하전입자선장치, 그 장치를 이용한 비점수차 조정방법 및그 장치를 이용한 디바이스제조방법 document_id 1020070092115

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 비점수차 조정수단이 상기 하전입자선의 광축을 중심으로 하여 대향하는복수쌍의전극또는코일구비하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 비점수차 조정수단이 다극자로 이루어지는 전극을 가지고, 상기 전극은, 상기 시료에 형성된 패턴의 화상 중 세로방향 라인의 포커스 를 조정하기 위한 제 1 보조전극과, 가로방향 라인의 포커스를 조정하기 위한 제 2보조전극을 가지고, 상기 비점수차 조정수단은, 상기 제 1 보조전극의 전압을 조정함으로써 세로방향의 라인 포커스를 조정하고, 상기 세로방향의 라인 포커스가 베스트 포커스가되었을 때의 전압을 고정한 상태에서 상기 제 2 보조전극의 전압을 조정함으로써가로방향의라인포커스조정하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 비점수차 조정수단은, 상기 패턴의 라인보다 선폭이 작은 라인을 가지는 제 2 패턴의 화상으로부터 얻은 포커스를 최대로 하는 보정전압을 주고, 상기 비점수차 조정수단은, 상기 세로방향의 베스트 포커스값과 상기 가로방향의 베스트 포커스값의 평균값을,상기제2패턴의세로방향의포커스조정의초기값설정하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 1차 하전입자선의 전류밀도가 10 a/㎠이하설정되어있는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 16] 제 14항에 있어서,상기 1차 하전입자선의 에너지가 1 ev 이상 20 kev이하설정되어있는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 17] 제 14항에 있어서,상기 계측수단이, 상기 시료의 표면에서의 1차 하전입자 조사영역의 전위를 계측하는수단구비하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 18] 제 14항에 있어서,상기 대전 해소수단이, 상기 시료에 빛을 조사하기 위한 광원과, 상기 시료의 표면을 균일하게 덮도록 가스를 공급하기 위한가스공급수단구비하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 광원이 레이저광원과 광원램프 중 어느 하나이고, 상기 레이저광원으로부터의 레이저광 또는 상기 광원램프로부터의 인코히런트광의 파장대역이 300 nm∼600 nm또는그것이하인것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 레이저광 또는 상기nan인코히런트광의조사밀도이상인것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 21] 제 18항에 있어서,상기 시료를 탑재하기 위한 스테이지를 더 구비하고, 상기 가스공급수단이, 상기 스테이지 위에 탑재된 상기 시료를 덮고, 또한 적어도 하나의 가스도입구를 가지는커버구비하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 22] 제 21항에 있어서,상기 커버에 의하여 덮힌 공간에서의가스압인것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 23] 제 18항에 있어서,상기 가스가, 질소, 수증기, 전자 친화력이 높은할로계의가스및그것들의화합물중하나인것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 24] 제 18항에 있어서,상기 대전 해소수단이, 상기 계측수단의 출력에 의거하여 상기 가스공급수단에 의하여 공급되는 가스량과 상기 광원으로부터 발생되는 빛의 강도를 제어하는기구더구비하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 25] 제 14항에 있어서,상기 대전 해소수단이, 상기 시료의 배선 사이의 정전용량(c[f])과 상기 계측수단에 의하여 계측된 상기 시료의 표면 전위(v[v])에 의거하여 상기 시료의 대전 전하량(q[c])을 q = c× v의식구하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 26] 제 18항에 있어서,상기 대전 해소수단이, 상기 시료의 배선 사이의 정전용량(c[f])과 상기 계측수단에 의하여 계측된 상기 시료의 표면 전위(v[v])에 의거하여 상기 시료의 대전 전하량(q[c])을 q = c × v의 식에 의하여 구하고, 또한, 상기 대전 해소수단이, 상기 대전 전하량, 도입가스의 분자량, 온도, 상기 도입가스의 전리확률, 전기소량, 차지업의 시정수 및 상기 커버의 차동배기속도를 기초로도입가스량산출하는것을특징으로 하는하전입자선장치. [청구항 27] 제 19항에 있어서,상기 대전 해소수단이, 상기 대전 전하량, 도입가스의 전리확률, 전기소량 및 상기 도입가스의 제 1 전리전압을 기초로,상기광원의강도산출하는것을특징으로 하는하전입자선장치.