반입/반출챔버, 이송챔버, 이를 포함하는 진공처리시스템 document_id 1020070096327

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된복수의지지롤러설치되는것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는처짐방지용회전체설치된것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로와 근접한 위치에는 상기 피처리물의 길이방향 단부와 접촉가능한 복수의 정렬부재가 배치되고, 상기 정렬부재에 근접하여복수의감지센서배치된것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 좌우 양측에는 한 쌍의 측면가압부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 측면가압부재는피처리물의측면가압하는것을특징으로 하는반입/반출챔버. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된복수의지지롤러설치되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 12] 제8항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는처짐방지용회전체설치된것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 13] 제8항에 있어서,상기 캐리어는 상기 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된다수의지지체포함하는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 캐리어를 직선방향으로 이송시키는 직선이동부는,상기 챔버 하우징 내에 승강가능하게 설치된 베이스판;상기 베이스판에 설치된 구동모터; 상기 챔버 하우징 내에 길이방향으로 설치되고, 상기 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된 나선축; 및 상기 캐리어의 하면에 고정되고, 상기 나선축과 치합하며 나사운동하는너트포함하는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 구동모터는 밀봉커버에 의해 상기 챔버 하우징 내에 밀봉적으로 구획되고, 상기 밀봉커버가 설치된 베이스판의 일부분에는 개구가 형성되며, 이 개구에 대응하는 상기 챔버 하우징의 바닥면 일부에는 관통공이 형성되고, 상기 챔버 하우징의 관통공에는 상기 챔버 하우징의 내부를 밀봉하는밀봉부재설치된것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 그 상단은 베이스판의 개구 가장자리에 밀봉적으로 고정되며, 그 하단은 상기 챔버 하우징의 관통공 하부 가장자리에밀봉적고정된것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 17] 제14항에 있어서,상기 베이스판의 상부에는 하나 이상의 가이드레일이 길이방향으로 설치되고, 상기 캐리어의 하면에는 하나 이상의 가이드블럭이 설치되며, 상기 가이드블럭은 상기 가이드레일을 따라안내되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 18] 제14항에 있어서,상기 캐리어를 승하강시키는 승강부는,하나 이상의 구동모터;상기 구동모터에 의해 승하강하는 승강판; 및 양단부가 상기 승강판과 상기 베이스판 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는하나이상의승강축포함하는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 구동모터의 구동력은 나선축 및 너트의 상대 나사운동을 통해상기승강판전달되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는밀봉부재설치되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에밀봉적고정되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 밀봉부재는 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면사이개재되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 23] 제8항에 있어서,상기 홀더는 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된다수의지지체포함하는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 홀더는 그 일측에 상기 피처리물의 길이방향 단부를 정렬하는복수의정렬부재가지는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 25] 제23항에 있어서,상기 홀더를 승하강시키는 승강부는,하나 이상의 구동실린더;상기 구동실린더에 의해 승하강하는 승강판; 및 상기 양단부가 상기 승강판과 상기 홀더의 바디 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는하나이상의승강축포함하는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는밀봉부재설치되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에밀봉적고정되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 밀봉부재는 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면사이개재되는것을특징으로 하는이송챔버. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 반입/반출챔버 측에 하나 이상의 이송챔버와 하나 이상의 공정챔버가 교대로 소통가능하게연결되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 31] 제29항에 있어서,상기 반입/반출챔버는, 외부와 소통가능한 제1통로 및 상기 이송챔버와 소통가능한 제2통로를 가진 챔버 하우징; 및상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 이송시키는이송기구포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 33] 제31항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 이 풀리에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 34] 제31항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된복수의지지롤러설치되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 35] 제31항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제2통로에는 상기 피처리물의 처짐을 방지하는처짐방지용회전체설치된것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 36] 제31항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제1통로와 근접한 위치에는 상기 피처리물의 길이방향 단부와 