플라즈마 반응기의 실시간 제어를 실현하는 종말점 검출장치 및 이를 포함하는 플라즈마 반응기 및 그 종말점 검출방법 document_id 1020070073864

[청구항 2] 제1항에 있어서,평균 편차값이 평균값에 의해 결정되는 안정 범위 내에 포함되는지의 여부에 따라, 현재의 식각 또는 증착 처리된 공정 웨이퍼가 정상인지의 여부를 판단하여, 표시부가 상기 공정 웨이퍼의 정상 여부를 시각적으로 표시하도록 제어하는 이상 진단부를 더 포함하고,상기 oes 데이터 연산부는, 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들을 정규화 및 pca 처리하여, 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들과 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 더 출력하고, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 파장의 제2 광들의 세기에 대한 우선 순위를 나타내는 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 더 출력하고,상기 데이터 선택부는, 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 중 적어도 한 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들을 선택하고,상기 프로덕트 생성부는, 상기 선택된 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들과 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들에 기초하여, 공정 프로덕트 값을 더 출력하고,상기 svm은 상기 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정이 실행될 때마다, 상기 프로덕트 생성부로부터 수신되는 상기 공정 프로덕트 값들을 각각 누적하고, 누적된 공정 프로덕트 값들에 대한 상기 평균값과 상기 평균 편차값을 더 계산하여 출력하고,상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들은 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들에 의해 표시되는 1차원 함수 값들각각 대응하는종말점 검출 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 데이터 선택부는, 상기 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정의 횟수가 설정된 횟수에 도달할 때, 업데이트 요청 신호를 출력하고, 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들 중 적어도 한 그룹의 공정 oes 데이터들과, 상기 선택된 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 중 적어도 하나를 추가로 선택하고,상기 svm은 상기 업데이트 요청 신호에 응답하여, 현재의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시 상기 프로덕트 생성부에 의해 생성된 상기 공정 프로덕트 값과, 상기 선택된 그룹의 공정 oes 데이터들에 기초하여 회귀분석하여, 비선형 공정 로딩 벡터들을 생성하고, 상기 추가로 선택된 선형 공정 로딩 벡터(들)과 상기 비선형 공정 로딩 벡터들을, 차기의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시부터, 차기의 회귀분석 동작을 실행하기 이전의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시까지의, 예측 프로덕트 값들을 생성하기 위해 사용하고,상기 비선형 기준 로딩 벡터들은, 상기 선택된 그룹의 공정 oes 데이터들에 의해 표시되는 s(s는 1보다 큰 정수)차원 함수 값들각각 대응하는종말점 검출 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 제1 내지 제n 그룹의 기준 oes 데이터들을 정규화 처리하여 기준 평균 스케일링 데이터들을 출력하거나, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들을 정규화 처리하여 공정 평균 스케일링 데이터들을 출력하는 정규화 처리부;상기 기준 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 기준 주요 인자들의 비율 값들을 출력하거나, 또는 상기 공정 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 출력하는 pca 처리부; 및상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들을 출력하거나, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 출력하는 랭킹 결정부포함하는종말점 검출 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 pca 처리부로부터 수신되는, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 기준 주요 인자들의 비율 값들, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 저장하고, 상기 랭킹 결정부로부터 수신되는, 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들 또는 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 저장하는 저장부더 포함하는종말점 검출 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 안정 범위의 상위 