처리 블록과 연결되며, 다수의 기판들이 수납된 용기와 상기 제3 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한 기판 이송 모듈; 및상기 제4 처리 블록과 연결되며, 노광 장치와 상기 제4 처리 블록 사이에서 기판들을 이송하기 위한인터페이싱 모듈더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.