접촉가능한 복수의 정렬부재가 배치되고, 상기 정렬부재에 근접하여복수의감지센서배치된것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 37] 제31항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 좌우 양측에는 한 쌍의 측면가압부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 측면가압부재는피처리물의측면가압하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 38] 제29항에 있어서,상기 이송챔버는, 상기 반입/반출챔버와 소통가능하게 연결된 제1통로 및 상기 공정챔버와 소통가능하게 연결된 제2통로를 가진 챔버 하우징;상기 챔버 하우징 내에 설치되어 상기 제1 및 제2 통로를 향해 상기 피처리물을 이송시키는 이송기구; 상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 제1 및 제2 통로를 향해 이동가능하며, 승강가능한 캐리어; 및상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 캐리어와 간섭하지 않으면서 승강가능한홀더포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 39] 제38항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 40] 제38항에 있어서,상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 상기 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에미끄럼방지수단구비되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 41] 제38항에 있어서,상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된복수의지지롤러설치되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 42] 제38항에 있어서,상기 챔버 하우징의 제1통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는처짐방지용회전체설치된것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 43] 제38항에 있어서,상기 캐리어는 상기 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된다수의지지체포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 44] 제43항에 있어서,상기 캐리어를 직선방향으로 이송시키는 직선이동부는,상기 챔버 하우징 내에 승강가능하게 설치된 베이스판;상기 베이스판에 설치된 구동모터; 상기 챔버 하우징 내에 길이방향으로 설치되고, 상기 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된 나선축; 및 상기 캐리어의 하면에 고정되고, 상기 나선축과 치합하며 나사운동하는너트포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 45] 제44항에 있어서,상기 구동모터는 밀봉커버에 의해 상기 챔버 하우징 내에 밀봉적으로 구획되고, 상기 밀봉커버가 설치된 베이스판의 일부분에는 개구가 형성되며, 이 개구에 대응하는 상기 챔버 하우징의 바닥면 일부에는 관통공이 형성되고, 상기 챔버 하우징의 관통공에는 상기 챔버 하우징 내부를 밀봉하는밀봉부재설치된것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 46] 제45항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 그 상단은 베이스판의 개구 가장자리에 밀봉적으로 고정되며, 그 하단은 상기 챔버 하우징의 관통공 하부 가장자리에밀봉적고정된것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 47] 제44항에 있어서,상기 베이스판의 상부에는 하나 이상의 가이드레일이 길이방향으로 설치되고, 상기 캐리어의 하면에는 하나 이상의 가이드블럭이 설치되며, 상기 가이드블럭은 상기 가이드레일을 따라안내되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 48] 제44항에 있어서,상기 캐리어를 승하강시키는 승강부는,하나 이상의 구동모터;상기 구동모터에 의해 승하강하는 승강판; 및 양단부가 상기 승강판과 상기 베이스판 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는하나이상의승강축포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 49] 제48항에 있어서,상기 구동모터의 구동력은 나선축 및 너트의 상대 나사운동을 통해상기승강판전달되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 50] 제48항에 있어서,상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는밀봉부재설치되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 51] 제50항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에밀봉적고정되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 52] 제50항에 있어서,상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면사이개재되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 53] 제38항에 있어서,상기 홀더는 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된다수의지지체포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 54] 제53항에 있어서,상기 홀더는 상기 피처리물의 단부를 정렬하는다수의정렬부재가지는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 55] 제53항에 있어서,상기 홀더를 승하강시키는 승강부는,하나 이상의 구동실린더;상기 구동실린더에 의해 승하강하는 승강판; 및 상기 양단부가 상기 승강판과 상기 홀더의 바디 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는하나이상의승강축포함하는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 56] 제55항에 있어서,상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는밀봉부재설치되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 57] 제56항에 있어서,상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에밀봉적고정되는것을특징으로 하는진공처리시스템. [청구항 58] 제56항에 있어서,상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면사이개재되는것을특징으로 하는진공처리시스템.