한계값은 상기 평균값과 오차값의 합에 의해 결정되고, 상기 안정 범위의 하위 한계값은 상기 평균값과 오차값의 차에 의해 결정되며, 상기 오차값은 상기 이상 진단부미리 설정되는종말점 검출 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,평균 편차값이 평균값에 의해 결정되는 안정 범위 내에 포함되는지의 여부에 따라, 현재의 식각 또는 증착 처리된 공정 웨이퍼가 정상인지의 여부를 판단하여, 표시부가 상기 공정 웨이퍼의 정상 여부를 시각적으로 표시하도록 제어하는 이상 진단부를 더 포함하고,상기 oes 데이터 연산부는, 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들을 정규화 및 pca 처리하여, 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들과 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 더 출력하고, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 파장의 제2 광들의 세기에 대한 우선 순위를 나타내는 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 더 출력하고,상기 데이터 선택부는, 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 중 적어도 한 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들을 선택하고,상기 프로덕트 생성부는, 상기 선택된 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들과 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들에 기초하여, 공정 프로덕트 값을 더 출력하고,상기 svm은 상기 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정이 실행될 때마다, 상기 프로덕트 생성부로부터 수신되는 상기 공정 프로덕트 값들을 각각 누적하고, 누적된 공정 프로덕트 값들에 대한 상기 평균값과 상기 평균 편차값을 더 계산하여 출력하고,상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들은 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들에 의해 표시되는 1차원 함수 값들각각 대응하는플라즈마 반응기. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 데이터 선택부는, 상기 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정의 횟수가 설정된 횟수에 도달할 때, 업데이트 요청 신호를 출력하고, 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들 중 적어도 한 그룹의 공정 oes 데이터들과, 상기 선택된 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 중 적어도 하나를 추가로 선택하고,상기 svm은 상기 업데이트 요청 신호에 응답하여, 현재의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시 상기 프로덕트 생성부에 의해 생성된 상기 공정 프로덕트 값과, 상기 선택된 그룹의 공정 oes 데이터들에 기초하여 회귀분석하여, 비선형 공정 로딩 벡터들을 생성하고, 상기 추가로 선택된 선형 공정 로딩 벡터(들)과 상기 비선형 공정 로딩 벡터들을, 차기의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시부터, 차기의 회귀분석 동작을 실행하기 이전의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시까지의, 예측 프로덕트 값들을 생성하기 위해 사용하고,상기 비선형 기준 로딩 벡터들은, 상기 선택된 그룹의 공정 oes 데이터들에 의해 표시되는 s(s는 1보다 큰 정수)차원 함수 값들각각 대응하는플라즈마 반응기. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 제1 내지 제n 그룹의 기준 oes 데이터들을 정규화 처리하여 기준 평균 스케일링 데이터들을 출력하거나, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들을 정규화 처리하여 공정 평균 스케일링 데이터들을 출력하는 정규화 처리부;상기 기준 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 기준 주요 인자들의 비율 값들을 출력하거나, 또는 상기 공정 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 출력하는 pca 처리부; 및상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들을 출력하거나, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 출력하는 랭킹 결정부포함하는플라즈마 반응기. