와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치 document_id 1020070095074

[청구항 2] 공급카세트(1)에 적층되어 있는 기판(2) 중 하나를 와이어 본딩기(3)로 공급하는 역할을 하는 기판 푸쉬장치(5)에 있어서 일정 너비와 길이를 가진 푸쉬밴드(51)와 모터(521)에 의하여 회전하는 회전로울러(522) 및 상기 회전로울러(522)의 수직 하부와 상기 와이어 본딩기(3)의 반대방향에 각각 형성되어 상기 푸쉬밴드(51)가 맞물려 이송하도록 하는 두 개의 아이들로울러(523)로 구성되는 푸쉬밴드 이송장치(52)와 상기 푸쉬밴드 이송장치(52)에 이송하는 푸쉬밴드(51)를 상기 와이어 본딩기(3) 방향으로 수평 이동하도록 가이드 하도록 하는 수평가이드부(531)와, 상기 푸쉬밴드(51)의 타측이 수직 상방으로 연장되어 수직으로 가이드 하도록 하는 수직가이드부(532)로 구성되는 푸쉬밴드 가이드장치(53)와 상기 푸쉬밴드(51)에는 센싱부(541)가 형성되고, 상기 센싱부(541)에는 상기 푸쉬밴드(51)의 이송방향과 평행하게 위치를 이동하여 고정할 수 있도록 한 센서 가이드홈(533)에 장착되는 센서(542)로 이루어진 위치감지장치(54)와 상기 센싱부(541)가 센서(542)에 진입하면 이를 감지하여 위치에 따라 모터(521)의 회전을 제어하는 제어부(6)로 구성됨을 특징으로 하는 와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치 [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 회전로울러(522)의 외주면에는 상기 푸쉬밴드(51)와의 마찰을 최대한으로 하여 미끄럼을 최소화하여 이송될 수 있도록고무장착됨을특징으로 하는와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 제어부(6)는 모터(521)가 회전하여 푸쉬밴드(51)가 기판을 밀어 이송하는 동작을 하는 시간을 연산하여, 기준치 이상의 시간 동안 상기 푸쉬밴드(51)가 최대 이송거리에 도달하지 못하여 센서(542)에서 센서부(541)를 감지하지 못할 경우 모터(521)를 역회전하도록구성됨을특징으로 하는와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치. [청구항 6] 제 2항에 있어서,상기 푸쉬밴드(51)의 끝단에는 압력감지센서(544)가 장착되고;상기 제어부(6)는 상기 압력감지센서(544)에서 지정된 압력 이상이 감지되었을 때 상기 모터(521)가 정지하도록제어하는것을특징으로 하는와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치. [청구항 7] 제 2항에 있어서,상기 위치 감지장치(54)는 상기 푸쉬밴드(51)의 최대한 장치에 인입되는 지점에 형성되는 멈춤센서(543)로 구성되고;상기 제어부(6)는 상기 모터(521)의 회전을 미세 조정하여 상기 푸쉬밴드(51)가 돌출되는 거리를 조절하는거리조작부포함하는것을특징으로 하는와이어 본딩기의 기판 푸쉬장치.