대기압 플라즈마 장치, 이를 구비한 카메라 모듈의적외선필터 인라인 조립 장치, 이를 이용한 세정 방법 및이를 이용한 휴대폰 카메라 모듈의 적외선필터인라인 조립방법 document_id 1020070072731

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 대기압 플라즈마 장치:는상기 내부 케이스를 고정하는 프레임;상기 프레임을 지지하며 중앙 부분이 빈 베이스;상기 베이스의 빈 중앙 부분에 구비되며 제2전극과 일정 간격으로 이격되어 처리 대상물을 이송하는 이송 장치; 및상기 내부 케이스를 덮으며 입구 부분과 출구 부분을 구비한외부케이스더포함하는것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 외부 케이스는 그 내부의 가스 및 이물질을 인출하는 석션과 연결된배기구구비하고있는것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도전막은 금으로 이루어져있는것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 라인의 일부는 상기 유전체와 인접한 제1전극의 표면 또는 상기 유전체의 표면으로부터 10cm이내의위치구비되어있는것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 가스는 질소와 공기가 혼합된혼합가스인것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분사 노즐의 출구를 최소 4 등분하는메쉬크기인것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,쉬의 재질은 스텐레스스틸 316또는스텐레스스틸인것을특징으로 하는대기압 플라즈마 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 대기압 플라즈마 장치:는상기 내부 케이스를 고정하는 프레임;상기 프레임을 지지하며 중앙 부분이 빈 베이스;상기 베이스의 빈 중앙 부분에 구비되며 제2전극과 일정 간격으로 이격되어 처리 대상물을 이송하는 이송 장치; 및상기 내부 케이스를 덮으며 입구 부분과 출구 부분을 구비한 외부 케이스;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 외부 케이스는 그 내부의 가스 및 이물질을 인출하는 석션과 연결된 배기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 20] 제 17 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도전막은 금으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 21] 제 17 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 라인의 일부는 상기 유전체와 인접한 제1전극의 표면 또는 상기 유전체의 표면으로부터 10cm 이내의 위치에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 22] 제 17 항 내지 제 19 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 가스는 질소와 공기가 혼합된 혼합 가스인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 23] 제 17 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분사 노즐의 출구를 최소 4 등분하는 메쉬 크기인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,쉬의 재질은 스텐레스스틸 316 또는 스텐레스스틸 316l인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치구비한카메라 모듈의 적외선 필터 인라인 조립 장치.