버퍼 메커니즘을 가진 기판 처리장치 및 기판 이송장치 document_id 1020070086570

[청구항 1] 반응 챔버 내의 기판들을 로딩 및 언로딩하기 위한 기판 이송장치에 있어서, 직선 방향을 따라 횡(橫)으로 이동 가능한, 말단부를 가진 암(arm); 및 반응 챔버 내의 기판들을 로딩 및 언로딩하기 위한 엔드 이펙터(end-effector)들 을 구비하고, 상기 엔드 이펙터들은 하부 엔드 이펙터 및 상부 엔드 이펙터를 포함하고, 상기 하부 엔드 이펙터 또는 상기 상부 엔드 이펙터 중 어느 하나는 상기 암의 말단부에서 상기 암에 이동 가능하게 결합되고, 상기 하부 엔드 이펙터 또는 상기 상부 엔드 이펙터 중 다른 하나는 상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터에 고정되며, 상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터는 전측부, 후측부, 우측부, 좌측부를 구비하고, 상기 고정된 엔드 이펙터는 오직 상기 우측부 및 상기 좌측부에서 상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터에 고정되는 다중의 부분들을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터는 하부 엔드 이펙터이고,상기 고정된 엔드 이펙터는상부엔드이펙터인것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터의 전측부 및 후측부는, 상기 이동 가능하게 결합된 엔드 이펙터가 횡으로 이동하는방향대면하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 암은 상기 엔드 이펙터들을 일 방향을 따라 횡으로 그리고 직선으로 이동시키도록구성된것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 암은 관절에 의해 이동 가능하게 상호 결합된 근접 링크부와 말단 링크부를 구비하고,상기 엔드 이펙터들은 관절에 의해 상기 말단 링크부에 이동 가능하게결합된것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 암과 상기 엔드 이펙터들이 후퇴 위치에 있을 때, 상기 암과 상기 엔드 이펙터들이 배치되는 로드락(load-lock)챔버더구비하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 상부 엔드 이펙터는, 상호 평행하게 배치되고, 상기 하부 엔드 이펙터의 우측부 및 좌측부에 각각 고정되는, 2개의 긴형상의부분들구성된것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 상부 엔드 이펙터의 각각의 긴 형상의 부분은 2개의 기판 접촉부를 가지고, 상기 하부 엔드 이펙터는4개의기판접촉부가지는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 9] 로드락 챔버; 게이트 밸브(gate valve)를 통하여 상기 로드락 챔버에 연결된 적어도 하나의 반응 챔버; 및 상기 로드락 챔버 내에 배치된 제1항의 기판 이송장치 를 포함하고, 상기 반응 챔버 내의 기판들을 로딩 및 언로딩하기 위해 개방되었을 때, 상기 암과 상기 엔드 이펙터들은 상기 게이트 밸브를 통해 상기 반응 챔버로 연장 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 로드락 챔버 내의 기판들을 로딩 및 언로딩하기 위해 개방되었을 때, 상기 게이트 밸브를 통해 상기 로드락 챔버로 접근 가능한대기압 로봇더구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 반응 챔버는 그 내부에서 기판을 대기 상태로 유지하기 위한버퍼메커니즘구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 상부 엔드 이펙터의 각각의 긴 형상의 부분은 2개의 기판 접촉부를 가지고, 상기 하부 엔드 이펙터는4개의기판접촉부가지는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 20] 로드락 챔버; 게이트 밸브를 통하여 상기 로드락 챔버에 연결된 적어도 하나의 반응 챔버; 및 상기 로드락 챔버와 상기 반응 챔버 사이에서 기판들을 이송하고, 상기 반응 챔버로부터 후퇴하지 않고 상기 반응 챔버 내에서 미처리 기판과 처리 기판을 대기 상태로 유지하기 위한 수단 을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치