엑스-레이 검사장치 및 방법 document_id 1020070096918

[청구항 1] 검사대상물을 지지하는 지지구를 구비하고, 상기 검사대상물의 위치를 변화시키는 위치결정유닛 상기 검사대상물에 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 발생기; 및 상기 엑스-레이 발생기가 상기 검사대상물에 엑스-레이를 조사할 때 투영되는 영상을 검출하는 엑스-레이 디텍터 를 포함하며, 상기 위치결정유닛은, 상기 지지구를 동일수평면에 위치한 제1방향과 상기 제1방향에 수직인 제2방향으로 이동시키는 수평이동부, 및 상기 수평이동부의 작동에 의해 회전중심의 위치가 변하지 않도록 상기 수평이동부를 지지하면서 상기 수평이동부의 아래에 위치하고, 상기 수평이동부를 회전시키는 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 검사장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 수평이동부는,상기 지지구를 상기 제1방향으로 이동시키는 제1방향 이동부재; 및 상기 제1방향 이동부재의 하부에 배치되고, 상기 제1방향 이동부재를 상기 제2방향으로 이동시키는제2방향이동부재포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제1방향 이동부재는, 내부에 상기 지지구를 고정하고, 하면의 제1방향의 양측 가장자리에 제1방향 가이드홈을 형성한 제1방향 이동체;상기 제1방향 이동체의 제1방향의 양측 가장자리의 하부에 배치되고, 상면의 제1방향의 양측가장자리에 상기 제1방향 이동체의 상기 제1방향 가이드홈에 대응하는 제1방향 가이드돌출부를 구비하는 제1방향 가이드레일; 상기 제1방향 가이드레일의 일측에 설치된 제1방향 구동모터; 및 상기 제1방향 구동모터의 구동축에 연결되고, 상기 제1방향 이동체의 일측에 설치된 제1나사홀 보스의 제1나사홀에 맞물리는제1나사봉포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제1방향이동체는 내부에 상기 지지구를 고정하는 공간을 구비하는 사각형 형태의 프레임을 포함하며,상기 지지구는지지판포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 제1방향 가이드레일의 일측의 양단쪽에는 상기 제1나사봉을 수용 및 지지하는 제1지지베어링을 구비하는 제1지지브라켓이 설치되며,상기 제1지지브라켓은 상기 제1방향 이동체의상기제1나사홀보스의양측배치된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 제2방향 이동부재는,상기 제1방향 가이드레일의 하부 양측에서 상기 제1방향 가이드레일을 제2향으로 지지 및 연결하고, 상면에 상기 제1방향 가이드레일의 하면 양측에 형성된 제2방향 가이드홈에 대응하는 제2방향 가이드돌출부를 구비하는 제2방향 가이드레일;상기 제2방향 가이드레일의 일측에 설치된 제2방향 구동모터; 및 상기 제2방향 구동모터의 구동축에 연결되고, 상기 제1방향 가이드레일에 설치된 제2나사홀 보스의 제2나사홀에 맞물리는제2나사봉포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제2방향 가이드레일의 일측의 양쪽에는 상기 제2나사봉을 수용 및 지지하는 제2지지베어링을 구비하는 제2지지브라켓이 설치되며,상기 제2지지브라켓은상기제1방향가이드레일의상기제2나사홀보스의양측배치된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 회전부는, 상기 제2방향 가이드레일의 하부에서 상기 제2방향 가이드레일을 지지 및 연결하고, 내주면에는 치차를 형성하고 하면에는 환형 가이드홈을 형성한 회전체;상기 회전체의 하부에 배치되고, 상기 환형 가이드홈에 대응하는 환형 돌출부를 구비한 회전 가이드; 및 상기 회전 가이드에 설치되고, 상기 회전체의 상기 치차와 맞물리는 구동기어와 연결된 구동축을 구비하는회전 구동모터포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 위치결정유닛은 상기 지지구를 상기 제1 및 제2방향과 수직인 제3방향으로 이동시키는수직이동부더포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 수직이동부는,상기 회전부의 상기 회전 가이드의 하부에 수직으로 연결된 제3방향 이동체; 상기 제3방향 이동체에 대향하게 수직으로 설치된 고정부 또는 제4방향 이동체에 고정된 제3방향 구동모터; 및 상기 제3방향 구동모터의 구동축에 연결되고, 상기 제3방향 이동체의 일면에 설치된 제3나사홀 보스의 제3나사홀에 맞물리는제3나사봉포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제3방향이동체의 상기 일면의 제3방향의 양측 가장자리에는 제3가이드홈이 형성되며, 상기 제3가이드홈에 대향하는 상기 고정부 또는 상기 제4방향이동체의 일면의 양측 가장자리에는제3가이드돌출부형성된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 고정부 또는 상기 제4방향이동체의 일면의 상하부에는 상기 제3나사봉을 수용 및 지지하는 제3지지베어링을 구비하는 제3지지브라켓이 설치되며, 상기 제3지지브라켓은 상기 제3방향 이동체의상기제3나사홀보스의상하양측배치된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 엑스-레이 디텍터는 검사대상물의 검사대상 부위에 대해 적어도 두 개의 입사각을 가지도록 가변유닛에 의해 지지되어 가변이동 가능하게설치된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 위치결정유닛은 상기 수평이동부, 상기 회전부, 및 상기 수직이동부 중 적어도 두 개를 상기 엑스-레이 디텍터가 가변 이동되는 제4방향으로 이동시키는 자동 포커싱 및 트레이싱(automatic focusing-tracing: aft)부더포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 자동 포커싱 및 트레이싱부는,상기 수직이동부의 상기 제3방향 이동체와 대향하게 수직으로 설치된 제4방향 이동체;상기 제4방향 이동체의 하부에 설치된 지지부; 상기 지지부에 고정된 제4방향 구동모터; 및 상기 제4방향 구동모터의 구동축에 연결되고, 상기 제4방향 이동체의 하부에 설치된 제4나사홀 보스의 제4나사홀에 맞물리는제4나사봉포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제4방향이동체의 하면의 제4방향의 양측 가장자리에는 제4가이드홈이 형성되며, 상기 제4가이드홈에 대향하는 상기 지지부의 상면의 양측 가장자리에는제4가이드돌출부형성된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 지지부의 상면의 양쪽에는 상기 제4나사봉을 수용 및 지지하는 제4지지베어링을 구비하는 제4지지브라켓이 설치되며,상기 제4지지브라켓은 상기 제4방향 이동체의상기제4나사홀보스의양측배치된것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치. [청구항 18] 제14항에 있어서,상기 검사대상물은 인쇄회로기판을 포함하며,상기 제1, 제2, 제3 및 제4방향은 각각 y축, x축, z축 및 y축방향포함하는것을특징으로 하는엑스-레이 검사장치.