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 pca 처리부로부터 수신되는, 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 기준 주요 인자들의 비율 값들, 또는 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 공정 로딩 벡터들 및 상기 제1 내지 제n 공정 주요 인자들의 비율 값들을 저장하고, 상기 랭킹 결정부로부터 수신되는, 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들 또는 상기 제1 내지 제n 공정 랭킹 값들을 저장하는 저장부더 포함하는플라즈마 반응기. [청구항 12] 제7항에 있어서,복수의 키들을 포함하고, 복수의 키들의 입력에 따라 선택 신호를 출력하는 입력부를 더 포함하고,상기 데이터 선택부는 상기 선택 신호에 응답하여, 비율 값과 랭킹 값을 설정하고, 상기 설정된 비율 값과 상기 제1 내지 제n 기준 주요 인자들의 비율 값들에 기초하여 상기 제1 내지 제n 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들 중 적어도 한 그룹의 선형 기준 로딩 벡터들을 제1 선택하고, 상기 설정된 랭킹 값과 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들에 기초하여, 상기 제1 내지 제n 그룹의 기준 oes 데이터들 중 적어도 한 그룹의 기준 oes 데이터들을 선택하거나, 또는 제1 내지 제n 그룹의 공정 oes 데이터들 중 적어도 한 그룹의 공정 oes 데이터들을 선택하고, 상기 설정된 랭킹 값과 상기 제1 내지 제n 기준 랭킹 값들에 기초하여, 상기 제1 선택된 선형 기준 로딩 벡터들 중 적어도 하나제2 선택하는플라즈마 반응기. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 데이터 선택부는, 상기 데이터 선택 신호를 추가로 수신할 때마다, 상기 데이터 선택 범위를 변경 설정하고, 상기 연산 제어 신호를 출력하고,상기 oes 데이터 연산부는, 상기 연산 제어 신호에 응답하여, 현재의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시, 상기 데이터 선택부에 의해, 상기 변경된 데이터 선택 범위에 기초하여 선택된 공정 oes 데이터들을 정규화 및 pca 처리하여, 선형 공정 로딩 벡터들을 출력하고,상기 프로덕트 생성부는, 상기 선형 공정 로딩 벡터들을, 차기의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시부터, 상기 oes 데이터 연산부가 차기의 정규화 및 pca 처리 동작을 실행하기 이전의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시까지의, 예측 프로덕트 값들을 생성하기위해사용하는종말점 검출 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 연산 제어 신호에 응답하여, 상기 기준 oes 데이터들을 정규화 처리하여 기준 평균 스케일링 데이터들을 출력하거나, 또는 상기 공정 oes 데이터들을 정규화 처리하여 공정 평균 스케일링 데이터들을 출력하는 정규화 처리부; 및상기 기준 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 선형 기준 로딩 벡터들을 출력하거나, 또는 상기 공정 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 선형 공정 로딩 벡터들을 출력하는 pca 처리부포함하는종말점 검출 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 연산 제어 신호에 응답하여, 상기 pca 처리부로부터 수신되는 상기 선형 기준 로딩 벡터들, 또는 상기 선형 공정 로딩 벡터들을 저장하는 저장부더 포함하는종말점 검출 장치. [청구항 17] 제14항에 있어서,상기 데이터 선택 범위는, 적어도 하나의 설정된 파장 대역의 범위, 적어도 하나의 설정된 시간의 범위, 및 적어도 하나의 설정된 원소에 의해 방출되는 광의 파장 대역의 범위, 중 어느 하나2 이상인종말점 검출 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 데이터 선택부는, 상기 데이터 선택 신호를 추가로 수신할 때마다, 상기 데이터 선택 범위를 변경 설정하고, 상기 연산 제어 신호를 출력하고,상기 oes 데이터 연산부는, 상기 연산 제어 신호에 응답하여, 현재의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시, 상기 데이터 선택부에 의해, 상기 변경된 데이터 선택 범위에 기초하여 선택된 공정 oes 데이터들을 정규화 및 pca 처리하여, 선형 공정 로딩 벡터들을 출력하고,상기 프로덕트 생성부는, 상기 선형 공정 로딩 벡터들을, 차기의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시부터, 상기 oes 데이터 연산부가 차기의 정규화 및 pca 처리 동작을 실행하기 이전의 공정 웨이퍼의 식각 또는 증착 공정 시까지의, 예측 프로덕트 값들을 생성하기위해사용하는플라즈마 반응기. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기oes 데이터 연산부는,상기 연산 제어 신호에 응답하여, 상기 기준 oes 데이터들을 정규화 처리하여 기준 평균 스케일링 데이터들을 출력하거나, 또는 상기 공정 oes 데이터들을 정규화 처리하여 공정 평균 스케일링 데이터들을 출력하는 정규화 처리부; 및상기 기준 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 선형 기준 로딩 벡터들을 출력하거나, 또는 상기 공정 평균 스케일링 데이터들을 pca 처리하여 상기 선형 공정 로딩 벡터들을 출력하는 pca 처리부포함하는플라즈마 반응기. [청구항 21] 제18항에 있어서,상기 기준oes 데이터들 또는 상기 공정 oes 데이터들을 3차원 기반의 그래픽 화면으로 표시하는 표시부; 및복수의 키들을 포함하고, 복수의 키들의 입력에 따라 상기 데이터 선택 신호를 출력하는 입력부더 포함하는플라즈마 반응기. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 데이터 선택 범위는, 적어도 하나의 설정된 파장 대역의 범위, 적어도 하나의 설정된 시간의 범위, 및 적어도 하나의 설정된 원소에 의해 방출되는 광의 파장 대역의 범위, 중 어느 하나2 이상인플라즈마 반응기.