문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 마스크리스 노광부는,패턴을 갖는 광을 출사하는 공간 광 변조기;상기 공간 광 변조기에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 확장된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈; 및상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 대상물로 투과시키는 프로젝션 렌즈포함하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 멀티 어레이 렌즈의 일측에 구비되어 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축 방향이동시키는마스크리스 노광 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 스테이지 레벨링 모터를 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(micro) 구동시킴으로써 포커스 거리유지하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 제어부는 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있는지 여부를 판단하여, 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 이동시켜 포커스조정하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 6]
제2항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는 상기 프로젝션 렌즈와 대상물간의 작업 거리를 측정하는 자동 포커스센서인마스크리스 노광 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 스테이지 레벨링 모터는 상기 스테이지에 세 개구비되는마스크리스 노광 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 복수 개의 마스크리스 노광부는,패턴을 갖는 광을 출사하는 공간 광 변조기;상기 공간 광 변조기에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 확장된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈; 및상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 대상물로 투과시키는 프로젝션 렌즈각각 포함하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 멀티 어레이 렌즈의 일측에 구비되어 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축 방향이동시키는마스크리스 노광 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 스테이지 레벨링 모터를 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(micro) 구동시킴으로써 포커스 거리유지하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 제어부는 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있는지 여부를 판단하여, 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 이동시켜 포커스조정하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 스테이지 레벨링 모터는 상기 스테이지에 세 개구비되는마스크리스 노광 장치.
[청구항 14]
제9항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는,상기 복수 개의 마스크리스 노광부들 각각이 스캔한 스테이지의 궤적을 복수 개의 위치들로 세분화하고, 이 세분화된 복수 개의 위치들 각각에서 포커스 거리를 측정하는위치매핑센서인것을특징으로 하는마스크리스 노광 장치.
[청구항 15]
제9항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는,상기 복수 개의 마스크리스 노광부들과 대상물간의 작업 거리를 측정하기 위하여, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부들의 전방에 위치되어 있는 전방 자동 포커스(auto focus) 센서; 및상기 복수 개의 마스크리스 노광부들과 대상물간의 작업 거리를 측정하기 위하여, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부들의 후방에 위치되어 있는 후방 자동 포커스 센서구성된마스크리스 노광 장치.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 전방 자동 포커스 센서들은 적어도 3개이상인것을특징으로 하는마스크리스 노광 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마스크리스 노광 장치에서 제어부가 포커스 거리를 유지하기 위해 스테이지 레벨링 모터와 액츄에이터를 각각 어떠한 방식으로 구동시키는지 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation마스크리스 노광 장치의 제어부가 포커스 거리 유지를 위해 스테이지 레벨링 모터와 액츄에이터를 각각 어떤 방식으로 구동하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4(및 11)에서 제어부의 구동 방식에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제어부는 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(micro) 구동시킴으로써 포커스 거리유지하는
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3근거 선택
evidence_selection스테이지 레벨링 모터는 '매크로 구동'하고, 액츄에이터는 '마이크로 구동'한다는 핵심 구절을 선택한다.
- 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(micro) 구동시킴
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4논리 통합
logical_integration제어부는 포커스 거리를 유지하기 위해 두 구성 요소를 서로 다른 정밀도(매크로 및 마이크로)로 구동하여 제어함을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation스테이지 레벨링 모터는 매크로 구동 방식으로, 액츄에이터는 마이크로 구동 방식으로 각각 구동한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
마스크리스 노광 장치의 제어부는 포커스 거리를 유지하기 위해, 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터는 매크로(macro) 구동시키고, 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터는 마이크로(micro) 구동시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
포커스 거리 유지를 위해 스테이지의 큰 움직임은 레벨링 모터로 매크로 제어하고, 렌즈의 미세한 높이 조절은 액츄에이터를 통해 마이크로 제어하는 이중 구동 메커니즘을 특징으로 한다.