기판처리장치 및 기판도금장치 document_id 1020070072802

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 가압포올이 설치된 지지 암 이외의 지지 암에는 기판의 둘레 가장자리부를 끼워 유지하도록 회동하는고정포올설치되어있는것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 가압포올 및 고정포올은 이들을 폐쇄하는 방향으로 가세하는 가세부와, 상기 가세부의 가세력에 저항하여 상기 각 포올을 개방하는 방향으로 회동시키는 상하이동 자유로운 개방핀을 가지고, 이들 개방핀을 개방 부재의 상하이동에 따라 상하이동하도록 구성되고, 상기 개방핀과 상기 개방 부재와의 사이에 동작의 타이밍을 조정하는조정기구구비되어있는것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 조정기구는 상기 개방핀의 하단부에 위치조정 자유롭게 설치되는 큰 지름 부재와, 상기 개방 부재의 상기 개방핀에 대향하는 위치에 설치되는 상기 개방핀의 외경보다 크고, 큰 지름 부재의 외경보다 작은내경오목부로이루어지는것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 시일재의 하면에는 프레임체를 거쳐 안쪽을 향하여 돌출하는 다수의 돌기편을 가지는 복수로 분할된 캐소드전극을 설치되고, 이 캐소드전극의 각 돌기편은 상기 시일재의 아래쪽 수직하강부의 바깥쪽에 위치하고, 상기 아래쪽 수직하강부를 따라 아래쪽으로 대략 직각으로 굴곡하여 연장되어하단둥그스름한것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 스토퍼는 상기 기판유지부의 주위를 둘러싸는 위치에 세워 설치한 스토퍼 봉에 고정된 너트에 나사 결합하는 볼트를 가지고, 이볼트의머리부상면스토퍼면으로한것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 도금액 트레이 내에더미캐소드를착탈자유설치한것을특징으로 하는기판도금장치. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 및 상기 제 2 단의 기판처리는모두도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 또는 상기 제 2 단의 도금처리의 한쪽은 전해도금처리이고, 다른 쪽은 무전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 18] 제 16항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 및 제 2 단의 도금처리는 도금액이 다른 전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 및 상기 제 2 단의 기판처리는모두도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 21] 제 20항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 또는 상기 제 2 단의 도금처리의 한쪽은 전해도금처리이고, 다른 쪽은 무전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 22] 제 20항에 있어서,상기 제 1 단의 기판처리 및 상기 제 2 단의 도금처리는 도금액이 다른 전해도금처리인것을특징으로 하는기판처리장치.