반도체 패키지 제조용 기판 인입출장치 document_id 1020070071718

[청구항 1] 반도체 제조용 기판이 적재된 매거진을 z축방향의 임의의 위치로 승강시키는 엘리베이터와 상기 엘리베이터의 일측에 y축 방향으로 전후진 가능하게 설치되어, 매거진 내측의 기판을 외측으로 반출하거나, 매거진 내측으로 기판을 인입시키는 인입출판과 x축 방향으로 수평 이동 가능하게 설치되어, 상기 인입출판을 통해 반출된 기판을 x축 방향으로 밀거나, 외부의 기판을 인입출판 상측으로 수평하게 슬라이딩시켜 이동시키는 x축반송유닛과 상기 x축반송유닛에 의해 인입출판 상의 기판이 외측으로 이동하거나, 외부의 기판이 인입출판 내측으로 할 때, 상기 기판의 변부를 가이드하는 가이드유닛을 포함하여 구성된 반도체 패키지 제조용 기판 인입출장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 가이드유닛은, 상기 인입출판에 x축방향으로 연장되게 형성되어 상기 x축반송유닛에 의한 기판의 이동시 기판의 일측 변부의 이동을 가이드하는 고정형 가이드레일과;상기 인입출판과 엘리베이터 사이에 수평축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어, 인입출판이 매거진에서 기판을 반출하여 나오거나 외부에서 인입출판 상으로 기판이 반송될 때 회전하여 상기 기판의 다른 일측 변부를 x축방향으로 이동 가능하게 지지하게 되는 회전형 가이드레일로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 인입출판의 상면에 설치되어 인입출판에 기판이 안착되었을 때 기판을 진공흡착하여 고정하는 진공패드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 고정형 가이드레일에 기판의 일측 변부와 접촉하여 구름운동하는 로울러가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 회전형 가이드레일에 기판의 다른 일측 변부와 접촉하여 구름운동하는 로울러가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 인입출판의 상면에 기판의 저면부의 이동을 돕기 위한 복수개의 로울러가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,축반송유닛은 기판의 일측변부를 밀어서 x축으로 방향으로 이동시키는 푸셔인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 인입출판의 이동 경로 상측에 설치되어, 인입출판에 의해 매거진으로부터 반출되는 기판에 공기를 분사함과 동시에 흡입하여 기판에 묻은 이물질을 분리하여 강제 흡입하는 더스트클리너를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용기판 인입출장치.